用于PDMS微芯片塑性成型的SU8模具制作工艺的优化

用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化作者：陆振华，许宝建，金庆辉，赵建龙，LUZhen-hua，XUBao-jian，JINQing-hui，ZHAOJian-long作者单位：陆振华,LUZhen-hua(中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039)，许宝建,金庆辉,赵建龙,XUBao-jian,JINQing-hui,ZHAOJian-long(中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050)刊名：功能材料与器件学报英文刊名：JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICES年，卷(期)：2008，14(3)被引用次数：0次参考文献(15条)1.ThiebaudP.LauerL.KnollWPDMSdeviceforpattemedapplicationofmicrofluidstoneuronalcellsarrangedbymicrocontactprinting2002(1-2)2.HofmannOMonolithicallyintegrateddye-dopedPDMS|ong-passfiltersfordisposableon-chipfluorescencedetection2006(08)3.WuMHASU-8/PDMShybridmicrofluidicdevicewithintegratedopticalfibersforonlinemonitoringoflactate2005(04)4.CooperJ.McDonaldDCD.JanelleRAndersonFabricationofmicrofluidicsystemsinpoly(dimethylsiloxane)2000(21)5.LeeKYSZ.GelormeJDMicromachiningapplicationsofahighresolutionultrathickphotoresist1995(06)6.LorenzH,MD.FahmiNSU-8:alow-costnegativeresistforMEMS19977.SU-82000PermanentEpoxyNegativePhotoresistprocessingguidelinesfor:SU-82025,SU-82035,SU-82050andSU-820758.RibeiroJCGM.TurmezeiPASU-8fluidicmicrosystemforbiologicalfluidsanalysis2005(123-124)9.TiinaSikanenSTCharacterizationofSU-8forelectrokineticmicrofluidicapplications2005(05)10.OngB.YuanH.TjinXAdjustablerefractiveindexmodulationforawaveguidewithSU-8photoresistbydual-UVexposurelithography2006(31)11.王彬.陈翔.许宝建基于SU-8负胶的微流体器件的制作及研究[期刊论文]-功能材料与器件学报2006(03)12.曾永彬.朱荻.明平美基于BP神经网络的SU-8光刻胶工艺参数优选研究[期刊论文]-机械科学与技术2006(09)13.许宝建.金庆辉.赵建龙基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究[期刊论文]-功能材料与器件学报2006(05)14.张金娅.陈迪.朱军超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究[期刊论文]-功能材料与器件学报2005(02)15.方肇伦微流控分析芯片2003本文链接：：湖南大学(hunandx)，授权号：06597d77-c458-4db8-b337-9e3b013ace98下载时间：2010年11月27日