电子级氢氟酸市场调研报告

电子级氢氟酸生产技术及市场行情研究报告报告目录一、电子级氢氟酸产品概述（一）、理化性质（二）、产品相关信息二、电子级氢氟酸生产工艺介绍（一）、概述（二）、生产工艺（三）、生产方法的难点1、分析控制与产品检测要求2、水质要求3、对主要生产设备及制造技术、包装技术的要求（四）、生产工艺技术特征1、杂质砷的控制2、生产设备与工艺3、高纯水制备4、设置报警系统5、尾气吸收（五）、质量指标三、电子级氢氟酸的包装、运输和贮存的相关规定（一）、包装（二）、运输（三）、贮存（四）、包装样图1、500毫升塑料瓶2、5升加仑桶3、25升4、200升5、1000升IBC集装桶6、20吨TANK灌7、其他规格四、电子级氢氟酸的用途（一）、集成电路行业（二）、液晶显示器行业（三）、太阳能光伏行业（四）、半导体行业（五）、其他行业五、产品分类（一）、UP-S级（二）、UP级（三）、EL级六、国内外知名生产企业（一）、国内外生产企业介绍表（二）、国内生产企业具体介绍1、浙江凯恒电子材料有限公司（附有图）2、邵武市永飞化工有限公司（附有图）3、浙江蓝苏氟化有限公司（附有图）4、苏州晶瑞化学有限公司（附有图）5、江阴江化微电子材料股份有限公司（附有图）6、邵武市华新化工有限公司7、富宝集团8、鹰鹏集团七、应用电子级氢氟酸的客户行业分析（一）、客户群体分析（二）、太阳能光伏行业（三）、LED行业1、台湾地区半导体行业2、大陆地区半导体行业（四）、液晶面板行业1、国家产业政策扶持2、液晶面板产业发展现况（五）、光伏电池片行业1、氢氟酸在光伏电池中的应用2、光伏产业发展背景3、光伏电池片行业发展现况4、BIPV----太阳能光伏建筑一体化八、主要用户分析（一）、用户需求特点（二）、细分市场容量（三）、未来细分市场预测九、全球电子级氢氟酸市场分析（一）、电子级氢氟酸全球主要区域市场分析（二）、电子级氢氟酸主要消费市场分析（三）、电子级氢氟酸主要供给地区分析（四）、电子级氢氟酸全球市场发展特点及趋势预测十、总结和看法图表（1）客户群体所占比例图表（2）2004-2009年台湾半导体产值统计及预测图表（3）1999-2008年中国半导体产业产值统计图表（4）LCD产业链图表（5）国内TFT-LCD生产线统计图表（6）国内新建TFT-LCD生产线图表（7）光伏产业链介绍图表（8）2004-2008年中国太阳能电池产量图表（9）全球太阳能电池主要产地份额情况图表（10）2008年全球主要太阳能电池厂商产量图表（11）电子级氢氟酸用户需求特点图表（12）2008年电子级氢氟酸应用行业市场容量分析图表（13）2012年电子级氢氟酸应用行业市场容量预测图表（14）2009年国外主要地区电子氢氟酸消费份额图图表（15）2005-2009年国外电子级氢氟酸消费量变化图图表（16）2009年全球主要电子级氢氟酸消费国消费状况图表（17）2005-2009年国外电子级氢氟酸产量图表（18）2005-2009年国外电子级氢氟酸需求满足率图表（19）2010-2012年国外电子级氢氟酸产量预测图图表（20）2009-2012年国外电子级氢氟酸消费量图表（21）2010-2012年国外电子级氢氟酸满足率一、电子级氢氟酸产品概述（一）、理化性质英文名hydrofluoricacid,分子式HF,分子量20.01。为无色透明液体,相对密度1.15～1.18，沸点112.2℃,在空气中发烟,有刺激性气味，剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。腐蚀性极强,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用。（二）、产品相关信息截止到2011年年底，全国电子级氢氟酸的产能在8万吨左右，可是产量只有不到5万吨。国内的主要生产厂家有浙江凯恒、浙江蓝苏、苏州晶瑞、江阴江化、邵武永飞、邵武华新、鹰鹏集团等一些企业，产能都在5000吨以上。电子级氢氟酸有4个级别（PPT级、UP-S级、UP级、EL级），包装方式用的是高密度聚乙烯材料的瓶子、吨桶和槽车。产品主要用于集成电路、太阳能光伏、液晶显示器、LED半导体等行业中。二、电子级氢氟酸生产工艺介绍（一）、概述目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关，垂直流向布置，原料(无水氢氟酸和高纯水)与中间产物可以依靠重力自上而下流动，高纯氢氟酸的制备在中部，产品过滤、灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送，节省能耗，降低生产成本，同时可避免泵对产品的二次污染。（二）、生产工艺将工业无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下(百级以下)进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。（三）、生产方法的难点1、分析控制与产品检测要求高。制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如下:(1)电感耦合等离子高频质谱分析仪(ICP-MS)；(2)电感耦合等离子原子发射分析仪(ICP-AES)；(3)原子吸收分光光度计；(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪；(5)离子色谱分析仪；(6)激光散射液体微粒计数器；(7)水表面杂质分析系统；(8)原子间力显微镜；(9)光学显微镜微粒计数器；(10)扫描电子显微镜；(11)光学膜厚测定和表面仿形仪；(12)表面张力测定仪；(13)空气中尘埃微粒测定仪；(14)水电阻率测定仪。2、对水质要求高，要求水的电阻率≥18.0MΩ·cm。高纯水是生产电子氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到电子级氢氟酸的产品质量。高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其他辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。目前,高纯水的生产工艺较为成熟,较常见是先通过离子交换柱和微过滤器,得到普通纯水,然后再采用反渗透、电渗析等各类膜技术进一步处理,最后配合杀菌和超微过滤便可得到高纯水。3、对主要生产设备材料及设备制造技术、包装技术的要求较为严格。厂房、分析室、仓库等环境洁净度要求较高，与成品接触部分要达到100级。整个生产过程中对产品质量管理要求极高。（四）、生产工艺技术特征1、杂质砷是电子级氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标，在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在，而且AsF3与氢氟酸的沸点相差不大，所以仅靠精馏对其分离的效果不会十分理想。为去除杂质砷，可在精馏前，加入适量的强氧化剂（如高锰酸钾等）将三价态的砷进行氧化，使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。2、生产设备与工艺：生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料，生产工艺采用常压、全封闭、连续化，采用热水低温(小于100度)精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。3、高纯水制备：通过离子交换与过滤器先制得普通纯水，再经过反渗透、电渗析后进入杀菌、超微过滤制得高纯水。4、在无水氢氟酸预处理槽边、精馏塔及蒸馏塔边、成品包装区设置HF有毒气体浓度探测、集中报警系统。5、设置尾气吸收塔、碱吸收塔，尾气可达标排放。（五）、质量指标目前，因各微电子生产企业对电子级氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μmIC工艺技术的制作。产品包装方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）专用密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。国际SEMI（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational）标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见下表。SEMI国际标准等级三、电子级氢氟酸的包装、运输、贮存相关规定（一）、包装：一般采用25KG聚乙烯塑料桶包装，属于一级无机酸性腐蚀物品。SEMI标准C1(Grade1)C7(Grade2)C8(Grade3)C12(Grade4)(Grade5)C11(VLSIGrade)金属杂质≤1ppm≤10ppb≤1ppb≤0.1ppb≤0.01ppb≤50ppb控制粒径μm≥1.0≥0.5≥0.5≤0.2/≥0.5颗粒，个/mL≤25≤25≤5//≤250适应范围适用于＞1.2μmIC技术的制作适用于0.8-1.2μmIC技术的制作适用于0.2-0.6μmIC技术的制作适用于0.09-0.2μmIC技术的制作适用于＜0.09μmIC技术的制作适用于0.8-1.2μmIC技术的制作（二）、运输中严禁受损、受热和雨淋，装卸中应该轻装、轻卸，防止撞击。（三）、电子级氢氟酸应该贮存于通风良好的仓库中。（四）、包装样图1、500ml塑料瓶高180mm直径75mm灌装口直径29mm自重量0.06kg灌装量0.5kg2、5L加仑桶高320mm直径150mm灌装口直径34mm自重量0.25kg灌装量4.5kg3、25L桶长280mm宽280mm高380mm灌装口直径65mm自重量：1.2kg-1.4kg灌装量：25kg4、200L桶高900mm直径590mm灌装口直径750mm自重量10.5kg灌装量：200kg-240kg5、1000LIBC集装桶长1200mm宽1000mm高1160mm灌装口直径150mm自重量60kg灌装量：1000kg6、20TTANK灌装槽车7、其他规格4LHDPEBottle20LHDPEPail回收式1M3ISOBulkContainer200LHDPEDrum简称IBC，又称TOTE四、电子级氢氟酸的用途（一）、产品主要用于在集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造中，电子级高纯氢氟酸是关键辅助材料之一，主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。（二）、在太阳能光伏行业中，用于硅片表面清洗、蚀剂等领域。硅锭到硅片，再到电池片的第一道工艺程序：清洗制绒环节会用到产品。（三）、在液晶显示器行业，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀剂等。（四）、在TFT-LCD、半导体产业中也被广泛使用。（五）、还可用作分析试剂、原子能工业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。五、产品分类（一）、UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMIC8标准。（二）、UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMIC7标准。（三）、EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMIC1C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺。六、国内外知名生产企业（一）、国内外生产企业介绍表地区厂家最好等级（金属离子）产能（吨）价格区间大陆凯恒（凯圣）PPT级0.1~100ppb25,0006000~9000元/吨苏州晶瑞EL级10~30ppb5,000江阴江化EL级30~100ppb5,000邵武永飞EL级10~30ppb5,000鹰鹏集团EL级30~100ppb10,000顺昌富宝EL级50~100ppb5,000邵