电阻湿敏传感器

第六章传感器与敏感材料6.1气敏传感器6.2湿敏传感器化学传感器：能将各种化学物质特性的变化定性或定量地转化为电信号的传感器气体浓度离子浓度空气湿度气敏传感器的定义：是能够感知环境中某种气体及其浓度的一种敏感器件，它将气体种类及其浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱便可获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息。6.1气敏传感器6.1.1气敏传感器的基本概念及分类气敏传感器的性能要求：对被测气体具有较高的灵敏度对被测气体以外的共存气体或物质不敏感性能稳定，重复性好动态特性好，对检测信号响应迅速使用寿命长制造成本低，使用与维护方便等气敏传感器的主要参数及特性灵敏度：对气体的敏感程度响应时间：对被测气体浓度的响应速度选择性：指在多种气体共存的条件下，气敏元件区分气体种类的能力稳定性：当被测气体浓度不变时，若其他条件发生改变，在规定的时间内气敏元件输出特性保持不变的能力温度特性：气敏元件灵敏度随温度变化而变化的特性湿度特性：气敏元件灵敏度随环境湿度变化而变化的特性电源电压特性：指气敏元件灵敏度随电源电压变化而变化的特性时效性与互换性：反映元件气敏特性稳定程度的时间，就是时效性；同一型号元件之间气敏特性的一致性，反映了其互换性气敏传感器的分类类型原理检测对象特点半导体式若气体接触到加热的金属氧化物(SnO2、Fe2O3、ZnO2等)，电阻值会增大或减小还原性气体、城市排放气体、丙烷气等灵敏度高，构造与电路简单，但输出与气体浓度不成比例接触燃烧式可燃性气体接触到氧气就会燃烧，使得作为气敏材料的铂丝温度升高，电阻值相应增大燃烧气体输出与气体浓度成比例，但灵敏度较低化学反应式利用化学溶剂与气体反应产生的电流、颜色、电导率的增加等CO、H2、CH4、C2H5OH、SO2等气体选择性好，但不能重复使用光干涉式利用与空气的折射率不同而产生的干涉现象与空气折射率不同的气体，如CO2等寿命长，但选择性差热传导式根据热传导率差而放热的发热元件的温度降低进行检测与空气热传导率不同的气体，如H2等构造简单，但灵敏度低，选择性差红外线吸收散射式由于红外线照射气体分子谐振而吸收或散射量进行检测CO、CO2等能定性测量，但装置大，价格高6.1.2半导体式气敏传感器的工作原理半导体式气敏传感器：利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度半导体式气敏传感器可分为：电阻式非电阻式半导体式气敏传感器电阻式烧结型薄膜型厚膜型二极管气敏传感器MOS二极管气敏传感器Pd—MOSFET气敏传感器非电阻式图6.1半导体式气敏传感器的分类（1）电阻式气敏传感器基本原理是利用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时，吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或电子接收性气体。如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气体或电子供给性气体。当氧化型气体吸附到N型半导体（SnO2,ZnO)上，还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。图6.2N型半导体吸附气体时器件阻值变化图100550加热开关大气中2min4min吸气时还原型氧化型稳定状态器件加热响应时间约1min以内器件电阻/k规则总结：氧化型气体＋N型半导体：载流子数下降，电阻增加还原型气体＋N型半导体：载流子数增加，电阻减小氧化型气体＋P型半导体：载流子数增加，电阻减小还原型气体＋P型半导体：载流子数下降，电阻增加SnO2的灵敏度特性和温－湿度特性SnO2气敏电阻的基本检测电路主要类型烧结型气敏器件薄膜型气敏器件厚膜型气敏器件烧结型气敏器件烧结型气敏器件的制作是将一定比例的敏感材料（SnO2、ZnO等）和一些掺杂剂（Pt、Pb等）用水或粘合剂调合，经研磨后使其均匀混合，然后将混合好的膏状物倒入模具，埋入加热丝和测量电极，经传统的制陶方法烧结。最后将加热丝和电极焊在管座上，加上特制外壳就构成器件。该类器件分为两种结构：直热式和旁热式。直热式气敏器件直热式器件管芯体积很小，加热丝直接埋在金属氧化物半导体材料内，兼作一个测量板缺点：热容量小，易受环境气流的影响测量电路与加热电路之间相互干扰，影响其测量参数加热丝在加热与不加热两种情况下产生的膨胀与冷缩，容易造成器件接触不良1234SnO2烧结体Ir—Pd合金丝(加热器兼电极)13242413(a)(b)结构符号图15.6　直热式气敏器件的结构和符号旁热式气敏器件旁热式气敏器件是把高阻加热丝放置在陶瓷绝缘管内，在管外涂上梳状金电极，再在金电极外涂上气敏半导体材料，就构成了器件克服了直热式结构的缺点，器件的稳定性得到提高(a)结构(b)符号图15.7　旁热式气敏器件的结构和符号加热丝测量电极加热丝电极电极电极绕结体加热器陶瓷绝缘管电极薄膜型气敏器件制作采用蒸发或溅射的方法，在处理好的石英基片上形成一薄层金属氧化物薄膜（如SnO2、ZnO等），再引出电极。实验证明：SnO2和ZnO薄膜的气敏特性较好优点：灵敏度高、响应迅速、机械强度高、互换性好、产量高、成本低等图15.8薄膜型气敏器件的结构加热器电极基片氧化物半导体单位：mm引线引线引线引线电极厚膜型气敏器件厚膜型气敏器件是将SnO2和ZnO等材料与3％～15％重量的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，把厚膜胶用丝网印制到装有铂电极的氧化铝基片上，在400～800℃高温下烧结1～2小时制成优点：一致性好，机械强度高，适于批量生产图15.9厚膜型气敏器件的结构加热器（印刷厚膜电阻）电极氧化物半导体基片单位：mm电阻式气敏传感器的特点优点：工艺简单，价格便宜，使用方便；气体浓度发生变化时响应迅速；即使是在低浓度下，灵敏度也较高。缺点：稳定性差，老化较快，气体识别能力不强，各器件之间的特性差异大等。（2）非电阻式气敏传感器二极管气敏传感器MOS二极管气敏传感器Pd—MOSFET气敏传感器二极管气敏传感器二极管气敏传感器主要利用气体浓度变化引起二极管整流特性发生改变的原理来实现测量。如在掺锢的硫化镉上，薄薄地蒸发一层钯薄膜，就形成了钯硫化镉二极管气敏传感器，这种传感器可用来检测氢气。当被测氢气浓度急剧增高时，由于吸附在钯表面的氧气因氢气浓度的增高而解析，使肖特基势垒降低，从而引起正向偏置电流也急剧增大。所以在一定偏置条件下，通过测量电流值就可以获知氢气的浓度。MOS二极管气敏传感器在P型半导体硅芯片上，采用热氧化工艺生成一层厚度为50～100nm左右的SiO2层，然后再在其上蒸发一层钯金属薄膜作为栅电极。由于SiO2层电容Cαx是固定不变的，Si—SiO2界面电容Cx是外加电压的函数，所以总电容C是栅极偏压U的函数，其函数关系称为MOS管的电容—电压特性（即C—U特性）。图15.6MOS二极管气敏器件结构和等效电路当传感器工作时，由于钯在吸附H2后，会使钯的功函数降低，从而引起MOS管的C—U特性向负偏压方向平移，如图6.7所示，由此可测定H2浓度。图6.7MOS二极管气敏器件的C—U特性a—吸附H2前b—吸附H2后Pd—MOSFET气敏传感器Pd—MOSFET气敏传感器是利用MOS场效应晶体管（MOSFET）的阀值电压随被测气体变化而变化的原理制成的气敏器件。Pd—MOSFET与普通MOSFET的主要区别是采用钯（Pd）薄膜取代铝（Al）膜作为栅极，并将沟道的宽长比（W/L）增大到50～100，所以又称为钯栅场效应晶体管，其结构如图6.8所示。(a)主视图图6.8Pd—MOSFET气敏器件结构示意图(b)俯视图原理由于钯对H2吸附性很强，而H2在钯上的吸附将导致钯的功函数下降，从而引起阀值电压发生改变。Pd—MOSFET气敏传感器正是利用H2在钯上吸附后引起阀值电压下降这一特性来检测H2浓度的。吸附氢后其阀值电压的变化值与环境中的氢分压（Pa）之间满足如下关系式中：——Pd—SiO2界面吸附氢原子达到饱和时，变化的最大值；K——氢分子离解的平衡常数。TmUTUTU221HHTPKPKUm=图6.13TGSl09型气敏传感器结构图6.1.3气敏传感器的应用自动通风扇气敏电阻放大电路加热电源比较器电路触发电路晶闸管电路排风扇温度补偿喇叭声光报警驱动电路闪光指示油烟(煤气)图6.14自动通风扇的原理框图图6.15家用有毒气体报警器电路图家用有毒气体报警器6.2湿敏传感器6.2.1湿敏传感器的基本概念及分类6.2.2常用湿敏传感器的基本原理6.2.3湿敏传感器的应用湿度的定义及其表示方法所谓湿度，是指大气中水蒸气的含量。它通常有如下几种表示方法：绝对湿度（AH）相对湿度（%RH）露点绝对湿度（AH）绝对湿度是指单位体积空气内所含水蒸气的质量，其数学表达式为绝对湿度给出了水分在空气中的具体含量。VmHVa相对湿度（RH）相对湿度是指待测空气中实际所含的水蒸气分压与相同温度下饱和水蒸气压比值的百分数。其数学表达式为：相对湿度给出了大气的潮湿程度。实际中常用。%100WVTPPH露点（温度）在一定大气压下，将含有水蒸气的空气冷却，当温度下降到某一特定值时，空气中的水蒸气达到饱和状态，开始从气态变成液态而凝结成露珠，这种现象称为结露，这一特定温度就称为露点温度湿敏传感器的定义就是一种能将被测环境湿度转换成电信号的装置主要由两个部分组成：湿敏元件和转换电路，除此之外还包括一些辅助元件，如辅助电源、温度补偿、输出显示设备等一个理想的湿敏传感器应具备的性能使用寿命长，稳定性好灵敏度高，线性度好，温度系数小使用范围宽，测量精度高响应迅速湿滞回差小，重现性好能在恶劣环境中使用，抗腐蚀、耐低温和高温等特性好器件的一致性和互换性好，易于批量生产，成本低器件感湿特征量应在易测范围内湿敏传感器的主要参数及特性感湿特性湿度量程灵敏度湿滞特性响应时间感湿温度系数老化特性感湿特性湿滞特性湿敏传感器的分类界限电流式湿敏传感器湿敏传感器电阻式电容式其它电解质式陶瓷式高分子式陶瓷式高分子式光纤湿敏传感器二极管式、石英振子、SAW式、微波式、热导式等图6.14湿敏传感器的分类6.2.2常用湿敏传感器的基本原理电阻式湿敏传感器电容式湿敏传感器电阻式湿敏传感器电阻式湿敏传感器是利用器件电阻值随湿度变化的基本原理来进行工作的，其感湿特征量为电阻值。根据使用感湿材料的不同，电阻式湿敏传感器可分为：电解质式陶瓷式高分子式电解质式（氯化锂）电阻湿敏传感器氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子导电率发生变化而制成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层与电极组成。氯化锂通常与聚乙烯醇组成混合体，在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl均以正负离子的形式存在，而Li＋对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。当溶液置于一定温湿场中，若环境相对湿度高，溶液将吸收水分，使浓度降低，因此，其溶液电阻率增高。反之，环境相对湿度变低时，则溶液浓度升高，其电阻率下降，从而实现对湿度的测量。湿敏电阻结构示意图12341—引线；2—基片；3—感湿层；4—金电极氯化锂湿度—电阻特性曲线吸附脱附15℃7.06.56.05.55.04.54.0405060708090相对湿度/%RH电阻值的对数/氯化锂湿敏元件的优点：滞后小，不受测试环境风速影响，检测精度高达±５%缺点：耐热性差，不能