扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程

扫描电镜(Quanta200FEG)操作规程环境扫描电镜（Quanta200FEG）操作规程一．在Standby状态时：1．确认Chiller的水温、水压及Aircompressor的气压正常；2．开启显示器；3．开启电镜控制器（主机），进入Windows2021操作系统，在提示下输入用户名及密码并确认；4．按下镜筒前面板上的绿色按钮，亮为开启状态；5．在Windows2021操作界面下，鼠标左键双击“XTMicroscopeServer”图标，进入Server界面；6．等待Gun&Vacuum、Optics、Motion及Imaging等四个信号灯全都变绿以后，鼠标左键单击“Start”，使系统开始进行初始化。待操作界面（UI）出现后，鼠标左键单击XTMicroscopeServer界面右上角的“×”将该界面最小化至Windows2021操作界面的右下角（双击绿色近圆形图标可将其再次打开）；7．根据提示，输入用户名及相应的密码并确认，然后做“HomeStage”；8．确认GunPressure正常（≤3e-7Pa）后，鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignments”按钮，打开下拉菜单，选“5-EmitterControl”，鼠标左键依次单击“Start”、“Next”、“EmitterON”等，以点燃灯丝。这过程约需40分钟，然后鼠标左键单击Finish以结束该过程。待EmissionCurrent的数值稳定后（大约需要2-10小时）可以进行下一步的工作。二．在Overnight状态时：1．确认水温水压及气压正常；2．拉开样品室门，放入测试样品，用专用规尺测量样品的高度，一般应在10mm刻度线以下；3．轻轻关紧样品室门，同时须注意样品上表面与极靴要有一定距离，鼠标左键单击“Pump”，使样品室抽真空（这时真空信号指示灯由红变黄）；4．当真空信号指示灯由黄变绿后，可以加高压开始测试（为保护TMP，一般应到5e-3Pa以后再加高压）。选择合适的高压（HighVoltage）及束斑（SpotSize）；5．按住鼠标右键调聚焦，然后鼠标左键单击“CoupleZtoFWD”，建立Z轴高度与焦距的关联（需在由低至高的不同放大倍率下反复多次）；6．选择合适的对比度和亮度和观察区域，反复聚焦及消像散（一般在3000倍以下不须要消像散）。图像调节满意后，改用适当的扫描速度和像素得到并冻结图像，然后存储或打印。7．观察结束或暂停工作时，应关闭关高压；8．鼠标左键单击“Vent”，待真空信号指示灯变红后，可以打开样品室更换试样。平时样品室保持关闭；9．注意：不要在ESEM或LowVacuum状态下使样品室抽真空过夜。三．进入Overnight状态：1．关闭高压；2．根据工作模式决定是否将样品室放气；3．关闭显示器。四．进入Standby状态：1．关闭高压；2．关闭TMP及PVP（鼠标左键单击“Vent”）；3．关闭灯丝（鼠标左键单击操作界面右上角的“Alignments”按钮，打开下拉菜单，选“5-EmitterControl”，鼠标左键依次单击“Start”、“Next”、“EmitterOFF”等）；4．关闭ColumnControl（双击操作界面右下角的绿色近圆形图标将Server打开，鼠标左键单击“ShutDown”）；5．退出XTMicroscopeServer（鼠标右键单击操作界面右下角的绿色近圆形图标拉开菜单，选ExitxTmicroscopeSever）；6．在Windows2021界面下关闭电镜控制器；7．关闭显示器。