灌晶工序培训教材

液晶车间灌晶工序操作培训教材康惠(惠州)半导体有限公司液晶显示器厂生产工艺部江龙2康惠(惠州)半导体有限公司目录1LCD生产流程简介灌晶工序设备简介23灌晶原理简介灌晶操作流程及工艺参数45灌晶主要不良及改善3康惠(惠州)半导体有限公司1-1LCD生产流程LCD前段流程（光刻+烧结）LCD后段序流程（液晶+测试+贴片）LCM模块生产流程4康惠(惠州)半导体有限公司1-2前工序流程TOP固烤插片PR前清洗涂感光胶前烘曝光显影后烘蚀刻脱膜PI/TOP前清洗PI印刷PI固烤TOP印刷摩擦丝印胶边胶边预烘丝印银点银点预烘喷粉贴合热压5康惠(惠州)半导体有限公司上PIN脚（压斑马纸）1-3后工序流程分片入条真空灌晶整形封口液晶清洗半成品包装磨边功能测试外表丝印过压喷码玻璃分割贴偏光片包装出货切偏光片COG测试LCM邦定光台检查QA检查QC检查6康惠(惠州)半导体有限公司2-1灌晶设备-灌晶机卧式灌晶机立式灌晶机（润正）7康惠(惠州)半导体有限公司3-1灌晶原理简介•先将空盒内的空气抽出，利用压力差与毛细原理，填充液晶至空盒内。抽真空高真空破真空至常壓抽真空﹝10-2mba，﹞破真空﹝N2，30L/min﹞8康惠(惠州)半导体有限公司4-1灌晶房环境要求•灌晶房温湿度要求–湿度≤65%，温度保持22℃±2.5℃。•灌晶房洁净度要求–气压要为正压，空气洁净度要满足≤5000（0.5um）个/立方英尺要求：1.头发不可外露,口罩遮住口鼻,工作过程中凡要接触液晶及其灌晶相关治具须带净化手套（乳胶手套）。2.净化服每周清洗一次；脏污破损的净化服须及时申请更换9康惠(惠州)半导体有限公司4-0灌晶房环境要求要求：1.头发不可外露,口罩遮住口鼻,工作过程中凡要接触液晶及其灌晶相关治具须带净化手套（乳胶手套）。2.净化服每周清洗一次；脏污破损的净化服须及时申请更换•灌晶房作装要求10康惠(惠州)半导体有限公司4-0灌晶操作流程上灌晶架上玻璃灌晶准备脱泡抽真空产品下架静置检查出货充氮气下架11康惠(惠州)半导体有限公司4-1灌晶前准备1.灌晶前确认设备是否正常运转，真空度是否能达工艺要求。2.搬玻璃人员将玻璃放置待灌晶货架，并作好标识，由灌晶员工自己再将产品端到相应炉前。3.确认待灌液晶型号及《LC确认表》与待生产品种《生产制程控制卡》上液晶型号一致。•1.确认液晶型号正确。•2.所灌产品与相对应液晶摆放的位置是同一个位置方向；注意事项12康惠(惠州)半导体有限公司4-2上灌晶架1.将灌晶架放入炉内，确认灌晶架必须放置平稳，若有倾斜，调节架子底部螺丝，直至水平2.接通电源3.检查灌晶架上升与下降运作处于正常状态4.将灌晶条或海绵条放在灌晶架上（已上好液晶）•1.更换产品或液晶型号时，需用无尘布（纸）清洁灌晶炉四壁，清洁顺序：由上至下，由内至外。•2.上液晶时，需确认液晶型号是否正确。注意事项13康惠(惠州)半导体有限公司接通电源确认液晶型号4-2上灌晶架14康惠(惠州)半导体有限公司4-3上玻璃1.确认灌晶架处于升起状态2.确认海绵条的高度保持水平3.确认灌晶条的定位孔与灌晶口是否在一条线上4.确认灌晶品种及液晶型号无误后，将已入条的玻璃置于灌晶架上，放好后要检查是否放平，需注意放置时手套和液晶口不得沾上海绵条上的液晶。1.往真空炉内放玻璃时，严禁戴已沾染液晶的手套，以免污染灌晶口。2.海绵条不能有凹陷太严重的，以免灌不到液晶，对易气泡液晶海绵条不能有凸起，以免粘灌晶口，抽真空异常。3.分粒数≥70的小玻璃要尽量放上挡条压住玻璃（让整体受力在玻璃上）。炉内同层灌晶架，只能灌注同一种液晶。注意事项15康惠(惠州)半导体有限公司4-3上玻璃确认定位孔与液晶口在同一直线上玻璃小玻璃需压板16康惠(惠州)半导体有限公司4-4液晶脱泡1.关闭灌晶炉门，按“抽气阀开”键。2.待真空度抽至10mbar时，反复进行充气-抽气-充气-抽气操作，对炉内的液晶及海绵条进行脱泡。1.脱泡时间不得低于1分钟2.对于新上液晶，需在上玻璃前就需脱泡一次注意事项17康惠(惠州)半导体有限公司4-4液晶脱泡18康惠(惠州)半导体有限公司4-4液晶脱泡•注意事项：–脱泡起泡严重的液晶，需不上玻璃先脱泡至无泡状态，注意不可让液晶溢出灌晶条–上玻璃后再次脱泡，脱泡时注意液晶不可沾到液晶口；脱泡时间大于2分钟，新上海绵条脱泡时间大于5分钟，直至无泡状态–起泡严重的液晶型号：E234，E300，E310，84D6110-000，84D6100-000，MLC15690…19康惠(惠州)半导体有限公司4-5抽真空•脱泡完毕后，继续抽真空，抽真空时间如下（其它自动灌晶设备抽真空参数见灌晶工艺参数表：20康惠(惠州)半导体有限公司4-6下架1.达到规定真空度后，按“下架键”。2.待下架终止灯亮后，需续抽真空2分钟以上才能关闭“抽真空阀”按“充气阀”。•真空度要求：–小玻璃低于10*10ˉ2mbar，–中玻璃低于5*10ˉ2mbar，–大玻璃低于2*10ˉ2mbar.注意事项21康惠(惠州)半导体有限公司4-7充氮气1.待炉门自动开后，将“充气阀关”键关闭•检查架子是否下降到位注意事项22康惠(惠州)半导体有限公司4-8静置1.待液晶注满玻璃后抽取几粒确认是否灌满，如灌满停留5分钟后再次抽取几粒玻璃确认，确认完后再上下架各取一条确认•1.静置过程保持炉门微开状态•2.确认灌满后需静置3-5分钟注意事项23康惠(惠州)半导体有限公司4-9下玻璃1.确认玻璃灌满后按“上架”键升架。2.取出铝条（玻璃），放置规定区域。3.检查灌晶槽补添加液晶•补添液晶不可弄错液晶型号，且需经QA确认注意事项24康惠(惠州)半导体有限公司4-10灌晶后检查1.将玻璃送至光台经光台检查是否灌满，若未灌满需通知组长或工程分析原因注意事项25康惠(惠州)半导体有限公司4-11自动灌晶设备灌晶参数表卧式灌晶机灌晶参数26康惠(惠州)半导体有限公司4-12过滤操作•1）操作过程中需佩带乳胶手套。•2）过滤不同液晶型号后，需对过滤器进行清洗，并更换过滤膜。•3）过滤后，液晶需使用干净液晶瓶装，标示清楚，并做好相应的过滤记录。•4）过滤器为玻璃器皿，操作时应轻拿轻放。注意事项27康惠(惠州)半导体有限公司4-12过滤操作•过滤治具清洗–1.用Fisher2000冲洗残存的液晶–2.用干净Fisher2000浸泡不低于20分钟，注意溶剂液面需将过滤器皿完全淹没–3.清洗干净后,过滤芯需局炉:50度,40分钟（局炉开运风状态，且炉门微开）28康惠(惠州)半导体有限公司4-12过滤操作•液晶过滤管理：–1）每周对灌晶房液晶进行点检，将完成灌晶后暂时不使用的液晶，需过滤后退回品管中仓，并标示清楚“已过滤”；（需保证过滤换瓶后原标签需保留）–2）配晶房在液晶配制前，需确认待配制的液晶是否过滤，若未过滤，则及时通知生产过滤后，再进行配制，并标识清楚“已过滤”；–提纯液晶，呆料液晶，需标识“提纯”、“呆料”；中仓及调配液晶，需使用红色标签；–新液晶及原装液晶可不用过滤；–提纯，呆料及中仓调配液晶需过滤后再生产；–3）灌晶房在拿到大批量配好首检已“A”的液晶后，需对液晶瓶上的标签进行确认是否需要过滤；若“已过滤”，则可直接生产。–4）品管QA在灌晶前，需确认如下项无误才可生产：此液晶是否需要过滤；若需要过滤是否有“已过滤”标签，有则直接生产；若提纯，呆料及中仓调配液晶没有“已过滤”标签，则需过滤后再生产（需保证过滤换瓶后原标签需保留）。–5）对于首检或量产出现品质问题的液晶，需马上隔离至中仓，同时由生产工艺部给出处理意见。29康惠(惠州)半导体有限公司4-13海棉条清洗注意事项将海绵按灌晶条及灌晶架的规格切成长条将裁减好新海绵条在丙酮中浸泡12小时，拧干丙酮后，在新丙酮中再次浸泡8小时在从丙酮中拿出，用干净的镊子挤干丙酮，更换新干净电子级丙酮再次浸泡1小时用干净的镊子挤出海绵条内的丙酮，并整齐排放在有干净无尘布的托盘上用无尘布将海绵条整体包好，放在局炉内烘干。局炉条件：60℃，40分钟烘干的海绵条用密封袋封好保存于干燥柜中123丙酮浸泡12小时干净丙酮浸泡8小时干净丙酮浸泡1小时30康惠(惠州)半导体有限公司4-13海棉条清洗•1.海绵条按灌晶条长度剪切，一般为15-16mm•2.每次清洗时海绵条不可过多，丙酮液面必须完全淹没海绵条2cm以上（可在海棉条上面加重物，避免海棉条翘起）。•3.”浸泡12小时的丙酮”可用原先浸泡8小时的丙酮；”浸泡8小时的丙酮”可用原先浸泡1小时的丙酮；”浸泡1小时的丙酮”每次需使用新丙酮。•4.清洗海绵条时候注意不要将丙酮洒在地板上。•5.局炉每周用无尘布沾酒精擦拭，保持局炉腔体内干净。•6.用局炉干燥溶剂清洗的灌晶器具时（FISHER,酒精，丙酮等），先滤干器具内溶剂，然后用局炉干燥，局炉需开运风状态，且炉门微开，温度不能超过60度。31康惠(惠州)半导体有限公司4-14灌晶器具清洗•灌晶架清洗–1.回收海绵条及灌晶架上的液晶时，确认灌晶架及海绵条中液晶彻底挤干，避免浪费液晶。–2.用无尘纸(布)擦除灌晶架上残留的液晶和脏物。–3.将灌晶架送到旧清洗线用FISHER清洗后再送回灌晶房。–4.灌晶架使用前需使用干净无尘布擦拭后才可使用。32康惠(惠州)半导体有限公司4-14灌晶器具清洗•灌晶条清洗–1.Fisher2000+超声振荡10分钟–2.用干净无尘布将其表面及沟槽擦拭干净–3.清洗后放置于有干净无尘布的托盘后,存放于干燥柜33康惠(惠州)半导体有限公司4-14灌晶器具清洗√正确摆放×错误摆放√正确摆放×错误摆放34康惠(惠州)半导体有限公司4-15液晶管控•液晶控制细则–1）TN/HTN新上架的液晶，从液晶上架日期起，液晶在架上时间不得超过1个月，需及时将液晶回收入瓶，海绵条挤干扔掉；不允许有超过1个月的液晶架存放于氮气柜，每月初对其进行点检。–2）不使用的灌晶架或灌晶条需存放于氮气柜，不允许长期暴露于空气中。–3）每周需对灌晶房暂存液晶进行清点，将超过1个月的液晶过滤后退回品管中仓。–4）高路数产品（80及以上），需采用灌晶条灌晶。–5）64及以上中高路数产品液晶，从上架日期开始起，持续生产1周后，液晶需重新过滤后再生产。35康惠(惠州)半导体有限公司4-15液晶管控•对电流有要求的产品灌晶要求–1）德爱,环球客户产品液晶，使用1周后需过滤回收后再使用。–2）松下84643，Honeywell80845，71820，SIGMA20212等产品，每30炉更换一次液晶，原灌晶条及海棉条液晶过滤后，可用于后30炉新上海棉条使用，添加的液晶请采用新配液晶。36康惠(惠州)半导体有限公司4-16配晶操作•一般采用四瓶体系进行配晶操作37康惠(惠州)半导体有限公司4-16配晶操作38康惠(惠州)半导体有限公司4-16配晶操作39康惠(惠州)半导体有限公司5-1灌晶主要不良•灌错液晶•漏墨•大电流•扭字•封口显示不均•满屏显示黑白点满屏显示黑白点封口显示不均封口显示重40康惠(惠州)半导体有限公司5-2灌晶漏墨的主要因素1.灌晶条弯曲2.插反插倒，灌晶口与海棉条未在同一条直线上3.液晶量不足4.海棉条太低，未接触到液晶；海棉条翘起，灌晶口脱泡时沾液晶5.液晶起泡严重，脱泡时封口沾液晶6.抽真空时间不足7.静置时间不足8.灌晶架下架不到位9.压板方式不正确10.胶边断线（气泡）11.盒厚太低/液晶粘度太大41康惠(惠州)半导体有限公司4-11灌晶错误操作海棉条太低，未处理海棉条翘起，起泡液晶产品需将其压下压板方式不正确，未压到产品贴纸未取下，落到液晶里污染液晶海棉条泛白，液晶不足NGOK灌晶前重点检查项目：液晶量是否足够，海棉条高度是否合适，小玻璃压板是否有效灌晶时重点注意事项：起泡液晶脱泡时间是否足够，确认灌满后停留时间是否足够（3-5Min）定位孔与液晶口不在同一条线上42康惠(惠州)半导体有限公司THANKS!