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1什么是微电子学答:微电子学作为电子学的一门分支科学,主要是研究电子或离子在固体材料中的运动规律及其应用,并利用它实现信号处理功能的科学。2什么叫集成电路?答:IntegratedCircuit,缩写IC通过一系列特定的加工工艺,将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件,按照一定的电路互连,“集成”在一块半导体单晶片(如硅或砷化镓)上,封装在一个外壳内,执行特定电路或系统功能3集成电路的分类:按器件结构类型分类:双极集成电路,金属-氧化物-半导体(MOS)集成电路,双极-MOS(BiMOS)集成电路按集成电路规模分类小规模集成电路(SmallScaleIC,SSI)中规模集成电路(MediumScaleIC,MSI)大规模集成电路(LargeScaleIC,LSI)超大规模集成电路(VeryLargeScaleIC,VLSI)特大规模集成电路(UltraLargeScaleIC,ULSI)巨大规模集成电路(GiganticScaleIC,GSI)按结构形式的分类:单片集成电路,混合集成电路(厚膜集成电路、薄膜集成电路)按电路功能分类:数字集成电路,模拟集成电路,数模混合集成电路4微电子学的特点答:(1)、微电子学是一门综合性很强的边缘学科涉及了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试与加工、图论、化学等多个学科(2)、微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向(3)、微电子学的渗透性极强,它可以是与其他学科结合而诞生出一系列新的交叉学科,例如微机电系统(MEMS)、生物芯片等5半导体及其基本特征是什么?导体:自然界中很容易导电的物质称为导体绝缘体:有的物质几乎不导电,称为绝缘体,半导体:另有一类物质的导电特性处于导体和绝缘体之间,称为半导体固体材料:超导体:大于106(cm)-1导体:106~104(cm)-1半导体:104~10-10(cm)-1绝缘体:小于10-10(cm)-1半导体的导电机理不同于其它物质,所以它具有不同于其它物质的特点:(基本特征)1、在纯净的半导体材料中,电导率随温度的上升而指数增加;2、半导体中杂质的种类和数量决定着半导体的电导率,而且在重掺杂情况,温度对电导率的影响较弱;3、在半导体中可以实现非均匀掺杂;4、光的辐照、高能电子等的注入可以影响半导体的电导率。6、光刻与刻蚀技术7、集成电路的设计流程8、集成电路的设计规则和全定制方法什么是可测性设计?在尽可能少地增加附加引线脚和附加电路,并使芯片性能损失最小的情况下,满足电路可控制性和可观察性的要求9、微机电系统的基本概念答:从广义上讲,MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统MEMS的分类(1)、微传感器:►机械类:力学、力矩、加速度、速度、角速度(陀螺)、位置、流量传感器►磁学类:磁通计、磁场计►热学类:温度计►化学类:气体成分、湿度、PH值和离子浓度传感器►生物学类:DNA芯片(2)、微执行器:微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等(3)、微型构件:微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等(4)、微机械光学器件:微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等(5)、真空微电子器件:它是微电子技术、MEMS技术和真空电子学发展的产物,具有极快的开关速度、非常好的抗辐照能力和极佳的温度特性。主要包括场发射显示器、场发射照明器件、真空微电子毫米波器件、真空微电子传感器等(6)、电力电子器件:包括利用MEMS技术制作的垂直导电型MOS(VMOS)器件、V型槽垂直导电型MOS(VVMOS)器件等各类高压大电流器件10、ICPackage(IC的封装形式)ICPackage种类很多,按以下标准分类:1、依IC晶片数目:SCP(SingleChipPackages)MCM(Multi-chipChipMudule)2、按封装材料划分为:金属封装、陶瓷封装、塑料封装、裸片3、按照和PCB板连接方式分为:PTH封装和SMT封装4按照封装外型可分为:SOT、SOIC、TSSOP、QFN、QFP、BGA、CSP等;11、摩尔定律:集成电路的集成度每三年增长四倍,特征尺寸每三年缩小倍按比例缩小定律:为保持晶体管的性能,晶体管的尺寸缩小应当遵循等比例缩小原则。恒定电场规律,简称CE律:等比例缩小器件的纵向、横向尺寸,以增加跨导和减少负载电容,提高集成电路的性能;电源电压也要缩小相同的倍数恒定电压等比例缩小规律(简称CV律):1保持电源电压Vds和阈值电压Vth不变,对其它参数进行等比例缩小;2、按CV律缩小后对电路性能的提高远不如CE律,而且采用CV律会使沟道内的电场大大增强;3、CV律一般只适用于沟道长度大于1m的器件,它不适用于沟道长度较短的器件。准恒定电场等比例缩小规则,缩写为QCE律:1、CE律和CV律的折中,世纪采用的最多2随着器件尺寸的进一步缩小,强电场、高功耗以及功耗密度等引起的各种问题限制了按CV律进一步缩小的规则,电源电压必须降低。同时又为了不使阈值电压太低而影响电路的性能,实际上电源电压降低的比例通常小于器件尺寸的缩小比例23器件尺寸将缩小倍,而电源电压则只变为原来的/倍12、微电子技术发展的趋势1、由集成电路(IC)向集成系统(IS)转变——微系统两重含义狭义:信息系统的芯片集成,即片上系统,或Systemon-a-Chip(SOC)广义:微系统,微电子机械系统(MEMS)、微光机电系统(MOEMS),等2、由微电子学向纳电子学转变——纳电子学两重意义狭义上:纳器件,包括延伸MOS结构的物理限制和寻找MOS的继承器件广义上:纳系统,如分子、量子、生物(DNA)电子学等计算系统3、“MoreMoore”——按比例缩小(Scaling)几何Scaling:继续缩小片上逻辑记忆存储功能在水平、垂直方向的物理特征尺寸,以求持续改善密度、性能和可靠性等价Scaling:影响芯片电学性能的三维器件结构改善、其它非几何工艺技术、新材料4、“MorethanMoore”——功能多样化(FunctionalDiversification)不必Scaling而提高附加值方法:如对非数字功能的RF通信、功率控制、片上无源元件、传感器/执行器(MEMS)等异质集成:由PCB系统板级集成移植为SOC或SIP5、“BeyondCMOS”——超越硅基CMOS摩尔定律达到物理和概念上极限后,要求全新的科学、工程和概念框架。美国NSF启动超越摩尔定律的科学与工程SEBML(ScienceandEngineeringBeyondMoore'sLaw)项目,2009年拨款2000万美元碳纳米管量子计算器件小型化和系统中容错技术
本文标题:微电子学概论知识点
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