刻蚀溅射试题+答案

一级题目：1：ATM在真空系统中表示___大气压____2:一标准大气压=___760__Torr=__1E-5_____Pa3：负压检漏常用__酒精___做检漏液，正压检漏常用__肥皂水___做检漏液4：3180溅射台离子规显示单位为_torr___,正常情况下本底真空数值为≤5E-6torr_______(范围值)5：3180溅射台热偶规最小测量数值为___1____mtorr6:溅射台和刻蚀机都有___离子规_____,___热偶规___和__电容真空计____3种真空测量仪器7：现在所用的清洗台加热缸有__水浴加热____和__加热丝加热____两种加热方式8：刻蚀机所用油泵泵口真空最低可到__8E-3___torr,所用干泵泵口真空最低可到__2E-2___torr9：填写以下8300刻蚀机显示中各处真空表示的含义以及待机时正常显示范围Forline前级200mtorrRootP腔粗抽100mtorrProcess反应腔5mtorrLoadlock装载腔5mtorrRoughL腔粗抽5mtorr10：3180溅射台最上方显示的是__电容真空计___测量到的真空值，其显示范围为____0.1mtorr~1torr_____11:刻蚀机特气进入腔体前压力一般不超过___20psi____12:P5000CVD腔体和溅射腔体真空方面最大的区别是___溅射需要高真空，CVD不需要________13:真空漏率常用单位为__mtorr/min_____,8300刻蚀机后腔和前腔漏率要求为_0.2mtorr/min____和____6mtorr/min__14:溅射台和刻蚀机上用的高真空泵有____分子泵___和____冷泵_____15:分子泵控制器上4个指示灯从下至上依次表示_正常加速错误电源_________16:冷泵需要再生的原因是__需去除活性炭中所吸附的气体，恢复吸附能力______17:MFC是_质量流量计_______,其常用规格单位为__SCCM____和__SLM_____两种18：8300刻蚀机和8100刻蚀机特气气路密封方式为__VCR___和__VCO___，其区别是__VCR用金属硬密封，VCO用橡胶密封圈密封____19:8100正常辉光颜色为_白色____,8300正常辉光颜色为_______黄绿色_______20:3180溅射台上TC1表示__LL腔__的真空，TC3表示__前级___的真空盘二级：1:3180溅射台小腔体放气导致TC3真空变化原因是__隔离阀或者大盘双层密封圈处有漏气_______2:3180溅射台大盘转动处采用_磁流体_____进行动密封3：真空脂应用在__不开启_____部分的密封圈上4：8300真空腔体内润滑油脂应具有_不挥发______特性5：清洗台氢氟酸槽温度异常主要原因有__热偶，控制器，水浴加热等_________6:给3180腔体加热，真空成__先下降后再回复上升_____变化7：A1000去胶机待机一段时间后即无法打开其原因主要是___粗抽阀内漏____8:A1000去胶机漏率过大主要原因是_腔体前门_____和__石英管底部_____两处的密封圈需更换9：刻蚀机辉光颜色偏红主要原因是__有N2气进入腔体________10:P5000刻蚀机冷却he做片时漏率过大主要原因是___圆盘无法贴紧电极底座______11:3180溅射台出现大盘转动失败的主要原因有__机械卡死电机问题________12:8300刻蚀机管道中固体沉积物在做清理时用___DI水___浸泡去除13:3180溅射台小腔体门和举片架动作快慢通过调节_气缸气路上阀门_____来调节14：红色的密封圈含__硅___,特性是___耐高温____15：A1000去胶机传片不到位主要调节_花篮升降台______,__传片手臂_____和__载片架____的高度及位置16:溅射台，刻蚀机长时间开腔后粗抽腔体应___反复抽充N2_______操作17：清洗台3号液槽温度异常原因主要有___热偶，控制器，加热丝等问题______18:3180及8300冷泵正常工作温度为___10K_____正常工作时3180表头指针在___蓝__色区域19：分子泵需要purge氮气的原因是___防止有害气体损害泵体_____20：更换有毒气体MFC时，抽空管道内有毒气体后，还应该____循环充抽N2_______三级：软盘1:3180溅射台安装盘包括___2___张_____5英寸软盘__2:P5000安装盘包括_5_张___3.5英寸__3:3180换靶时测量靶对地电阻应不小于____100K欧______4:8300DI水水阻大小一般为__12M欧______5:8300整套传片手臂包括_3__个步进电机6：3180换靶时需要更换的屏蔽件（不含螺丝）有__挡板，阳极罩，clip环全套等_______7:8300清理时需从腔体内卸下的部件有__弥散管，底部屏蔽件，电极载片座等_____8:冷泵抽真空的基本原理是_通过低温冷凝用活性炭吸附气体_____9:靶短路导致高压柜最下方相位错误红灯亮，首先应检查高压柜的__保险______10：离子规进行除气的原因是_使测量更准确稳定______11:防止油泵返油一般在设备抽气管道中加入__balast______装置来进行12：1000C分子泵转速为__36000转/min_____,不带负载正常工作时前级压力不超过__100mtorr______13:3180两个大盘前进/后退的电磁阀位于___主机后方____为__120AC或24VDC__V的_双向____阀14：3180高压柜启动互锁包括腔体真空，靶座线路，高压柜风扇，__高压柜柜门______和_主机冷却水______15:3180某特定腔掉片主要原因是_clip有问题______16:刻蚀机屏蔽件出现破损必须_更换_______17:8100刻蚀机出现极板过热主要原因是__极柱冷却不良____18:A1000去胶机MFC，P5000MFC和8300MFC安装方向分别为__水平，垂直向下，垂直向下______________19:分子泵启动时间一般不超过_10___分钟20：3180流速传感器分别监测_3个靶座，大盘，磁流体，加热盘等___________________几个部分的水流状态四级：1：3180/8300设备处于高真空状态下，电容真空计读数为__0.0mtorr______校准时调节__真空计___部分2：低真空状态下，离子规和电容真空计的读数以_电容真空计___为准3：冷泵加热温度一般不允许超过_330K_____4：分析3180高真空下微漏的原因__腔体内水路渗水，转动部分漏气等______（例：标准要求2E-6torr，实际最低9E-6torr)(列举1种可能以上）5:P5000反应腔漏率过大的主要原因有___密封处漏气，进气阀门内漏等______(列举1种可能以上）6：3180小腔体门关闭时运行一小段又自行关闭的主要原因是____传感器出错______7:简述冷泵再生的工作步骤Purge-加热-purge--抽真空-检漏循环，直至漏率ok.开启压缩机降温8：干泵，分子泵，冷泵需定期做大修或维护，该周期一般为____1年_____9:特气气瓶更换后需要做_保压_____,周期一般为__8到72小时___,如果是有毒气体，周期至少为_48小时_______10:甩干机失速报警代码是_help5______应检查__测速____部分11:8100刻蚀机钟罩升降不顺或有噪音应___丝杆润滑，调整___________处理12：8300刻蚀机传片出现decoder错误应____复位____处理13：8300，P5000传片过程中出现错位或运行位置偏差，且无电气故障时，应检查__机械部分，电机传动部分等_____14:P5000CVD升温后自行降温主要原因是上盖互锁，冷却水互锁和____加热灯座温度互锁_________15:3180溅射台前腔放气时影响到大腔真空其主要原因是_大盘密封圈漏气_____16:8100刻蚀机重启系统后需要把右边传片部分改至手动，其原因是___传片部分未使用需屏蔽________17:3180动态真空测试包括__大盘转动和挡板转动_________,真空变化在___10-6torr____范围内属正常范围18：8300刻蚀机抓片时抓取不到或抓起时掉片应调节__手臂动作位置______19：3180大盘顶至前方使腔体分为3个部分，为loadlock小腔体，__后腔_____和_双层密封圈中部_____20：8300运行程序时，气体无法上升至设定值其主要原因是__碟阀问题，气体流量问题，等____________(列举1种可能以上）五级：1：8300后腔真空系统各处真空随做片量会出现数值上升，主要原因是__固体凝结物堆积_________而导致_抽气效率_____降低2：离子规除气的原理是___加热以去除杂质气体_______3:8300刻蚀机腔壁加热的主要原因是__提高刻蚀速率________4:冷却机如果提供的水温较低应该在DI水中加入_异二醇_______.目的是___防止温度过低水凝结_____5:溅射台设备方面影响溅射片反射率的主要原因是__真空，温度，腔体洁净度等___________6:采用RF（比如8300）和微波（比如2001）两种刻蚀机其工作原理不同之处是_RF在腔体内形成电场，气体进入腔体内被激发等离子体，微波_气体在腔体外部被电子流激发等离子体再进入腔体______7:刻蚀机工作时反射功率过大看不到辉光其主要原因是___电极对地绝缘不好匹配出错等______8:电容真空计的工作原理是___弹性的薄膜因为真空的压差作用而产生应变使得电容发生变化，以测得数值_______9:3180安装系统时需检查__程序控制器___,__载片控制器____和___薄膜检测___3个控制器的通信状态，如果出现故障，故障信息中这3个控制器分别简写为__P.C.__W.C______TFM_____10:8300/p5000通过辉光检测来找到刻蚀终点的基本原理是__通过测定腔体中固定波长的某种辉光来测定发出该种辉光的离子浓度，从而测得腔体内化学反应的进程______11：8300刻蚀机弥散管上弥散孔分布是__下部___多于__上部____,其原因是___下部靠近泵口，单位离子浓度低_____12:8300/8100刻蚀机做片时不允许不满18片做片，正片不足18片需陪片补齐，其原因是_刻蚀具有物理轰击作用，如直接作用于极座会导致极座受损大幅减少其寿命____13:略微增加3180溅射台工作时氩气的量可以减少__灭辉________的发生14：反溅射和刻蚀其差别在于___前者只有物理轰击作用，后者除了物理轰击还有化学反应_______,反溅射的作用是_加强原片待溅射表面的均匀性_______15:3180屏蔽件的作用是_保护腔体内部件_______,屏蔽件正常损耗的原因主要是_受热或应力导致的形变______和___金属膜层附着导致无法继续使用_____16:P5000刻蚀腔体周围有一圈磁铁，3180靶座也有磁铁，加入磁铁的主要原因是__加强等离子体运动的一致性______17:刻蚀机传片多使用步进电机，其基本原理是___通过脉冲电路信号控制电机进行角位移____________________18:8300刻蚀机使用的tylanMFC中型号为V和KZ的在使用中的不同在于__使用V型和KZ型密封圈，后者耐腐蚀__________19:A1000去胶机出现开机后加热灯就常亮的情况主要原因是__SSR固态继电器_____损坏，该器件在不带负载时load两端___常通________（常通/常开）20:所有刻蚀机都通过__碟阀___来调节泵的抽速达到控制真空稳定在一个固定值，该部件同抽气口的角度越小，泵的抽速越__慢____21:泵同真空腔体间管道越长，弯头越