分子泵原理

NewEEtrainingConfidentialJMCTMP—TurboMlecularpumpTMPPUMP基础知识NewEEtrainingConfidentialJMC机械轴承式分子泵磁悬浮轴承式分子泵分子泵的发展历史NewEEtrainingConfidentialJMC泵Turbomlecularpump透平分子在分子流状态下工作，使用机械动能，将气体分子定向压缩、流动的真空泵。分子泵的定义NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的分类一.从转子结构特征上区分涡轮分子泵1.NewEEtrainingConfidentialJMC牵引分子泵2一.从转子结构特征上区分分子泵的分类NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的分类涡轮分子泵复合分子泵牵引分子泵一.从转子结构特征上区分NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的分类二.从轴承特性上区分MDP5011（ALCATEL）VAC361（LEYBOLD）TG553VW（OSAKA）1.磁悬浮轴承分子泵2.机械轴承分子泵精工——STP系列EBARA——TE1600系列莱宝——VAC340系列NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的基本特征1.运行时泵内涡轮回转的高速性通常其泵内转子工作时的回转速度为10000~60000rpm；最高可达到90000rpm.其泵的叶片顶端线速度通常在200m/s以上。所以运行时如果有异物进入或在进气、排气方向有超出其许容范围的突变气压，都将造成泵本体的损坏。有些甚至是不可逆转的。NewEEtrainingConfidentialJMC2.高真空性能通常其泵的真空压可以到达10¯3~10¯9pa3.组合性在真空系统中，分子泵通常必须同辅助泵（干泵、油旋转真空泵）组合后才能运行。（如下图）NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的内部结构主轴静片动片高频旋转马达外壳静片固定圈TURBO部分牵引泵部分下部磁悬浮电机辅助轴承NewEEtrainingConfidentialJMCABCDNewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的系统组成（泵本体）NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的系统组成（在真空系中）真空腔体DRYPUMPV3V2V1NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的工作原理（一）一。按气体分子理论1.在正常的大气压下。每cm3空间气体分子为2.5-E19，此时其压力为760Torr=101325Pa2.大气环境下由于空间的气体分子密集，各气体分子间的平均自由程MFP仅为0.07微米，因而气体为粘滞流状态，气体分子几乎是在原地振动。NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的工作原理（一）1.随着真空度的提高，单位体积内气体分子的数量逐渐减少，MFP变大。当真空度达到1X10¯3Torr之后，其MFP接近5cm.气体分子呈现出“分子流状态”一。按气体分子理论NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的工作原理（一）回转轴RVVrVhVVrVhVMFP动翼静翼NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的排气原理（一）转子转动特性（平面展开图）动片动片定片abaNewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的排气原理（一）ZZ动片角与轴的关系：NewEEtrainingConfidentialJMC在泵内堆积的生成物。。。Vh动片定片外圈CONTROLLER生成舞易堆积区NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的轴控制原理五轴控制原理图Z轴磁场Z轴Sensor径向Sensor径向磁场径向Sensor2辅助轴承1辅助轴承NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的轴控制原理Y2X2Y1X1Z增幅回路补偿回路检出回路高频发生器径向位置检知Sensor轴向位置检知SensorX2-Y2检测平面X1-Y1检测平面Z检测平面控制器NewEEtrainingConfidentialJMC分子泵的N2PURGE….分子泵N2purge回路与主pumping回路N2PurgeinGASIN排气口DEPOSITONGAS&N2PURGEGASOUTNewEEtrainingConfidentialJMCTMPPUMP启动顺序BreakeronAccelerationStateNormalOperationStatefExecuteSelftestLevitationStartStartpumpStoppumpBreakeroffSPEED2700~7000NewEEtrainingConfidentialJMC机械轴分子泵泵内结构图马达陶瓷轴承推进叶片NewEEtrainingConfidentialJMC机械轴承分子泵的Greaseup底部上部NewEEtrainingConfidentialJMC泵的轴承为什么会失效?润滑不足-太多-太少-污染载荷过大:-不对中-动平衡不好--轴弯曲--等.....安装和操作的不当老化油膜厚度NewEEtrainingConfidentialJMC