P3000XL氦检漏仪日常点检表

P3000XL氦气检漏仪推荐日常点检项目表（每日）点检日：月日点检人：每日点检内容开机后有无异常声音□有□无可否正常开机进入测试模式□可□不可开机20分钟以后实施内部校正□内部校准实施完毕内部校正后使用外部漏孔进行灵敏度确认□确认完成流量sccm是否有异常报警□无□有（报警代码、、）其他异常内容及对策□无□有□已联系制造商P3000XL氦气检漏仪推荐日常点检项目表（每月）点检日：月日点检人：毎月点检内容吸枪内部滤清是否有污物□已确认（如发现有黑色污物，需更换滤清）打开机器盖子，查看机器内部是否干净。□已确认（如发现有较多灰尘，建议清扫。）打开机器盖子，查看风扇是否在转。□已确认其他异常内容及对策□无□有□已联系制造商