洁净室 (NXPowerLite)

洁净室赖丹2020/2/7洁净室一．洁净室定义二．洁净室基础三．洁净室系统四．洁净室认证洁净室定义一．洁净室定义洁净室定义1.洁净室定义为了有效的控制产品质量，将一定空间内的环境因子控制在规定数值以内而不受外界环境的影响，这样的空间称为洁净室CleanRoom，简称为CR。环境因子包括：微粒噪音湿度静电温度风速压力振动照度洁净室定义2.洁净室规范FederalStandard209E(Fed-Std-209E)美国联邦标准209E,在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644.ISO-14644系列14644系列总共有8个部分〈Part〉，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备。GB50073-2001:洁净厂房设计规范GB50073-2001ClassX(atYum)：每立方英尺空气中，Yum的微粒数量应小于等于X，则X为该洁净区域的洁净度（Y=0.5um）。3.209E和ISO14644洁净等级定义比较洁净室定义1k1001010.10.01100k10kM60.010.11101001,000100,000每立方呎塵粒數1011,00010010,000100,000每立方公尺塵粒數10,0001,000,000M5M4M3M2M1ISO6ISO5ISO4ISO3ISO2ISO1ISO8ISO7英制ISO/TC209SI0.5um0.1um0.3um0.2um微塵粒徑制3.209E和ISO14644洁净等级定义比较洁净室定义洁净室基础二．洁净室基础洁净室基础微粒温度湿度静电气流压力噪音振动照度1.我们为什么要控制洁净室的环境因子？2.洁净室污染源与污染途径洁净室基础建筑物工作服物料进入空调进气气体分子材料设备维修人员工具外部污染源内部污染源生产过程洁净室渗入风大气尘埃洁净室基础5%15%80%RoomstructureVentilation(INCL:AirCondition)People3.洁净室污染源比重洁净室基础NoBringingin----不带入NoGeneration----不产尘NoAccumulation----不堆积Remove----不堆积4.洁净室四原则4.洁净室四原则洁净室基础1.吊顶结构需要紧密2.室内维持正压3.对作业人员进入CR的管理规则4.材料、机具需要清洁后才能进入CR不带入CR四原则不产尘排出1.换气次数须满足规范要求2.主要产尘处应直接排气3.气流分布应有利于防止微粒附着在产品上不堆积1.避免材料产生静电吸附堆积微粒2.洁净室内应避免安装一些设备和管线阻扰气流3.制定计划，按照规定进行洁净室清洁1.进入洁净室须穿无尘服2.选择不产尘的材料和设备3.人员在洁净室不做大幅度动作4.非必要的东西禁止带入5.系统设计控制微粒的措施洁净室基础减少微粒进入洁净室的措施去除外气带入的微粒（MAU过滤器）控制正压，避免空气微粒渗入设置AirShower，减少人员带入微粒设置PassBox，减少材料带入微粒去除洁净室内微粒的措施利用带风机过滤器去除洁净室内的微粒（FFUULPA）洁净室系统三．洁净室系统洁净室系统1.名词解释MakeupAirUnit(MAU)新风空调机组OutsideAirHandlingUnit(OAHU)外气空调箱HighEfficiencyParticulateAirFilter(HEPA)高效过滤器UltraLowPenetrationAirFilter(ULPA)超高效过滤器FacilityMonitoringandControlSystem(FMCS)厂务监控系统FanFilterUnit(FFU)风机过滤单元DryCoolingCoil(DCC)干冷盘管CommonSupport共同管架RaisedFloor高架地板AirShower风淋室PassBox传递箱Partition隔墙Ceiling吊顶洁净室系统2.洁净室系统组成洁净室系统主要包括洁净室内装系统共同管架、高架地板、吊顶、FFU、隔墙、门、窗、风淋室、去离子器等等洁净室空调系统MAU、空调风管、空调水管、阀门、水泵等等洁净室电力系统变频器、配电盘、电力桥架、电力电缆、洁净室照明、开关、接地等等洁净室控制系统控制系统硬件、软件、现场传感器、控制阀、FMCS等等3.洁净室气流组织洁净室系统MAMASAPToolRASHAFTRASHAFTRARARARAFFUFFUDCCSub-FABDCCRaisedFloorRaisedFloor3.洁净室气流组织洁净室系统MAUMixedstationFFUpartitionMAUFFUFFURaisedfloorTOOLTOOLTOOLTOOLfloorCeilingDrycoolingcoilClean-roomSub-FABExhaust洁净室系统2F核心生产区域1F下技术夹层新风空调机房工艺排气机房钢屋架层南北厂房一层为下技术夹层，2F为核心生产区域，3F为钢屋架层；厂房北面三楼为工艺排气机房，南面四楼为新风空调机房。厂房2F为核心生产厂房，核心净化面积约3300M2，辅助洁净区域面积约890M2，净化级别黄光区为Class10，温度22+/-0.5℃，湿度45+/-3%；大部生产区域为Class100，温度22+/-1℃，湿度45+/-5%。4.G07厂房结构图Class1@0.3um22+0.5℃&45+3%Class10@0.3um22+0.5℃&45+3%Class100@0.3um22+1℃&45+5%Class1000@0.3um22+1.5℃&45+5%洁净室系统Class10000@0.5um22+3℃&45+10%Class100K更衣室更衣室5.G07洁净室洁净度、温湿度分区5.G07洁净室洁净度、温湿度分区洁净室系统序号区域净化级别温度℃湿度%压力风速m/sFFU覆盖率%1MaskRoomclass122+/-0.545+/-3%25Pa0.45+20%80%2黄光区class1022+/-0.545+/-3%25Pa0.45+20%40%-60%3主要生产区class10022+/-145+/-5%20Pa0.45+20%22%-30%4背金区class100022+/-1.545+/-5%15Pa0.45+20%12%-20%5化学实验室及测试class100022+/-1.545+/-5%15Pa0.45+20%12%-20%6稳定性实验室class100022+/-1.545+/-5%15Pa0.45+20%12%-20%7洁净搬运走道class100022+/-1.545+/-5%15Pa0.45+20%12%-20%8参观走道class100022+/-345+/-10%15Pa0.45+20%12%-20%9楼梯及缓冲间class1000022+/-345+/-10%10Pa0.45+20%10%-20%10洁净电梯class100022+/-345+/-10%10Pa0.45+20%12%-20%11二次更衣室class1000022+/-345+/-10%10Pa0.45+20%10%-12%6.洁净室环境因子控制的实现洁净室系统温度（温度传感器+MAU送风温度+DCC精度调节控制）：洁净室各个区域的温度传感器控制该区域的干冷盘管的冰水阀门来调节循环空气的温度与新风空调器的送风混合达到设定温度。MAU的送风温度则由送风管内的温度传感器控制。湿度（湿度传感器+MAU送风湿度）：利用串级控制，洁净室每个区域内的湿度传感器根据设定值改变MAU风管内湿度传感器的设定值，风管内的传感器再控制MAU的冰水阀来调节送风湿度。洁净度：MAU（初、中、高效过滤器）+FFU（ULPA超高效过滤器U16）：MAU预过滤后的洁净新风，通过FFU的超高效过滤器达到洁净度要求，FFU的数量和分布也决定该区域的洁净度等级，相应的高架地板孔板（17%和50%）数量也对应FFU。压力（压力传感器+MAU新风量+FFU循环风量）：洁净室内的压力传感器控制MAU风机的频率从而改变送风量保持洁净室的设定正压。AMC：MAU水洗除去空气中90%以上的SO4-2、NH4+等污染离子，如果处理后仍不达标，就需要在MAU的化学过滤段和FFU上加装化学过滤器。静电：去离子发生器，去除环境的正负电离子，防止静电产生。气流速度：FFU可无级调节风机转速，控制送风速度，满足洁净要求，0.45m/s+20%。7.MAU新风空调系统洁净室系统1、黄光区单独新风机组，80000CMH*（1+1）2、其他区域共用新风机组，80000CMH*（3+1）3、从控制参数来说，黄光区内Maskroom，净化级别最高，达到Class1；其他部分，黄光区，净化级别为Class10，大部生产区域净化级别Class100，其他辅助区域净化级别Class1000，过渡或缓冲区域净化级别为Class100004、背金区的污染比较大，需要单独回风，二期预留区域为GaN生产预留区，考虑到GaN与GaAs生产线交叉污染的问题，因此GaN区域需要做单独回风，这两个区域与其他区域共用新风机组。5、黄光区的洁净度和温度、湿度控制要求与其他区域都相比来说比较高，控制精度也比较高，需要做单独回风，且单独使用一组新风空调箱。7.MAU新风空调系统MAU（新风空调系统）流程图FFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFUFFU洁净室系统7.MAU新风空调系统Make-upAirUnit结构图a.Pre-filterG4(40%~60%)b.Middle-filterF9(95%)c.Pre-heatingCoild.Pre-CoolingCoile.Airwasherf.Eliminatorg.Re-CoolingCoilh.Re-heatingCoili.FanJ.Chemicalfilterk.FinalFilterH13(99.99%)\＋－－＋abcdefghijkHToDrainageSystem洁净室系统7.MAU新风空调系统洁净室系统G074F空调配管G074F空调箱阀组G071FDCC干盘管G074FMAU空调箱空调风管空调水管洁净室系统8.G07洁净室共同管架系统G071F共同管架平面图8.G07洁净室共同管架系统洁净室系统I梁、U梁U型钢G071F完成效果门型架U型钢门型架U梁I梁洁净室系统9.G07洁净室FFU布置图G072F高架地板平面图9.G07洁净室FFU系统洁净室系统ULPAPre-filter完成效果FFU5mm亚克力板走道1.5M6mm铝蜂窝板G3/40%U16/99.9995%1200X1200洁净室系统G072F高架地板平面图10.G07洁净室高架地板10.G07洁净室高架地板洁净室系统生产区生产区通风视窗板搬运通道搬运通道生产区通风2KN/M21KN/M217%开孔17%开孔50%开孔亚克力视窗洁净室系统开放办公区二11.G07洁净室隔墙及门窗平面图G072F洁净室平面布置图11.G07洁净室吊顶及门窗洁净室系统吊顶盲板双开单自动门隔墙道吊顶龙骨吊顶龙骨1200X1200手动2400X3000自动吊顶盲板1200X12005mm亚克力板走道1.5M6mm铝蜂窝板44mm厚铝蜂巢金属板5mm厚亚克力板12.G07洁净室内装系统洁净室系统黄光区域效果图参观走道效果图白光区域效果图白光源600LUX黄光源500LUX5mm亚克力板走道1.5M6mm铝蜂窝板G072F洁净室效果图AdminAdminAdminAdminAdminClientMultiClientMultiClientMultiClientMultiENG.StationAdminAdminAdminAdminAdminAdminAdminClient