静电对策实施手册2

页数14/593.8作业台、货架的导电胶皮垫子、导电地板等的电阻值测定为进行静电对策、保护人体，需要管理的适当值。新设备以及变更时，定期检查时要按下面的方法来实施未确保ESD对策基准的适用（IEC61340、4-1、5-1、5-2），半导体设备的耐性低下，人体的安全性，需要变更测定基准；而且以以前的500V的基准来测电阻，的确是无法测出导电胶皮垫子是异常的。所以一定要改正。3.8.1以国际规格IEC613404-1、5-1、5-2为基准的方法a)使用测定器是一种电阻值未达到1×106Ω的场合，印加10[V]就可测出来的是一种电阻值未达到1×106Ω的场合，印加10[V]就可测出来的代表例.表面电阻计SufaceResistanceTestKit3.8.2继续使用一部分旧基准的测定器具有效利用旧的测定器得出误差很少的测定结果a)使用测定器代表例.电阻计印加电压是125[V]的绝缘电阻计制造公司YOKOKAWA专用电极型号MY-40JIS标准条件的电极（2Kgφ60mm）b)代表例使用测定器电阻计印加电压是10[V]的绝缘电阻计制造公司YOKOKAWA专用电极型号2426A美国标准的5磅重的电极（120H×φ64mm)◇有效利用旧的测定器的注意点和旧的国际规格IEC61340方式进行比较测定，显示出最接近的值可做相同判断对测定值产生怀疑时，可按IEC61340基准a)的方法进行测定。◇测定时的注意点◇测定现在的状态是很重要的，测定前禁止用有机溶液洗净，用水擦拭有少量灰尘时，也可以用柔软的刷子除去灰尘-。现在停止销售顶端有导电垫板5磅电极本体与接地极连接页数15/593.8.3测地板面、作业台表面、货架表面和接地极间的绝缘电阻时的连接图a)测定方法3.8.4绝缘电阻的管理值◇变更前----------JIS基准的测定基准和绝缘电阻值测定方式电压[V]电极[mm]重量绝缘电阻值[MΩ]以前的方式500φ602Kg0.1~100以内问题点测定电压变高就会破坏绝缘层使绝缘值看起来很低◇变更后IEC61340，ESDS4-1基准中的测定基准和绝缘电阻值益处：因为不破坏绝缘层就能取得适当的测定结果1.推荐的地板、桌子、货架等的绝缘电阻值是0.75~10MΩ以下是最好的。2.避免以静电鞋为介将人体的电位连接在地板面的接地极时的体系合成电阻值是0.75~10MΩ以下是最好的。3.同样，使用静电手环接地时，推荐的体系合成电阻值是0.75~10MΩ以下是最好的。10~35MΩ时，有些异常。在等级2（50V）以下，有带静电手环的义务的理由是，因为低电阻（10MΩ以下）的电阻值可将人体的带电电压值控制在50V以下。测定方式电压[100V]电极[mm]重量绝缘电阻值国际规格方式100φ645磅0.1~100以内使用旧测定器a)125φ602Kg0.1~100以内使用旧测定器b)100φ645磅0.1~100以内与电阻相对应的人体带电的电压专用电极绝缘电阻计表面电阻计导电象胶低电阻值导电层侧导电地板、作业台上面、货架上面、页数16/593.9导电胶皮垫子的性能判定导电胶皮垫子的主要目的是为防止半导体设备的静电放电带来的损伤而作了无电位[0V]等电位面。做半导体、搭载有半导体的PCB、处理半完成品的面。遮断电界具有接地用具的作用。用静电鞋铺在地板面上的导电胶皮垫子，构筑接地体系。选定导电胶皮垫子时，不仅需要商品目录数据，而且也需要实际评价了解素性，另外也需要把握现有的胶皮垫子的状态。作为参考只测定了电阻值，但是也评价了市场上销售的导电胶皮垫子。◊AKIRESU制SC垫子的电阻值测定a)测定绝缘电阻值（500V）b)测定绝缘电阻值（125V）确认测定结果以500V来测定的电阻值低500V/125V的电阻变化7.71/4.68=1.65倍的变化满足所规定的规格值◊矢崎制静电胶皮垫的电阻值测定a)绝缘电阻值测定（500V）b)绝缘电阻值测定（125V）确认结果以500V来测定的电阻值低500V/125V的电阻变化36.8/8.96=4.1倍的变化125V时，与AKIRESU制的东西相比，显示的它5倍的电阻值在规格值内◆结果的判断上记两点的静电胶皮垫满足了单体的规格，以静电鞋和地板胶皮垫来使人体接地的场合，在两者间产生了很大的差想把人体电压设为100V以下的系统合成电阻是35MΩ以下；用矢崎制（同等）的场合达不到推荐值。现状的规格值是100MΩ以下就能满足条件，但是却很难很有效地除电，管理值是30V以下地时候更不利。选定静电胶皮垫时，要选择10MΩ以下的。今后的除电系统的构筑方法：地板面导电地板砖（耐久性、电气性能优良）要稳定的持有1MΩ左右地电阻值作业台面静电胶皮垫（柔软、易设置）页数17/594、人体地除电对策，静电手环的着用由于人体是运动的带电体，所以需要完善的对策和管理。在导电性地板材的施工，穿好静电鞋，戴好静电手环方面都有着相应的静电对策。但是，只采用这当中的一两个方法就说不上完善，有时还会发生危险。比如，即使穿着静电鞋，如果脚离开地面的场合或者静电手环断线和与皮肤等没有完全接触，所以最理想的就是上记的3个方法一起来实行对策。4.1由于戴好静电手环而除电a)静电手环例-1b)着用方法c)引线接地的连接方法通常，在静电手环的顶端连上地线上接地，在生产工程稳定使用很多时候会产生问题问题点例1例2用单线的φ1.6就很难夹紧、接触不好且易掉用软铜线，如果用夹子夹住又很容易划伤线材，之后又会造成断线由于夹子脱落或者地线断线，就会发生人体的除电效果发挥不出来的状态，所以为了对应这些，将在下页规定对策例子应现场情况选择对策例来实施。制造公司住友3m名称绿色静电手环型号2314例-2制造公司アキレス株式会社名称红色静电手环型号D-051D-050将静电手环套在作业员的手腕上，一直系到不会松为止一定要直接接触到皮肤，否则如果有缝隙的话就不会有除电效果了。参照左图易脱落要断线前页数18/59改善对策例改善对策例—1（变更地线）左图例使用了3.5mm2硬铜燃线a)线种变更单线→燃线b)线径变更φ1.6→3.5mm2C)硬度变更软铜线→硬铜线防止断线和加强改善接合强度改善对策例—2（追加有端子的地线）在引线上装上圆形压线端子接在地线上为防止断线，用固定带固定了将夹子接在圆形压线端子上改善对策例—3（追加有弧形插口的地线）a)能直接连接静电手环的弧形插口b)能直接和静电胶皮用的地线胶皮垫连接改善对策例—4（变更夹子）连接在Φ1.6MM的地线上的状态变更夹子，提高连接强度在夹子上有纵、横的锋利刀刃，所以使用线径细的Φ1.6的也可保持强度。地线夹子地线头的圆形压着端子推荐线种时3.5MM2以上的硬铜燃线夹子页数19/594.2静电手环的检查a)戴好静电手环的导通确认（在线上的检查场所等确认的方法）作业员把静电手环套到手腕上，将引线接到检查的指定部位，用手指头按检出部检查戴静电手环的状态和导通情况。检查静电手环的例子-1检查静电手环的例子-2由于静电手环很容易断线，所以检查频度是1天/1次注意点由于上记的方法在实际作业中没有进行确认，所以不能检查出忘记装夹子，所以要以实际作业状态的检查为标准。把下记的方法作为静电手环的检查基准。B)以作业条件来确认导通的方法（实际作业状态的状态确认=系统合成电阻/静电手环）在确认作业现场的地线效果的地方，连上静电手环、系统仪器的夹子，来检查实际作业状态的导通，观察人体的除电效果。关于系统电阻合成电阻值/静电手环在静电手环着用状态下的合成电阻R1：1MΩ±5%的保护电阻R2：静电手环和作业员的接触电阻（约1MΩ）R3：作业员的人体电阻（约1KΩ）R4：分析器按纽与手指的接触电阻（500KΩ以上）R5：分析器与地线间的电阻（使它变为低电阻）R6：接触电阻连接部无污垢、锈、异物附着、松动等制造公司名称型号D-001制造公司SemtronicsCopration名称系统分析器型号EN425设定电阻值是10MΩ将静电手环的夹子接在地线上地线干线连接地线R4地线页数20/59c)作业条件的导通确认（在实际作业中时常监视的方法）在作业状态中将时常监视的检查器装在地线和静电手环之间来监视接地状态，即使检出导通不良。到目前为止，还没有比这个更好的方法，如果没有费用方面的问题建议及时导入。4.3使用静电手环方面的注意点使用的时候，要注意下面的事项，特别是仅靠静电手环来除掉人体的静电时，使用静电手环要做到维持电气处于导通的状态。1.把静电手环套到手腕上直接与皮肤接触a)不戴在工作服的上面b)不戴在手套的上面c)戴静电手环时，没有松动2.要经常监视静电手环的接地状态（参照上记）使用静电手环时要经常监视静电手环舞断线、夹子无脱落3.用系统分析器在实际作业状态检查后使用。4.检查的次数时1天/1次。5.与其只使用1个静电手环还不如使用2个、和其它方法一起使用经常保持接地状态使用带电低的设备时，为了保险起见，请双手戴上静电手环。6.静电手环不要戴在脖子上和脚上。（因为静电手环脱落时检查出来太迟了）要在脖子上和脚上戴静电手环的场合要取得管理者的许可才可以。戴静电手环的错误例为保护人体而要严加遵守的事项靠静电手环可使人体接地，接错即使碰到活电部由于有保护电阻的存在而把电流限制在0.5MA以下，就使得人体没有危险，而且手腕部也要避免有金属。同样，为保护人体，作业时要禁止戴金属性的手表（包括金属物）。另外，作业时，不要戴多余品在手上。戴在手套的上面戴在静电对策品上的手套上纠正点1.直接戴在皮肤上2.不在与静电手环检查时不同的条件下作业3.彻底指导戴静电手环的方法指导清楚明白禁止戴禁止戴