各种光学干涉仪

2.马赫－泽德(曾德尔)干涉仪图是马赫—泽德干涉仪的原理图。马赫——曾德干涉仪的基本原理：利用分振幅法产生双光束干涉。•这种干涉仪也能探测小至10-14m的位移。•它与迈克尔逊干涉仪有一些相同之处。同样，从激光器输出的光束先分后合。•两束光由可动反射镜的位移引起相位差，并在光探测器上产生干涉。与迈克尔逊干涉仪之区别1、它没有或很少有光返回到激光器，返回到激光器的光会造成激光器的不稳定噪声，对干涉测量不利。2、由图可以看到，从分束器2向上还有另外两束光，一束是上面水平光束的反射部分，另一束是垂直光束的透射部分。如果需要，也可以用这两束光的干涉光强获得第二个输出信号。这在一些应用上是很方便的。第二个输出信号马赫—泽德全光纤干涉仪•作为一个工程实用的传感器，最好采用全光纤干涉仪。•图表示马赫—泽德全光纤干涉仪的基本结构，以这个基本结构为基础还有很多变形结构。它的两个臂都使用光纤，且光的分路与合路也都是用3dB光纤耦合器。•其优点是体积小，且机械性能稳定。当然，重要的是要解决好光纤耦合器的工艺和稳定性问题。