激光干涉仪测量直线度

激光干涉仪概述SJ6000激光干涉仪产品采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性、角度、直线度、平面度和垂直度等几何量，并且可以进行动态分析。SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。数控机床直线度测量的必要性首先,新机床出厂前都要进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测,现在大多使用激光干涉仪进行.其次,机床使用一段时间后,由于丝杠的磨损和其它原因,精度会逐渐丧失,这时需要使用激光干涉仪进行精度的再校准.最后,激光干涉仪还可以进行其它项目的检测,例如直线度,垂直度,角度等.数控机床直线度测量方法1、直线度测量原理双频激光测头输出光经过直线度干涉镜，按偏振态被分成两束，以一定角度发散后入射到直线度反射镜。光束从直线度反射镜返回，沿新光路回到直线度干涉镜后，合成一束回到光线接收端，进行干涉测量。通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的横向位移，就可以得到导轨相对于激光光路参考线的直线度误差。直线度可以在水平面或垂直面上进行，这取决于直线度干涉镜和反射镜的布置，如下图所示。2、数据采集和处理数据采集方法：使待测机床轴移动到若干个不同位置（或“目标”），然后测量直线度误差。可以从一个目标位置移动到下一个目标位置时，暂停几秒，在此过程中进行测量。3、直线度测量用组件直线度测量用到的激光干涉仪组件：SJ6000激光测头、直线度光学镜组、直线度测量附件、SJ6000测量软件。4、直线度测量应用数控机床/坐标测量机主轴直线度误差测量机床/直线电机导轨直线度测量机床工作台直线度测量动态直线度测量