PECVD换管操作规程

2020/2/81石英管PECVD安装操作规程葛成林2020/2/821安全与标识威胁人身伤亡或健康微波辐射危险微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备部件5cm处微波泄漏小于5mw/cm2热的表面2020/2/83触电危险戴防护眼镜戴防护手套2020/2/842PECVD石英管安装操作全过程准备石英管停机开盖拆除旧石英管清洁等离子源槽安装石英管拆下等离子源槽罩壳清除氮化物（根据需要）2020/2/852.1准备石英管•按照图示顺序做新石英管。做好后检查一下，铜管要穿在聚四氟乙烯支撑片中间小孔，铝压紧圈要高于铝帽边。元件安装顺序：1.铝帽2.聚四氟乙烯支撑片3.橡胶密封圈4.聚四氟乙烯圈5.橡胶密封圈6.聚四氟乙烯圈7.铝压紧圈8.锁紧头2020/2/86做好石英管后,在石英管外缠绕一层耐高温带，两侧用高温胶带粘贴。注意不要用赤手接触石英管，如果手接触了石英管，可用酒精擦洗石英管2020/2/872.2停机停止工艺运行，停止传动运行关上位于墙壁气箱中特气阀，通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫点击三个真空泵“pumpoff”按钮关掉真空泵向机器腔体冲入净化N22020/2/882.3开盖选择点击“covercontrol”按钮选择点击所需打开的盖控制按钮点击“open”控制按钮并确认，两手同时按压盖控制按钮，打开盖2020/2/892.4拆除旧石英管注意：穿带防护用品，防止烫伤，划伤，氮化物进入眼睛如下图，从机器两侧微波头中拔出铜天线100mm2020/2/810等机器反应室温度降下后，如下图，用工具松开石英管两侧锁紧头如右图，移出石英管两侧锁紧头100mm从等离子源槽中水平移出石英2020/2/8112.5清洁等离子源槽用钢丝刷刷，吸尘器吸，除去氮化物用细针透等离子源槽下一排和上两排细孔2020/2/8122.6安装石英管检查机器上锁紧件橡胶密封圈，如果坏立即更换用卫生纸蘸酒精擦干净锁紧件橡胶密封圈和石英管铝帽水平放石英管于等离子源槽中把石英管两侧锁紧头插进机器上锁紧件里2020/2/813用工具稍微锁进一侧锁紧头，再锁进另一侧，然后两侧轮流均匀锁进。一定要锁紧锁紧头，但不需锁到底再用吸尘器吸去等离子源槽和反应腔中氮化物2020/2/814见图，旋转铜天线，慢慢使之插入微波头。注意一定插到头检查铜天线头是否穿在石英管铜管中间。注意不能插僻2020/2/8152.7拆下等离子源槽罩壳清除氮化物（根据需要）见图，用专用工具使四个锁紧件解锁。均匀地从等离子源槽中取出罩壳清除氮化物重新装上等离子源罩壳，锁紧四个锁紧件2020/2/816石英管PECVD安装操作规程完