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起草:__________审核:___________/___________批准:__________版本:2.0日期:__________日期:___________/___________日期:___________页号:第1页;共34页深圳市···电子有限公司ESD防静电控制程序文件编号:1.目的:本文指在规定··电子(深圳)有限公司内部的ESD规范,为公司产品在设计、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持,从整体上提高公司静电防护和控制水平,提高客户的满意度。2.适用范围:本文适用于··电子(深圳)有限公司及其分厂的防静电控制。本文中的各项要求适用于防静电敏感区域。当客户的产品有特殊要求时,采用客户要求。3.职责:3.1.各部门经理负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。3.2.测试部负责根据本程序要求实施防静电用具的进料检测和静电线、接地线、静电垫等防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存。3.3.ESD防静电委员会负责制定公司的防静电措施要求和标准及监督执行状况。4.概要:本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范,贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制,穿插介绍了防静电设施的技术要求,检测方法和作业指导等内容。5.目录:5.1.静电敏感区域的界定。5.2.静电敏感区域的工程环境防静电规范。5.3.静电敏感区域的人员防静电规范。5.4.静电敏感区域的防静电操作方法规范。5.5.静电敏感区域的工装,设备,仪器以及防静电器材的防静电规范。5.6.常用的检测方法。5.7.静电防护作业管理指导。5.8.附录A-------ESD相关术语。5.9.附录B-------常用的防静电标志。5.10.附录C-------部分静电敏感器件的静电敏感电压。5.11.附录D------引用的标准及参考文献。5.12.附录E------相关记录。5.13.附录F------版本修订历史记录。6.静电敏感区域的界定:6.1.静电敏感区域确定:6.1.1.ESD敏感器件的生产区域------生产线等。6.1.2.ESD敏感器件的前加工区域------前加工房。6.1.3.ESD敏感器件的贮存区域------库房和在线库。6.1.4.ESD敏感器件的返修区域------返修区及返修工位。6.1.5.ESD敏感器件的老化区域------老化房。起草:__________审核:___________/___________批准:__________版本:2.0日期:__________日期:___________/___________日期:___________页号:第2页;共34页图A图C黄黑相间的斜条纹静电敏感区域警示标志图B防静电标志6.2.公司的静电敏感器件:6.2.1.MOS器件、MOS管及MOS集成电路。6.2.2.FET器件、包括场效应管和集成电路。6.2.3.TTL器件、包括各种逻辑门数字集成电路。6.2.4.AMP放大器、比较器、调节器等模拟集成电路。6.2.5.X-ROM存储体器件和记忆体器件、包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等集成电路。6.2.6.CPU微处理器及各种BGA器件。6.2.7.各种二极管、三极管。6.2.8.各种半导体开关元件。6.2.9.各种厚膜和薄膜电阻。6.2.10.钽电解电容。6.2.11.SAW—声表面波器件。6.2.12.石英、晶振体器件。6.2.13.以上元器件组装的PCBA板。6.3.静电敏感区域的标识:6.3.1.静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为5~10CM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。6.3.2.从静电敏感区域的入口处开始,在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649的规定。如图A:6.3.3.防静电容器(防静电周转箱,防静电元件盒等),元件架和运输车等器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:6.3.4.经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C:6.3.5.含有ESSD的图纸资料,应有ESSD标志。6.3.6.设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条要求。6.3.7.整机包装标志应符合GJB1649中第5.10条要求。6.3.8.交付文件标志应符合GJB1649中第5.9.1条要求。7.静电敏感区域的工程环境防静电规范7.1.防静电工程环境的设计原则:设计防静电工程环境时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则:7.1.1.抑制静电荷的积累和静电压的产生7.1.2.安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷起草:__________审核:___________/___________批准:__________版本:2.0日期:__________日期:___________/___________日期:___________页号:第3页;共34页7.1.3.防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。7.1.4.防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。7.1.5.在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:表一类别电荷源工作台表面油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表面地板塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂工作鞋、帽、鞋普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋操作工具及设备普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等7.2.防静电工程环境的要求:7.2.1.环境的温度和湿度要求:温度应在15℃至30℃之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥,应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求,但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求:7.2.1.1.对温度、湿度做监测的石英温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。7.2.1.2.有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。7.2.1.3.遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。7.2.1.4.发现温度、湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。7.2.1.5.每月的温湿度仪记录的测试结果由测试部归类保存。7.2.2.地板的防静电要求:7.2.2.1.为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地,除操作人员穿用防静电服、防静电鞋外,其先决条件是地板必须具有一定的导电性能,即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电,也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。普通地板材料的电阻率都较高,难以泄放人体、工装、设备上的静电。表二为各种地板的泄漏电阻:(单位:Ω)表二地坪材料名称泄漏电阻地坪材料名称泄漏电阻石104~109沥青1011~1013混凝土105~1010聚氯乙烯(贴面)1012~1015一般涂刷地面109~1012导电性水磨石105~107橡胶109~1013导电性橡胶104~108木、木胶合板1010~1013导电性聚氯乙烯107~10117.2.2.2.当采用地板下布线方式时,可铺设防静电活动地板。表面电阻及系统电阻均为1×105Ω~1×109起草:__________审核:___________/___________批准:__________版本:2.0日期:__________日期:___________/___________日期:___________页号:第4页;共34页Ω。7.2.2.3.当采用架空布线方式时,应采用静电耗散材料做为铺垫材料。铺设后地板上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值均为1×105Ω~1×109Ω。7.2.2.4.如果静电敏感区域内的地板是普通地板,则应在普通地板上铺设防静电地垫并要有效接地铺设后地垫上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值也为1×105Ω~1×109Ω。7.2.2.5.禁止直接使用木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。7.2.2.6.允许使用经特殊处理过的水磨石地面,如事先敷设地线网、渗碳或在地面喷涂防静电剂等。7.2.3.防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:7.2.3.1.检查对象:防静电地板。7.2.3.2.检查频率:每半年一次,其中一次应在干燥季节测量。7.2.3.3.检查指标:静电压,泄漏电阻和表面电阻率。7.2.3.4.检查标准:0.10Kv,5X104Ω~109Ω和1×105Ω/口~1×1010Ω/口。7.2.3.5.检查仪器:静电压表,万用表和兆欧表。7.2.3.6.相对湿度低于30%时,应增加测量泄漏电阻的次数当电阻比较大时可撒少量的水。7.2.3.7.当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时,应根据情况定期清除。7.2.3.8.清扫防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。7.3.静电敏感区域的防静电保护接地技术要求:防静电系统必须有独立可靠的接地装置,主要技术要求如下:7.3.1.接地线:也称为地线母线,防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用,不得接在电源零线上,不得与防雷地线共用。7.3.2.接地主干线的截面积应不小于100mm2,支干线的截面积应不小于10mm2,设备和工作台的接地线采用截面积应不小于2.5mm2的敷朔导线,并以黄绿色为宜。7.3.3.防静电设备的连接端子应确保接触可靠,易装拆,允许使用各种夹式连接器,如鳄鱼夹,插头座等。7.3.4.接地电阻:指接地体与大地之间的接触电阻,静电保护接地电阻应小于4Ω。7.3.5.地线的埋设:埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大,接触密度要高,接触要紧。7.3.5.1.埋设地线的注意事项:7.3.5.1.1.接地线与接地线接头必须焊接牢固,要有足够的机械强度,引线不要过长。7.3.5.1.2.要采用耐腐蚀的接地体金属。7.3.5.1.3.要保持接地体附近土质的质量,并不断采取措施防止接地电阻变大。7.3.5.1.4.防静电地线要与工作地线分开埋设。7.3.5.1.5.防静电地线必须是永久性的。7.3.5.2.静电安全作业区地线的两种实用敷设方法:7.3.5.2.1.从专门埋设的地线接地体引出的接地线,单独敷设到生产线的防静电作业岗位单独敷设的接地导线通常使用3mm厚,约25mm宽的紫铜皮或用截面大约为4~6平方毫米(mm2)的铜芯软线单独引入。起草:__________审核:___________/___________批准:__________版本:2.0日期:__________日期:___________/___________日期:___________页号:第5页;共34页7.3.5.2.2.采用三相五线制供电系统中的地线,引入电源零线的同时,方法单独引出大地地线作防静电接地线,工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱到大地的接地电阻应小于4Ω。7.3.6.接地线的定期检查:7.3.6.1.检查对象:所有的接地线及接地端口。7.3.6.2.检查仪器:万用表和接地电阻测试仪。7.3.6.3.检查参数:泄漏电阻(接地电阻)。7.3.6.4.检查频率:7.3.6.4.1.每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备,工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。7.3.6.4.2.ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。7.3.6.4.3.每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。7.3.6.5.检查标准:7.3.6.5.1.每周检查的标准:小于4欧。7.3.6.5.2.每月检查的标准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