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配管材料認識及如何選料1.氣體工程常用材料區分2.選用料件依據上海茂華電子工程技術有限公司SHANGHAIPURITICCO.,LTD1.常用材料種類•管件-Pipe&Tube•連接配件-Fittings•閥件-UltraCleanValves•調壓閥-PressureRegulator•壓力偵測器-PressureGauge&Transducer•逆止閥-CheckValve•過濾器-GasFilter•真空產生器-VacuumGenerator•其他2.選用材料依據•氣體種類,氣體特性*影響材料使用的等級–AP/BA/EP/V+V/….•業主需求及預算*有無指定廠牌或規格•依機台所需用量及本身接點選定料件尺寸*影響材料使用的尺寸–¼”/¾”/15A/…….•依機台所需壓力及流量不同選擇材料型式*選用壓力範圍適合或流量符合之閥件•視盤面組裝選擇料件接頭型式*VCR/SWG/Welding/Flange…..aboutPipe&Tube…….•1.定義:*Pipe:一般指1”以上之管子,以公稱內徑(ID)配合壁厚,作為量度之尺寸.*Tube:一般指3/4”以下之管子,以外徑(OD)及壁厚作為量度之尺寸.*規格:6M/stickor4M/stickor100M/roll…2.常用材質:SS304/SS304L&SS316/SS316L&VIM+VAR&HC-22…3.表面處理等級:BA–BrightAnneal表面研磨EP–ElectroPolish表面研磨+電解研磨日規美規.SS316LBARmax=3μmRa=10μ”.SS316LEPRmax=0.7μmRa=3μ”•4.等級:*BulkGas一般使用316LBA或316LEP等級*SpecialtyGas:易燃性/惰性氣體–316LEP毒性–雙套管(304AP+316LEP)/單管316LEP腐蝕性氣體–VIM+VAR低壓性氣體--316LEP+HeaterLine+WarmCover接進機台或VMB端,焊STOPSPACE終止外套管外套管SUS304-AP1/2內套管SUS316L-EP(V+V)1/4PRESSUREGAUGE1/4MENUALVALVEOVERTUBE1/2*1/4R-TEESPRINGWELDINSIDETUBE1/4OUTSIDETUBE1/2TOVMBaboutFittings…….•1.材質同管件•2.常用種類:a.Nut+Gland+Gasketb.Elbow,Tee,Reducerc.Cap,Plugd.Connectore.others…•3.型式及規格:一般可分為VCR/SWG/WELDING/螺牙接頭/FLANGE尺寸從1/8“~1”(VCR/SWG)及1/4“~300A(WELD/FLANGE)皆有,又分短接頭SCM(micro)or長接頭SCL(long)&SCF(以Kitz作說明)•4.常用廠牌:KITZ/HAM-LET/IHARA/SWAGELOK/FUJIKIN….*CO&O3–GasketmustbeSUS.aboutValves…….•1.材質同管件•2.常用種類:*手動閥(ManualValve):a.BallValve球閥b.BellowsValve波紋管閥c.DiaphragmValve膜片閥*氣動閥(AirValve)*逆止閥(CheckValve)*其他•3.常用廠牌:KITZ/OHNO/IHARA/MOTOYAMA/NUPRO….*NH3–CheckvalvemustbeAFLAStype.•4.備註:*高壓閥/低壓閥--依使用場所不同來選擇*兩通閥/三通閥/四通閥/…..:依需求來選擇,注意流向選擇三通閥3way–流向FlowType(KITZ)A-type:ACB-type:ABABCABCKD-4MB-VFC-A-EP系列尺寸常關狀態三通閥母接頭內部材質流向材質aboutRegulator…….•1.材質同管件•2.Seat材質:PCTFE,SS316L,Kel-F81…•3.常用種類:*高壓/低壓/一般壓力*2P無表頭/3Por4P單表頭或雙表頭*VCR/SWG/Flange*N2O–SeatmaterialmustbeVespel.•4.注意:(以CROWN為例)*BulkGas一般使用316LBA或316LEP等級/VCR或SWG1/4”-R25系列3/8”-R35系列1/2”-RH1系列*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性氣體–316LEP-L25orR25系列腐蝕性氣體–VIM+VAR-L25SVA系列低壓性氣體–需選擇可調負壓的type-L96SSA系列(-30”Hg~0~30psi)forN2O-Vespeltype因考慮流量不同aboutPressureGauge&Transducer…….•1.常用種類區別:*PressureGauge(PG)壓力表頭,指針式,C122*PressureSwitch(PS)壓力開關,指針式,帶傳輸線,IPS122*DigitalPressureGauge(PID)電子式壓力表頭*PressureTransducer(PT)壓力傳送器•2.使用於:盤面及管路上•3.壓力範圍大致可分為:*高壓(0~3000psi)*低壓(-30”Hg~0~30psi)(-30”Hg~0~160psi)•4.常用電源:24VDC,4~20mADCaboutGasFilter…….•1.功能:過濾氣體中的微粒子(Particle)•2.過濾等級選擇,即濾徑尺寸(particlesize),可分為:*0.01um/0.03um/0.003um•3.中心濾片(Medium)材質:PTFE/SS316L/NI•4.流量考量(flowrate):分一般流量及大流量30slpm/100slpm/300slpm/1500slpm….•5.Connectingtype:VCRorSWGorWelding*CO–濾片材質為PTFE•6.注意:一般常用濾片材質(以Mykrolis為例)*BulkGas–PTFE*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性氣體–PTFE系列腐蝕性氣體–PTFE,noSS316LforCO-PTFEtype過濾效果防漏性抓取率抗腐蝕效果PTFE(F)好不好10.8N/ASS316L(M)很好好6.2很差Nickel(Ni)很好很好10.8好WG-2FT1-RR2系列PTFEVCR尺寸aboutVacuumGenerator…….•1.功能:裝於G/C/G/R/VMB/VMP作為Vent抽氣使用•文氏管原理GN2in¼”Processin¼”Ventout1/2”符號認識:
本文标题:配管材料认识及如何选料
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