洁净空调-技术规范

洁净室技术规范1.空气净化处理第5．4．1条各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。注：100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。第5．4．2条确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。第5．4．3条净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回风。第5．4．4条净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。第5．4．5条空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。第5．4．6条送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。第5．4．7条净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。2.采暖通风第5．5．1条洁净室的采暖型式，应按下列不同情况确定：一、100级、1000级、10，000级洁净室，不应采用散热器采暖；l00，000级洁净室，不宜采用散热器采暖。二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖，或采用间歇运行净化空气调节系统、值班风机系统进行热风采暖。第5．5．2条散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。第5．5．3条洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置，排风罩的操作口面积应尽量缩小。第5．5．4条局部排风系统在下列情况下，应单独设置：一、非同一净化空气调节系统；二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；三、所排出的有害物毒性相差很大。第5．5．5条洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：一、防倒灌措施；二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。第5．5．6条换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施。其室内的静压值，应低于洁净区。第5．5．7条洁净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时15～20次。事故排风装置的控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。3.风管和附件第5．6．1条风管断面尺寸的确定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。第5．6．2条净化空气调节系统的新风管、回风总管，应设置密闭调节阀。送风机的吸入口处和需要调节风量处，应设置调节阀。洁净室内的排风系统，应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置防火阀。第5．6．3条净化空气调节系统的风管和调节阀以及高效空气过滤器的保护网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应根据输送空气的洁净要求及其所处的空气环境条件确定。洁净室内排风系统的风管、调节阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。第5．6．4条在中效和高效的空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及需要调节风量的支管上，应设置风量测定孔。第5．6．5条排除腐蚀性气体的风管，可采用塑料风管。其他风管以及风管的保温和消声材料及其粘结刑，应采用非燃烧材料或难燃烧材料。4.给水排水4.1一般规范第6．1．1条洁净厂房内的给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或地下埋设。洁净室内应少敷设管道。引入洁净室的支管宜明敷，但对空气洁净度等级要求高的洁净室可暗敷。第6．1．2条洁净厂房内的管道外表面，如可能结露，应采取防结露措施。第6．1．3条管道穿过洁净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第5．1．4条管道不宜穿过防火墙。如必须穿过时，穿墙管及其套管应为非燃烧体管材。4.2给水第6．2．1条洁净厂房内的给水系统设计，应根据生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求，分别设置直流、循环或重复利用的给水系统。高纯水系统应设置循环管道。第6．2．2条管材的选择，应符合下列要求：一、纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；二、冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管；三、生产用水设备与管道的连接宜采用优质软管；四、管道的配件应采用相应的材料。第6．2．3条洁净厂房内可设置开水供应设施；盥洗室内的盥洗盆宜供应热水；软化水、纯水管适应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。第6．2．4条洁净厂房的周围，应设置洒水设施。4.3排水第6．3．1条洁净厂房的排水系统设计，应根据生产排出的废水性质、浓度、水量等特点确定排水系统，并应有废水处理或综合利用设施。第6．3．2条洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，并应有防止水封被破坏的设施。第6．3．3条100级、1000级洁净室内，不宜设置地漏；如必须设置时，应采用有盖地漏，并不应设排水沟。10，000、100，000级洁净室内允许穿过排水竖管，但在竖管上不得设置检查口。第6．3．4条洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清扫的卫生器具、管材、管架及其附件。4.4消防设施第6．4．1条洁净厂房应根据生产的火灾危险性分类和建筑物耐火等级等因素确定消防设施。第6．4．2条洁净厂房室内消火栓给水系统的消防用水量不应小于10升／秒，每股水量不应少于5升／秒；第6．4．3条洁净厂房的消火栓设置，应符合下列要求：一、消火栓的水枪充实水柱，不应小于10米。二、消火栓的栓口直径应为65毫米，配备的水带长度不应超过25米，水枪喷嘴口径不应小于19毫米。第6．4．4条洁净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或二氧化碳等灭火设施和消防给水系统。对设有贵重设备仪器或生产的火灾危险性较大的洁净室，以及当火灾发生时消防人员难以进入扑救的技术夹层和技术夹道等部位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。5.工业气体管道5.1通常规定第7．1．1条工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道宜明敷；如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好的通风措施。引入洁净室的支管宜明敷。第7．1．2条高纯气体管道设计，应附合下列要求一、根据计算确定管径；二、管道系统应尽量短；三、不宜设预留口；四、不应出现“盲管”等不易吹除的部位；五、干管和支管上应设置吹除口；六、在管道系统上应设置必要的取样口。第7．1．3条穿过洁净室墙壁或楼板的气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第7．1．4条氢气和氧气管道末端或是高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷保护区内。第7．1．5条气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。第7．1．6条气体过滤器应根据生产工艺对气体含尘量的要求进行选择。高纯气体管道应装设高气体过滤器。5.2管道材料、阀门和附件第7．2．1条根据不同的气体及其纯度和用途，管道材料应按下列规定选用：一、气体纯度大于或等于99．999％时，应采用不锈钢管；二、气体纯度大于或等于99．99％时，直采用不锈钢管、铜管、无缝钢管；三、气体纯度小于99．99％时，可采用无缝钢管；四、管道与设备的连接段，宜采用金属管道；如为非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳胶管。第7．2．2条高纯气体管道应采用密封性能好的阀门和附件，其材料与管道相适应。阀门的密合圈应为有色金属、锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门的填塞料应采用聚四氟乙烯材料。第7．2．3条高纯气体管道与附件连接的密封垫,应采用不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。5.3管道连接和清洗第7．3．1条管道连接应采用焊接。高纯气体管道应采用承插焊。第7．3．2条管道与设备、阀门的连接处，宜采用法兰、螺纹或其它密封性能优良的连接件。螺纹处宜采用聚四氟乙烯带密封。第7．3．3条高纯气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、脱脂等预处理。5.4安全技术第7．4．1条工业气体管道设计的安全技术，应符合下列规定：一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器；二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置；三、各种气体管道应设明显标志。第7．4．2条洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。第7．4．3条各种气瓶应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。6.电气6.1配电第8．1．1条洁净厂房的电力负荷等级，应根据生产工艺要求确定。净化空气调节用电负荷、照明负荷，应由变电所专线供电。第8．1．2条电源进线（不包括消防用电）应设置切断装置，并宜设在非洁净区便于管理的地点。第8．1．3条洁净室内的配电设备，应选择不易积尘的设备，并宜暗装。大型配电设备不宜设在洁净室内。第8．1．4条洁净室内的电气管线宜暗敷，管材应采用非燃烧材料。由非洁净区进入洁净区的电气管线管口，应采取可靠的密封措施。6.2照明第8．2．1条洁净室内的照明光源，宜采用荧光灯。如达不到照明设计的技术经济指标要求时，也可采用其他光源。第8．2．2条洁净室内一般照明灯具宜明装。如灯具嵌入顶棚暗装时，其安装缝隙应采取可靠的密封措施。洁净室内不应采用格栅型灯具。第8．2．3条无采光窗洁净区工作面上的照度值，不应低于表8．2．3的规定数值。无采光窗洁净区工作面上的照度值表8．2．3第8．2．4条无采光窗洁净区混合照明中的一般照明，其照度值应该按等级混合照明照度值的10－l5％采用，并不应低于150勒克斯。第8．2．5条洁净厂房内应设置供人员疏散用的事故照明。在应急安全出口和疏散通道转角处应设置标志灯。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。第8．2．6条洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7。6.3控制通信和防护第8．3．1条洁净厂房的净化空气调节控制系统，应满足生产工艺对温度、湿度和正压的要求。净化空气调节系统所采用的电加热器，应设置无风断电保护。第8．3．2条洁净厂房内应设置与厂房内外联系的通信装置。第8．3．3条洁净厂房（包括技术夹层）应单独或组合设置感温、感光、感烟等形式的火灾探测器。报警器（受讯台）应设置在有人值班的地点，供电应可靠。第8．3．4条洁净区内应设紧急按钮。如发生火灾危险时，应能发出报警信号，并应同时切断风机电源。