低温泵保养 (NXPowerLite)

UltimateinVacuumsince19521低温泵的构造、保养项目及压缩机的日常点检愛発科商贸（上海）有限公司2007年1月13日UltimateinVacuumsince19522１、低温泵的构造２、挡板的保养３、冷冻机的保养４、压缩机的日常点检目次UltimateinVacuumsince19523ポンプケース８０Ｋ挡板１５Ｋ冷凝板８０K屏蔽筒Ｈ２Ｖ温度計活性碳吸着材安全弁Ｈ、ＨｅＮ２、arＨ２O低温泵的构造冷凍機１段冷头冷凍機２段冷头冷凍機UltimateinVacuumsince19524压缩机将氦气压缩之后送到冷冻机里冷冻机使被压缩的氦气在冷冻机里膨胀，冷却作用泵壳泵体内（挡板处）将气体凝固，使气体被吸空获得真空※上述的三个系统组成一个整体的低温泵系统运转。低温泵的构成UltimateinVacuumsince19525为什么要定期保养？泵腔体蒸着物工业（艺）气体生成物因为是储存式的泵、所以内部会受污染UltimateinVacuumsince19526溅射设备用的泵体内部起着过滤作用所以污染程度比溅射的金属还要更污染UltimateinVacuumsince19527蒸发台使用的泵体内部因为会产生很多水分再生时屏蔽筒的涂装处理层面会受影响，出现涂装层面脱落的现象UltimateinVacuumsince19528交換部品１５Ｋ冷凝板（１）如有必要则更换１５Ｋ冷凝板（２）如果有污染进行更换８０Ｋ挡板视情进行更换８０Ｋ屏蔽筒如有必要则更换UltimateinVacuumsince19529８０Ｋ挡板因为表面不光滑辐射出来的热量将被吸住，使温度上升因为表面光滑将辐射出来的热量反射掉，防止温度上升再生品污染时的情况UltimateinVacuumsince195210再生品污染后屏蔽筒８０Ｋ屏蔽筒涂装处理层面如果脱落了，辐射的热量被反射，增加15K挡板的负载。熱輻射UltimateinVacuumsince195211如果表面污染了将吸收辐射出来的热量，使温度上升成为可能輻射熱１５Ｋ挡板再生品污染的冷凝板UltimateinVacuumsince195212交換が必要な理由活塞部分从气缸中取出确认污染程度UltimateinVacuumsince195213一段密封件因为磨损受污染二段密封件因为磨损受污染气缸内部的污染ディスプレーサーの汚れUltimateinVacuumsince195214传动组件没有更换部品阀体组件更换部品：特殊O型圈Cａｐ密封件驱动Ａｓｓｙ交換部品：驱动轴套驱动阀轴套*２個马达交換部品：马达轴套*２個驱动组件的分解图クロスヘッド交換部品UltimateinVacuumsince195215バルブハウジング部特殊型圈到污染，颜色变黑UltimateinVacuumsince195216Ｃａｐシール押さえﾘﾝｸを外す。Cａｐシールの汚れが確認できるバルブハウジングUltimateinVacuumsince195217新品と使用品シールキット比較新的密封件套装使用12000小时以上的密封件UltimateinVacuumsince195218交換部品一覧交換：○交換△対応可能×対応不可※O/Hでは、○のみ交換UltimateinVacuumsince195219冷冻机保养内容冷冻机的分解清洗组立（密封件，轴套的更换）对已经内部污染和磨损的密封件，轴套进行更换氦气的置换.精制推奨Ｏ／Ｈ時間：１２０００ｈUltimateinVacuumsince195220シール/ベアリングベアリング交換ベアリング交換清掃シール交換清掃ディスプレーサー交換UltimateinVacuumsince195221冷冻机内其他可能交换的部品导向销:销子磨损超过1/4以上需要更换活塞销:销子两端的耐磨层磨损变薄后需要更换UltimateinVacuumsince195222冷冻机内其他可能交换的部品高低压阀体:磨损或密封不良时需要更换中字架铜套:磨损较大松动时需要更换UltimateinVacuumsince195223冷冻机内其他可能交换的部品摇锁座吊臂:损坏或间隙变大产生干扰时需要更换轴承组件:磨损严重或变形时需要更换UltimateinVacuumsince195224冷冻机内其他可能交换的部品固定位置O型圈:破损老化或者检漏泄漏处需要更换。马达：马达驱动轴断裂或扭矩明显不足时需要交换。气缸：使用超过十年或内部刮伤、有氦气泄漏的需要更换。马达键：磨损严重时需要交换。其他部件：有破损或明显不可修复变形时，需要交换。UltimateinVacuumsince195225压缩机日常点检蝕強扮議儿薦柴（Ｃ３０Ｖ狼双）UltimateinVacuumsince195226压缩机氦气填充UltimateinVacuumsince195227压缩机内部的油成分和油吸附器的作用・氦气在压缩机里和油一起压缩，此时与氦气混在一起的大部分油在通过分离器的分离。・吸附器的作用是将没有被油分离器分离出来的油成分，在进入冷冻机前完全过滤アドソバーの役割UltimateinVacuumsince195228吸附器内部的活性炭在超过交换期限后，会处于饱和状态，导致吸附油分的能力下降⇒如果油分进入冷冻机里…那么在冷冻机内部变成固体、异物，导致各种机械性故障的发生。如果不定期更换吸附器，结果可能是付出预算以外的成本交換時期を超えた場合の影響UltimateinVacuumsince195229冷冻的油成分导致的症状和问题点１）损伤密封件⇒突然发生故障２）伤及冷冻机气缸⇒导致更换气缸等高额修理费的３）油成分沾在金属管内⇒既是进行了标准的OH也会突然发生冷却不良粘在活塞上的油交換時期を越えた場合の問題点UltimateinVacuumsince195230不进行定期OH的危险性因为连续使用加剧密封件以及轴套的老化密封件：不能进行正常的气体转换，导致冷却不良轴套：轴套老化导致运转不良导致定期保养以外的部品更换、导致生产的停止保养所需的费用更换高