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程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-1-页共13页生效日期:2012-9-11.0目的:规范ESD测试项目正确的测量作业步骤和方法,减少因不同人员测量方法上的差异,而影响实际量测数值之精确度。2.0适用范围:适用本公司静电防护区域所有需测试项目。3.0定义:3.1EPA:ElectrostaticdischargeProtectedArea静电防护区域3.2表面电阻:在一给定的通电时间之后,施加于材料表面上的标准电极之间的直流电压对于电极之间的电流的比值,在电极上可能的极化现象忽略不计。3.3体积电阻:在一给定的通电时间之后,施加于与一块材料的相对两个面上相接触的两个引入电极之间的直流电压对于该两个电极之间的电流的比值,在该两个电极上可能的极化现象忽略不计。4.0权责:4.1IQC负责静电敏感组件来料包材及自购料辅助材料之入厂检测项目;4.2行政科负责设备接地主线、静电接地主线、接地桩和防静电地板对地电阻项目测试;4.3各部门负责静电皮/垫、静电扣、静电环、静电鞋、静电服/帽、流水线体、工作台、料架/周转车、防静电工作椅、离子风机、静电地板表面、电烙铁、电动起子等项目测试;4.4各EPA部门主管负责监督本部门人员进入EPA静电环和人体综合电阻测试;4.5各EPA部门主管负责监控本区域环境温湿度并记录;4.6各测试项目负责部门保存相关测试记录;4.7各部门负责本部门ESD测试设备的维护与保养。5.0内容:5.1包材/生产周转辅材表面阻抗测试:5.1.1IQC负责供应商静电敏感组件来料之内包装材料入厂检测,以及气泡袋、保护膜自购料等包装辅助材料之入厂检测,测试设备使用重锤测试仪,被测件需放于绝缘台上,绝缘台的表面电阻和体积电阻均要大于1*1013Ω,其几何周边尺寸均大于被测材料100mm,且两锤之间的间距不小于300mm,测试方法如下:1)重锤测试仪测试线如下图方式连接,将两锤分别放置于被测材料表面;程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-2-页共13页生效日期:2012-9-12)按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试,直至上面LED不跳动并读数,LED假如在108下方,则表示被测材料表面电阻为108Ω;3)防静电包装材料表面阻抗规格具体如下:ESSD来料包装辅材:<1*1010Ω,气泡袋:1*104~1*1011Ω;保护膜:<1*109Ω;泡棉垫<1*1010Ω,Tray盘:1*104~1*1011Ω检验员需将测量结果记录于检验报告中。5.2静电皮/垫与静电线导通、表面阻抗测试;静电支线(含静电扣)导通测试:5.2.1各部门负责静电皮之体积电阻和表面阻抗测试,测试设备使用重锤测试仪,测试方法与步骤如下:1)重锤测试仪测试线如下图方式连接,表面电阻测试如下左图所示将两锤分别放置于被测材料表面,两锤之间的间距不小于300mm;体积电阻测试如下右图所示将一锤放置于被测静电皮上,另一锤放置于静电地板上,测静电皮体积电阻时工作台本身对地电阻需满足标准要求(工作台对静电地板电阻测试见5.4),两锤之间的间距不小于500mm;程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-3-页共13页生效日期:2012-9-12)按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试,直至LED不跳动并读数;3)静电皮/垫之体积电阻和表面阻抗规格为1*104~1*109Ω,测试结束后即将测试值记录于【静电皮阻抗测试记录表】上,并注明测试日期,各部门负责记录之保存。5.2.2各部门负责静电支线(静电扣)导通测试,测试设备使用万用表,测试方法与步骤如下:1)打开万用表开关,将测试档位调整到“200Ω”档;2)将万用表的测试线一端接触一静电支线,另一测试线端接触另一静电支线金属线部位,读取电阻值。3)测试完关闭万用表开关。4)各部门测试人员需将测试数据记录于【静电线阻抗测试记录表】并保存,测试结果如大于4Ω,各部门自行负责进行检修5.2.3测量结果记录于检验报告中,测试结果如判定合格,需在被测物上贴上测试合格标签,并注明测试有效期限,如测试后判定不合格,由各部门负责进行检修或按更换,修理或更换后需经再测试合格后方可投入使用。5.3静电服/帽子/手套表面阻抗测试:5.3.1各部门负责静电服和帽子之表面阻抗测量,测试设备使用重锤测试仪,被测件需放于绝缘台上,绝缘台的表面电阻和体积电阻均要大于1*1013Ω,要有足够的尺寸,点对点测量至少要测量3个不同位置的值,且两锤之间的间距不小于300mm,点对点表面阻抗测量是指内表面和外表面之间的电阻,测试方法与步骤如下:1)准备工作:被测试静电服/帽子应预先洗净。洗涤后的静电服帽,在60±10℃温度下干燥1h后,测试静电支线导通测试万用表两侧头测试置位置程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-4-页共13页生效日期:2012-9-1以模拟穿用状态(正面朝外,扣上纽扣、拉锁),在常温下静置24h。2)将两重锤与测试仪用配套之测试线连接后,分别将重锤测试仪两锤放置于静电服内表面和外表面上(如下图),连接两个电极的轴线应与服装纤维的轴线方向不同。3)将重锤测试仪测试档打到“100V”档位,按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试,直至有读数显示后方可松开按键并读数。4)静电服帽表面阻抗电阻规格为1*106~1*1011Ω。5)测试结束后即将测试值记录于【静电服/帽阻抗测试记录表】上,并注明测试日期,各部门负责记录之保存。重锤测试仪接缝电极1ABDE电极2C重锤测试仪重锤测试仪接缝电极1ABDE电极2C测试静电服表面阻抗重锤测试仪两重锤放置位置程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-5-页共13页生效日期:2012-9-1重锤测试仪电极1防静电工作台导静电地脚螺栓导静电地面导电薄片材料电极26)测试频率及检验样本要求:每三个月需对全厂人员抽测一次,抽检样本为总人数的5%,新购服装需进行抽测合格后再发放各单位人员。7)测试不合格静电服帽需要求淘汰更换新的合格静电服帽。5.4周转车/料架、工作台与静电地板导通状况测试:5.4.1各部门负责周转车、料架及工作台对防静电地板之阻抗测试,测试设备使用重锤测试仪,测试方法与步骤如下:1)将重锤测试仪一端垫一块导电薄片材料,使其与防静电地板充分紧密接触;2)将两重锤与测试仪用配套之测试线连接后,分别将重锤测试仪两锤放置于导电薄片材料和周转车、料架、工作台表面上(如上图),有铺防静电皮之工作台或台车,需将置于台面的一重锤放置于静电皮上;电极1重锤测试仪导电薄片材料电极2测试电极重锤测试仪腕带插孔测试电极重锤测试仪腕带插孔程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-6-页共13页生效日期:2012-9-13)将重锤测试仪测试档打到“100V”档位,按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试,直至有读数显示后方可松开按键,显示值如为“7.5E8”,则其读数以及周转车、料架车、工作台对地板电阻表示为“7.5*108Ω”;4)测试时双手不可接触重锤测试仪背面两电极,或是将重锤测试仪仪表部分置于绝缘体上进行测试。5)周转车、料架车、工作台对地板电阻规格为1*104Ω~1*109Ω。6)测试结束后即将测试值记录于【台车阻抗测试记录表】上,并注明测试日期,各部门负责记录之保存。7)测试频率及检验样本要求:每周需测试一次,静电防护区域场所周转车、料架车、工作台对地板电阻需全部进行检测,新购入之工作台/车需测试合格后才可验收投入使用。8)测试后如判定合格,需在被测物上贴上测试合格标签,并注明测试有效期限,如测试后判定不合格,由各部门人员对其进行作相关标识要求停止使用,并负责进行检修,修理后需经再测试合格后方可投入使用。5.5流水线(传送带对地电阻/流水线体接地)5.4.1传送带对地电阻:使用重锤式表面阻抗测试仪,一重锤放置于待测之传送带上,另一重锤放置于静电地板上进行测试。其范围:1*104~1*109Ω。各部门测试人员需将测试数据记录于相应表单并保存,测试结果如不在此范围内,各部门负责对此流水线进行检修,在检修后需重新确认。测试传送带对地电阻重锤测试仪两重锤放置位置程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-7-页共13页生效日期:2012-9-15.4.2流水线体接地电阻测试:使用万用表进行测试,测试方法与步骤如下:1)打开万用表开关,将测试档位调整到“200Ω”档;2)将万用表的测试线一端接触流水线体金属部位,另一测试线端接触电源插座接地端,即可读取接地阻抗值。3)测试完关闭万用表开关。4)各部门测试人员需将测试数据记录于相应表单并保存,测试结果如大于1Ω,各部门负责对此流水线进行检修,在检修后需重新确认。5.6电烙铁/电动起子接地电阻测试:5.6.1各部门每天负责电烙铁接地电阻测试,并记录与保存相关测试记录。使用万用表进行测试,测试方法与步骤如下图:1)打开万用表开关,将测试档位调整到“200Ω”档;2)将万用表的测试线一端接触烙铁头,另一测试线端接触烙铁插头的接地端,即可读取烙铁的接地阻抗值。3)测试完关闭万用表开关。5.6.2各部门每周一次负责电动起子接地电阻测试,并记录与保存相关测试记录。使用万用表进行测试,测试方法与步骤如下:1)打开万用表开关,将测试档位调整到“200Ω”档;2)将万用表的测试线一端电动起子头,另一测试线端接触电动起子插头的接地端,即可读取电动起子的接地阻抗值。3)测试完关闭万用表开关。程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-8-页共13页生效日期:2012-9-15.6.3电烙铁/电动起子接地电阻测试结束后,各部门测试人员需将测试数据记录于【漏电电阻测试】并保存,测试结果如大于20Ω,各部门负责对此设备进行维修。5.7防静电地板接地电阻、表面阻抗测试与摩擦起电电压测试:5.7.1总务课负责防静电地板接地电阻测试,使用重锤测试仪进行测试,每个静电防护区域之防静电地板均需作检测,测试点应随机取样,测试方法与步骤如下:1)将重锤测试仪一根测试线连接一个重锤后放置于待测静电地板表面,另一测试线端使用夹子夹在ESD静电主线裸线上。2)将测试仪开关打到“10V”档,按下红色按钮并保持开始测试,直至有读数显示后方可松开按键,读其液晶显示屏读数,显示值如为“7.5E8”,则其读数表示为7.5*108Ω。3)测试时双手不可接触重锤测试仪背面两电极,或是将重锤测试仪置于绝缘体上进行测试。4)防静电地板对地电阻规格为小于1*109Ω,测试频率为每三个月测试一次。5)测试结果如果超出规格,厂务课需负责检查防静电地板与地板下铜带结束是否良好,综合防静电地板表面阻抗值等测试数据分析其原因,并采取相应改善措施。6)厂务课负责将测试数据记录在【接地电阻测试记录表】上并保存。5.7.2总务课负责防静电地板表面阻抗测试,使用重锤测试仪进行测试,测试方法与步骤如下:1)两重锤与测试仪用配套之测试线连接后,将两重锤分别放置于静电地板表面,测试点距地板的边缘不得小于100mm,且两重锤相距900~1000mm距离(如下左图所示)。R防静电铺设地面导电橡胶垫100VDC兆欧表测试电极Φ502kg0.9~1mRR防静电铺设地面导电橡胶垫100VDC兆欧表测试电极Φ502kg0.9~1m测试电烙铁接地电阻万用表两测试头放置位置程序文件:静电接地系统操作规范版本:A文件编号:XA/QWI/7.5.3/14第-9-页共13页生效日期:2012-9-12)将重锤测试仪开关打到“10V”档,按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试,直至有读数显示后方可松开按键,显示值如为“7.5E8”,则其读数以及地板表面电阻表示为7.5*108Ω。3)测试时双手不可接触重锤测试仪背面两电极,或是将重锤测试仪置于绝缘体上进行测试。
本文标题:ESD测试项目操作规范
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