半导体铜线工艺流程

半导体铜线工艺流程时间:2010-09-03剩余:0天浏览:37次收藏该信息一、铜线键合工艺A、铜线工艺对框架的特殊要求-------铜线对框架的的要求主要有以下几点：1、框架表面光滑，镀层良好；2、管脚共面性良好，不允许有扭曲、翘曲等不良现象管脚粗糙和共面性差的框架拉力无法保证且容易出现翘丝和切线造成的烧球不良，压焊过程中容易断丝及出现tailtooshort；B、保护气体----安装的时候保证E-torch上表面和rightnozzle的下表面在同一个平面上．才能保证烧球的时候，氧化保护良好．同时气嘴在可能的情况下尽量靠近劈刀，以保证气体最大范围的保护C、劈刀的选用——同金线相比较，铜线选用劈刀差别不是很大，但还是有一定的差异：1、铜线劈刀T太小2nd容易切断，造成拉力不够或不均匀2、铜线劈刀CD不能太大，也不能太小，不然容易出现不粘等现象3、铜线劈刀H与金线劈刀无太大区别（H比铜丝直径大8µm即可，太小容易从颈部拉断）4、铜线劈刀CA太小线弧颈部容易拉断，太大易造成线弧不均匀；5、铜线劈刀FA选用一般要求8度以下（4-8度）6、铜线劈刀OR选用大同小异D压焊夹具的选用铜线产品对压焊夹具的选用要求非常严格，首先夹具制作材料要选用得当，同时夹具表面要光滑，要保证载体和管脚无松动要，否则将直接影响产品键合过程中烧球不良、断线、翘丝等一系列焊线问题。二、铜线的特性及要求切实可行的金焊线替代产品。细铜焊线（1.3mil）铜焊线，机械、电气性质优异，适用于多种高端、微间距器件，引线数量更高、焊垫尺寸更小。铜焊线（1.3-4mil）铜焊线，不仅具有铜焊线显著的成本优势，而且降低了铜焊点中的金属间生长速度，这样就为大功率分立封装带来了超一流的可靠性。铜焊线的成本优势由于铜的成本相对较低，因此人们更愿意以铜作为替代连接材料。对于1mil焊线，成本最高可降低75%*，2mil可达90%*，具体则取决于市场状况。铜焊线的优异性能铜线的导热导电性能显著优于金线和铝线，因此能够以更细的焊线直径达到更好的散热性能及更高的额定功率。与金相比，铜的机械性质更强，这样在模压和封闭过程中可以得到优异的球颈强度和较高的弧线稳铜焊线的优点（与金焊线相比）材料成本低•降低单位封装成本，提高竞争优势导电性好金焊线4.5510E7/Ohmm铜焊线5.8810E7/Ohmm•在微间距封装中可以采用更细的焊线•微间距应用性能优异（焊垫尺寸较小）•提高功率调节器件（TO220、TO92、DPAK等等）的电流容量和性能导热性好金31.1kW/m2K铜39.5kW/m2K•传热效率更高机械性质高•抗拉强度更大、延伸特性更好•模压中具有优异的球颈强度和较高的弧线稳定性金属间（IMC）生长速度慢•提高机械稳定性、降低电阻增加量•IMC生长较为温和，从而提高了键合强度降低金属间生长速度，提高可靠性与金线焊点相比，铜线焊点中的金属间生长速度显著减小。这就降低了电阻、减小了产热，并最终提高了焊接可靠性和器件性能。由于铜线中的金属间生长速度、电阻和产热均低于金线，故而电阻随时间的增加量和老化速度同时得到减小。铜线在焊接后能够形成比金线更稳定、刚性更好的弧形能够适应更长的弧度（最长弧度7mm）铜焊线典型尺寸及标准机械规格直径um2025283038506575密耳0.81.01.11.21.52.02.53.0延伸率（%）8-168-1610-2010-2010-2015-2515-2515-30断裂荷载（g）5-108-1510-2012-2220-3040-5560-8080-120铜焊线的包装与存放铜具有较强的亲氧性，因此必须对铜焊线进行保护以延长其保存期。为此各卷铜焊线均采用吸塑包装，并在塑料袋内单独密封除了以上优点为，铜线还有以下特性：1.铜线易氧化，原则上拆封的铜线48小时用完。2.铜线硬度高，容易产生弹坑、不粘、断丝、、烧球不良三、铜线和金线在键合工艺参数的区别1.EG-60铜线压焊工艺参数与金线相比较最大的变化是加大了contactforce，以增加产品的可焊性，为了减小弹坑风险，一般情况下1mil以下铜线采用LOW-Power模式，而1.2mil以上一般采用High-power模式SetupmachineSetupmachine(改为铜线方式)F16(2009)1090ABBBbondsequence[normal(goldwire)-copperF16Tailcontrol(减少tailtooshort报警)F161090ABB40Menu112-16Menu920MenuA8F15bondprocesscontrol(减少NSOPNSOL)F15(2002)10803Menu0比goldwire要大一些Menu30Menu4比bondforce稍小SetupmachineSearchhigh(减少NSOP&tailtooshort)Goldwire:8-12copperwire:10-15EFOparameterWiresize(mil)0.81.01.52.0Current(mA)5000-700012000-15000time(us)500-8001200-1800SetupmachineBQMsetupWiresize(mil)0.8-1.21.5-2.0Risetime1-22-3PowerlevellowhighPowercontrolconst-pconst-pSpeedsetF15比goldwire稍低.512-640384-512SetupmachineSetupmachineToCopperWire1HigherEFOcurrentforCu2ShorterEFOtimeforCu3Ingeneral,higherforce&power4LongerTimefactor5HigherWCforceduetoCuhardness6LessContactPower,useforcetodeformtheballduringthecontactstagethenapplymorebasepowerProductionissueBall球不良原因：吹气保护不好铜线开封后防止时间太长．线有氧化（７２小时）Taillength不稳定导致烧球不好Capillary选择型号不对Action:调整吹气装置和E-TORCE位置，保证保护良好更换铜线调整２nd焊接参数（basepowerandbaseforce)保证taillength稳定．选用合适的capillaryProductionissue1stNSOP原因：Bondpower太小Bondforce太大Action:在保证无crater的前提下．调整powerandforceProductionissue2ndNSOL原因：Bondpower太小或者太大Bondforce太大或者太小Action:如果焊接后无留金痕迹应该调大basepower如果焊接后有明显压断痕迹，应该调小basepowerandforceProductionissue2nd后tailtooshort原因：管脚位置浮动．Bondpower太小或者太大Bondforce太大或者太小Action:调整该焊点位置如果报警后可以直接从capillary穿下线，应该是basepower较小，应该调大basepower或者减小baseforce如果报警后线不能直接穿下capillary，必须把线拔除再穿的话，应该减小basepower或者增大baseforce.四、铜线对生产效率和产品质量的影响1、产能相对较低---铜线硬度要强于金线，压焊过程中断丝几率和不粘相对增大，考虑到可焊性等因素，压焊速度相对较慢，正常情况下设备利用率是金线设备的2/3左右。2、偏心球、烧球不良（高尔夫球）产生较多----铜线2nd焊点切线稍有异常，将直接影响1st焊点烧球，气体保护范围太小或框架、夹具异常均会影响1st焊点烧球，所以在出现以上现象是，首先应排除硬件原因，然后再从参数方面解决。3、不粘产生频繁----由于铜线的特殊性，键合过程中不粘现象较为严重，在铜线键合过程中出现不粘，应从以下方面解决：A、要保证拆封的铜线无氧化，沾污，拆封的铜线要在48小时内用完。B、夹具表面平整光滑，载体无松动C、保证烧球的时候，氧化保护良好D、切线正常，无偏心球E、装片平整度，胶量充足（胶量不足缺胶直接影响不粘，1.2mil以上铜线最为明显），固化温度均匀；F、劈刀选用合理G、参数调整4、弹坑风险增加---由于铜线硬度要强于金线，且容易产生氧化，弹坑几率风险大大增加。为了减小铜线弹坑风险，需从以下方面解决：A、配备专人每班做例行弹坑验证，包括更换品种，夹具及设备维修后。B、加强过程监控---更换劈刀、修改1st、EFO参数后必须作弹坑试验；C、对一些硬件如气嘴、流量（保护气体），夹具，压缩空气等每班最少做一次检查，同时提醒作业员随时检查。D、及时和客户沟通，铜线产品Pad测试点（探针印）小于20%，同时要保证一定的铝层厚度，铝层厚度对照表如下图所示：WireThicknessBondpadthicknessMetallizationComposition0.8mil1.0µmAl,Si,Cu1.0mil1.5µmAl,Si,Cu1.2mil2.0µmAl,Si,Cu1.5mil3.0µmAl,Si,Cu2.0mil3.0µmAl,Si,Cu3.0mil4.0µmAl,Si,Cu4.0mil4.0-6.0µmAl,Si,Cu5.0mil6.0-8.0µmAl,Si,Cu6.0mil6.0-8.0µmCu/NiP/Pd/Aubravoroyat2008-12-1000:09:38thanks..good...upzjw_828at2009-3-0411:49:38Eagle60做TO220没问题，线径2。5MIL就可以，再大的话可能有点困难！如果成功请大家拿出来晒下，分享下！我司改做220，到现在为至还是可以的，合格率都是可以，一台机器可以顶几个半自动机器的，可以少不少人呢dasiyat2009-4-0518:03:10看了大家的，我们公司也做。公司当时准备的时候，升级版本，更改EFOBOX，加N2H2保护气，优化参数。但是也做一些简单的产品（SOT23，SOD123/323，SOT323/363，TO220/252/263，SLP系列）！wgfzhong1985at2009-7-2722:23:5