交大奈米中心光罩制作流程交大奈米中心光罩制作-交通大学奈米中心

交大奈米中心光罩製作流程交大奈米中心光罩製作流程交大奈米中心光罩製作流程交大奈米中心光罩製作流程：：：：至本中心領取光罩非貴儀費用請至本中心繳費使用貴儀者繳交10%費用(分機:31534貴儀中心)等候光罩完成通知(約四週)現場看圖修改光罩圖形等候本中心電話通知看圖或修改圖檔及申請表上傳ftp繪製光罩圖形詳讀「光罩製作規範」YesYes圖形OK看圖或修改本中心新舊機台比較本中心新舊機台比較本中心新舊機台比較本中心新舊機台比較新新新新雷射圖形產生器雷射圖形產生器雷射圖形產生器雷射圖形產生器((((DWLDWLDWLDWL200200200200))))舊舊舊舊雷射圖形產生器雷射圖形產生器雷射圖形產生器雷射圖形產生器((((DWLDWLDWLDWL2222.0.0.0.0))))最小線寬（極限線寬）2.4um(1um)5um(2um)FTPIPAddress(Port)140.113.18.20202020(777)140.113.18.41414141(777)申請表橫式直式常見問題：1.□貴儀預約之機台錯誤，如送DWL200卻預約DWL2.0。2.□使用錯誤之申請表。3.□圖檔及申請表上傳時送錯FTP伺服器。4.□圖檔中繪圖元件命名使用不支援的字元或符號。5.□圖檔中使用不支援的繪圖物件。6.□使用非正版軟體致圖檔中有bug。7.□需本中心複製圖形者(Array)，申請表中未填寫偏移量及數量。8.□申請表未填寫貴儀序號。9.□使用他人貴儀卻未填寫貴儀帳號之人員資訊。10.□申請表字體未調整適當大小，以致表格版面混亂。11.□檔名未加年月序號(日)等號碼。12.□圖檔或圖層名稱使用不支援之字元或符號。13.□圖檔未設單位。建議：Q：不會AutoCAD怎麼辦？A：1.圖書館借書K。2.請同學或朋友教。3.去補習。Q：看不懂繪圖規則，怎麼辦？A：1.動手做練習。2.動手做練習。3.還是動手做練習。雷射圖形產生器之光罩製作規範與方法Update:2007/12/12為了公平性與避免作業上的困擾，爾後網上委託操作者光罩圖檔與申請單最好在預約後二週內上傳,技術員可以先看節省時間,現場看圖者須在申請表註明,無法現場看圖者可以將圖形影像列印,註明亮暗區塊,傳真[phone]，或存成.jpg檔與圖檔一起上傳，圖檔檢查正確則排上機,問題圖檔若無法於當月修復即取消當次預約。申請表上使用者,電話,mail請填寫正確以便聯絡,光罩完成會以mail通知。檔案名稱最好用預約序號之年月號碼(05****)以利查詢,目前預約時間為每月一日凌晨開始,收受件數為35件,估計100片。1.需自行繪製圖檔，可接受*.gds(L-Edit、Cadence)、*.dwg(AutoCad)、*.dxf,其中*.dxf檔為利用AutoCADR12or2000,2004DXF將*.dwg轉換而成。PS.AutoCAD非最佳光罩繪製軟體,請詳閱下頁規則圖形繪製完成先轉成*.dxf再於(此軟體功能極佳請多利用)試用版轉檔軟體完成後view圖檢查時tool下選fill才能確認是封閉區塊將正確的dxf&gds檔上傳，繪製正確不需修改的圖檔,可加速光罩成品取得,請使用者多用心並將方法傳承給學弟妹,才能提高此設備效率。2.送件時請將申請表與檔案同時傳入140.113.18.41Username：nfcPassword：nfc123Port:777,申請表可從中心網頁或ftp站download，framesize為傳送File之面積，晶片尺寸為實際光罩圖案面積，不懂可以不填再與技術員聯絡，最好能自行複製成1*1完成圖。3.無申請表即無法製作光罩，故未收到書面資料時，上傳之檔案將被刪除。使用國科會貴儀補助費者，請先上網預約；現金付費者逕行與技術員聯絡。4.最小線寬需~5um，pattern區域不可小於1cm，Repeat個數不能超過16x16。5.4吋光罩圖案最大的有效區域8cmX8cm,5吋光罩l0cmX10cm,6cmfilelaserbeam要寫60分鐘,10cmfile則約180分鐘,建議pattern區夠用即可,沒必要填滿整個有效區,這樣可加速取得光罩，檔案太大(150M)製作會有問題請先和技術員聯絡。6.Clear為所繪圖案區塊在光罩上為透光，Dark為不透光。Dark光罩在完成圖外圍如果沒有框線則在完成圖左下,右上角處多劃一5*5u小方塊當邊界。7.原點佈置圖Repeat個數為奇數相乘將原點定於中央Repeat個數為偶數相乘原點為左下角(1*15*37*9……)(2*24*810*6……)*其它Repeat數目請於送件時特別註明。AutocadDrawingDesignRules(申請表不需填寫Structurename以及cellname)重要觀念用於光罩製作的圖形是以區域或面為單位而不是線段，因此圖檔中不允許有點或單獨的線對存在，而在AutoCAD中有兩種線段的形式：一種是LINE，另一種是PLINE，兩種的差別在於以LINE產生的所有線段彼此的資料結構是互相分離的，因此無法以單一LINE來表示一個封閉的區域，但後者卻可以單一PLINE來表示一個包圍的區域。因此所有的圖形必須是PLINE類型。1.圖形的表示一律以darkarea(chromearea)或(cleararea)的boundary來表示，也就是只需繪出該區域的boundary但不必加上影線(hatching)，最重要的是所有的boundary必須是PLINE類型，且線寬必須為0。可使用LINE或ARC指令，但行成封閉區域的LINE或ARC必須以PEDlT指令連接起來成為一單一PLINE。勿使用有線寬的PLINE繪圖。PLINE可繪製多邊形及弧形並可構成所需的圓形圖形.可利用聚合線,圓,環,矩形等物件來繪製你所需要的圖案。2.繪製時請將單位設為um，不同圖層請用不同顏色以玆區別，且各圖層名稱請使用簡單阿拉伯數字來命名，圖層名稱不能用中文、符號或空格。3.圖檔中的每一個圖形必須「封閉」，而且必須「單一」。所有寬度為零的PLine必須為封閉的曲線：、正確close錯誤open4.boundary自身不能有相交，否則會產生錯誤訊息，若有此情形則必須分開成不同的boundary。如下圖一次劃完整個封閉區域分成二個PLine劃完兩個獨立區域錯誤正確5.boundary與boundary之間可部分重疊「單一」如下圖所示(a)繪出A、B、C三個矩形，A包含於B中，B包含於C中，所得結果為整個C所涵蓋的區域皆為dark，此種結果是錯誤的(a)錯誤的[b]正確所得圖形彼此不包含，皆為單一圖形[c]正確拉線的方向必須循單一方向，即逆時鐘或順時鐘方向[d]正確：利用八個矩形產生註解：1.切勿使用有寬度之Pline繪製封閉曲線，否則會產生閉合面變形如下：Í此圖形的左上角因為使用錯誤方式而造成的變形6.具重複性的圖形應找出最基本的圖形建立BLOCK，然後再使用ARRAY指令repeat成所需的圖形，以減少檔案容量。檔案太大轉檔易出問題請注意繪圖方式7.BLOCK插入之後請勿再予以ROTATE或SCALE，這些動作應在BLOCK產生前處理。8.不可將BLOCK或MINSERT處理過的圖形再以MIRROR處理9.圖檔中可加入文字，但需以PLine形式繪製，或是用單行文字、字型standard、字體為.txt，儘量減少不必要之文字，以減少檔案容量。10.完成圖必須重複以PURGEALL指令移去用到的LAYER、BLOCK、字型...等等。與光罩製作無關的圖形或資料必須刪除，若有必要留下，如尺寸標註等資訊，請將其移至不同層。11.(a)若有使用到UCS，最終座標系統必須轉換為WCS;繪圖完畢後記得將原點移到WCS(0.0)(b)如果不要REPEAT則將坐標(0,0)移到圖形中心12.圖形封閉性的簡單檢查方法:以PEDIT指令選取一PLINE後如出現在選項最前面為open，則該PLINE為close狀態，如下選項：Open/Join/Width/Editvertex/Fitcurve/splinecurve/…若圖形末封閉則會出現如下選項：Close/Join/Width/Editvertex/Fitcurve/splinecurve/…此表示圖形必有某一地方末接好，或缺邊或多出毛邊。13.繪圖範例：欲製作如下之圖形*可使用CIRCLE指令，但產生的圓必須「單一」，與其他圖形互不包含。*也可用環之指令定內外徑即可法一：利用Pline(無寬度)繪製法二；利用有寬度之弧形Pline繪製法三：對於多重圓環圖案(如下左圖)，可利用以下的特殊繪圖方式達成14.欲繪製一般線條，如下所示：此點與上面的矩形不同，對於圓形可以使用有寬度的弧形Pline來相交達成，不繪造成圖形變形。利用圓形直接一圈一圈定義出你所需要的圖案，必須注意相鄰兩層一為Dark一為Clear請在申請單上特別註明。1.可使用有寬度之Pline繪製。2.可使用無寬度之Pline圍出所需要的區域。Autocad零點(0,0)對準方法1.Autocad一般的原點設定在如下圖之符號上，因此我們可以利用它為中心點來繪圖或是當圖檔繪製完後，利用Move指令移動到0,0的位置，兩種方法皆可。2.範例：欲將下圖中心點對到Layout中央，可以使用下列步驟：Step1:利用線性尺標將圖案的最大尺寸標示出來，再利用兩條直線將圖案的中心點找出來，其圖示如下：Step2：將整個圖形連同尺標圈選起來，圈選方式有二，其一為利用滑鼠將全部區域圈選，其二利用EditÆSelectall的功能，此時畫面會變成如下圖：Step3：此時按滑鼠右鍵，會出現功能選項，這時點取(移動)選項，如下圖例：(此時，畫面的下方方塊會要你指定移動基準點)Step4：此時將滑鼠指到中央兩條紅色線相交的點上Î這時下方方塊會要求你輸入移動的位置，此時輸入0,0再按Enter鍵，即完成零點對準動作，其圖示如下。L-edit零點(0,0)對準方法1.L-edit之中心點(0,0)為一“十字＂符號。2.假設如下圖之圖形欲將零點對準其中心，其方法如下：Step1：將所有圖案圈選起來，然後按Group功能鍵。如下圖：Step2：此時會出現我們要命名的cellname，其名稱可以自由命名。Step3：此時畫面會有外框產生，代表我們已將全部圖案結合為同一個cell，如下圖：Step4：外框即為我們所繪光罩的大小，利用EditÎEditObject的功能鍵，我們可以獲知此cell的大小，如下圖：Step5：此範例中，我們所繪製的圖形大小為一X=262，Y=164，因此中心點在X=131，Y=82地方，利用L-edit的尺標來完成如下圖所示。註：如果熟悉滑鼠拖曳方式，可以在我們將圖形的中心點標示出來後利用滑鼠拖曳方法將中心點與(0,0)點重合在一起。Step6：利用兩條尺標的交點來獲知座標，如下圖。Step7：利用DrawÎMoveBy功能將Cell往(0,0)移動，其圖如下：移動之後如下圖，即圖形中心點與(0,0)重合,其圖示如下，其中紅色框表示(0,0)點，綠色框表示圖案的中心點。