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SEM和TEM的区别1、SEM样品收集的有二次电子和背散射电子,二次电子用于表面成像,背散射用于不同平均原子量之间的像,就是电子打在样品上,激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成的像.TEM是透射电镜,它可以表征样品的质厚衬度,也可以表征样品的内部晶格结构。投射电镜的分辨率比扫描电镜要高一些。2、SEM金相试样即可,TEM则要求试样必须有很薄的薄区,20~40μm。SEM样品普通的金相样品就可以拿去做,而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下,一般做成直径3mm的片,然后去做离子减薄,或双喷。SEM对样品唯一的要求就是导电,如果不导电就要喷碳或者喷金;TEM可以直接观察不导电的样品。以上这两种方法,都要求样品无磁性,要是有磁性会对结果产生一定的影响。从原理上说SEM是接受二次电子或者是背散射电子TEM接收的是透射电子SEM主要观察形貌,图片的立体感强TEM对于很薄的样品也可以看形貌(景深较小),其主要观测的是衍射电子图和晶格像(高分辨)简单的说SEM只能观测形貌(当然背散射像也能大概看出轻重元素分布)TEM可以测定结构
本文标题:SEM和TEM的区别
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