黎志欣晶体生长设备技术趋势-京运通0627

晶体生长设备技术趋势Dr.ZhixinLi黎志欣博士北京京运通科技股份有限公司总裁兼首席运营官2011年7月5日京运通位于北京经济技术开发区的总部（建筑面积38000平方米）北京京运通科技股份有限公司Mono-CrystalGrowers(CZ)单晶炉JRDL-800,JRDL-900,JD-1000,JD-1040,JD-1100DirectionalCrystalGrowers(DSS)多晶铸锭炉JZ-270,JZ-450,JZ-520,JZ-800Poly-siliconReactors(SiemensProcess)多晶硅还原炉(西门子法)JH-9,JH-18,JH-30,JX-250,JX-300SpecializedFurnaces(FZ,Bridgemen,etc.)特殊炉型Mono&multiwafers单晶及多晶硅片Others其他产品Products现有产品4太阳能产业的长期趋势非常光明11.522.533.54美元/片156mm多晶硅片近期价格趋势但近期趋势非常具有挑战性通过技术创新提高生产效率提高产品质量降低产品成本获得竞争优势应对挑战的最佳方法是技术创新2.直拉单晶硅炉:JRDL-1000型单晶硅炉；JRDL-1100型单晶硅炉；JRDL-1040型单晶硅炉；3.区熔单晶硅炉第一部分多晶硅铸锭炉–新的技术方向：做高、做快、做大、做强京运通多晶铸锭炉装配车间-已销售超过1500台做高：G5高坩埚铸锭工艺开发现有G5设备不变，装料量增大至600公斤以上做快：快速铸锭工艺开发缩短铸锭工时，提高生产效率做大：G6多晶硅铸锭炉及工艺开发更大的硅锭，装料量增大至800公斤以上做强：类单晶铸锭工艺开发提高多晶硅片光电转换效率多晶硅铸锭炉–新的技术方向趋势：多晶铸锭行业会向着大投料量、高效率、低成本、绿色产业的方向发展。G416x硅方G525x硅方G636x硅方454566*870*420870*870*4801050*1050*480成品率62%～65%65%～68%72%～75%可切片重量180Kg290Kg580Kg单锭产出硅片数量～7700片～12500片～25000片运行时间～50h～60h～70h铸锭产出率～5kg/h7～8kg/h＞11kg/h炉型：JZ-460/660原用户可直接升级热场其余部件直接沿用1.G6多晶硅铸锭炉及工艺开发G6-IRG6-少子寿命803公斤硅锭990X990X340毫米803kgIngot990X990X340mm增大投料量的另外一种方式：G5高坩埚G5（400公斤级）G5（500公斤级）G5高坩埚(600公斤级)坩埚尺寸870*870*420870*870*480870*870*540硅锭重量420~480Kg480~540Kg540~650Kg硅锭尺寸840*840*290840*840*320840*840*370成品率＞65%＞67%＞69%可切片重量（按成品率计算）273~312Kg321~350Kg351~450Kg高坩埚多晶硅铸锭工艺开发炉型：JZ-460/660原用户可直接升级工艺无需更换热场设备：多晶硅铸锭炉炉型：JZ-460/660原用户可直接升级工艺无需更改热场高转换效率~17%介于单晶及多晶之间精确控温3.提高光电转换效率--类单晶铸锭工艺提高生产效率—快速铸锭工艺多晶硅铸锭炉提高效率设备方式之四：提高生产效率---快速铸锭工艺的开发：缩短多晶硅铸锭炉单炉硅锭铸造时间；提高多晶硅锭的生产效率；降低多晶硅锭生产成本；投料量总运行时间产出率成品率一般工艺500Kg65小时7.7Kg/h﹥67%快速铸锭工艺500Kg55小时9.1Kg/h﹥67%提高生产效率—快速铸锭工艺炉型：JZ-460/660原用户可直接升级工艺，无需更换热场；500公斤级别硅锭单炉硅锭铸造时间55小时；硅锭产出率提高至9Kg/h；硅锭成品率仍可达原有水平，硅锭品质不受影响。本公司在相关领域的工作基础研制了JRDL-800、JRDL-900半自动及全自动系列软轴直拉单晶硅炉炉型；JRDL-900软轴单晶硅炉投料量已经达到110公斤左右，可安装20～22″热场系统；相关炉型已售出3500台以上；第二部分单晶炉–新产品、新技术一、高效率单晶炉新技术方向之一：增大投料量，提高自动化程度1-1.JD-1000型单晶硅炉；1-2.JD-1100型单晶硅炉；1-3.JD-1040型单晶硅炉；二、高效率单晶炉新技术方向之二：提高光电转换效率2-1.超导磁场的应用2-2.区熔单晶硅炉及长晶工艺开发；CZMono-CrystalGrowers单晶炉新装配车间京运通设备生产的单晶硅棒JD-1000软轴直拉单晶炉主炉室直径尺寸(mm)Φ1000主炉室高度尺寸(mm)1450（下部450，上部1000）拉制晶体直径(″)8~12装料量(Kg)Max150热场规格(″)24更大的热场更多的投料量提高生产效率降低生产成本适于大批量制造156mm类方片、纯方片JD-1100软轴直拉单晶炉主炉室直径尺寸(mm)Φ1100主炉室高度尺寸(mm)1500（下部500，上部1000）拉制晶体直径(″)8~12装料量(Kg)Max200热场规格(″)26～28更大的热场更多的投料量提高生产效率降低生产成本适于大批量制造156mm类方片、纯方片序号功能参数JD-1000JD-11001主炉室提升与旋转自动自动2副炉室提升与旋转自动自动3主炉室顶部阀门翻版自动旋转翻版自动旋转4压力测量与控制自动自动5温度测量与控制自动自动6氩气流量控制自动自动7冷却水温测量与报警自动自动8压力防爆报警、泄压自动自动9加热方式石墨电阻石墨电阻10过流报警自动自动11谐波抑制自动自动12无功功率补偿自动自动13远程控制功能有有14控制模式手动/半自动/全自动，分别可选手动/半自动/全自动，分别可选15控制方式PLC＋触摸屏PLC＋触摸屏16直径扫描CCD及视频显示有有17红外测温及基于PLC的控温功能有有主炉室直径尺寸(mm)Φ1000Φ11002主炉室高度尺寸(mm)145015003拉制晶体直径(″)8~128~124装料量(Kg)Max150Max2005热场规格(″)2426～286主加热电源功率(KW)2102107副加热电源功率(KW)0708上、下轴同轴度(mm)119籽晶轴摆动误差(mm)1110直径控制精度±0.3%±0.3%11主机占地面积(mm×mm)约3960×3580约3960×358012整机占地面积(mm)约5000×6000约5000×600013整机最大高度(mm)约10，500约10，50014整机重量(Kg)约10，000约10，000京运通新单晶炉JD-1040MCZ可配备超导磁场可配备连续加料器全自动操作拉制8”–12”电子级硅单晶体拉制高质量太阳能级硅单晶体可配备24”,26”,&28”热场装料量150–200kg.用于大型单晶炉的超导会切磁场–400、JQ-800FloatZoneFurnace区熔炉Designedtogrow4-8〞DiameterSiliconmono-crystal生产4-8英寸高阻值硅单晶进一步提高光电转换效率国家级重大关键装备项目可拉制6”–8”区熔硅单晶体用于制造IGBT等大功率器件以及高效太阳能电池京运通新区熔单晶炉JQ-800结论：通过技术创新，提高生产效率，提高产品质量，降低产品成本，以获得竞争优势，是兊服当前光伏产业面临的挑战的最佳办法。京运通做为光伏装备的领先制造商，愿与大家密切合作以共同提高中国光伏产业的技术水平。谢谢您的时间!Thankyouforyourattention!