PVD与NCVM制程介绍

GROUP講師陳建佳GROUP一、PVD原理介紹二、NCVM介紹三、PVD與NCVM常見的不良項目四、注意事項課程內容：GROUPA.何謂PVD？PVD(PhysicalVaporDeposition)物理氣相沉積法，顧名思義此種薄膜形成的方式乃利用外力(能量)，使靶材(Target=Al)由固體變成氣體，慢慢堆積在物體(Substrate=PCKey)表面，形成均勻的薄膜。此薄膜本質上透過物理性變化，所以製程前後靶材性質變無改變，依據公司案例，我們將鋁靶變成鋁膜，製程前後仍然是鋁。GROUPB.PVD的種類PVD製程一般常見三種方法：1.蒸鍍(Evaporation)2.濺鍍(Sputtering)3.離子披覆(Ion-Plating)一.PVD原理介紹GROUPB.1蒸鍍EvaporationHeaterVacuumchamberMaterialSubstrateCloud一.PVD原理介紹GROUPB.2濺鍍CoatingAtoms/MoleculeTargetArgonGasCathode(-)SecondaryElectronsAnode(+)SubstratePlasma一.PVD原理介紹GROUPB.3離子披覆靶材離子源離子束基板一.PVD原理介紹GROUPC.立式圓桶型蒸鍍機介紹靶材掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架靶材掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架掛架上視圖一.PVD原理介紹GROUPC.圓桶型蒸鍍機介紹靶材被鍍物靶材被鍍物切面圖一.PVD原理介紹GROUPC.圓桶型蒸鍍機介紹一.PVD原理介紹爐式機台GROUPD.In-LineSputtering介紹SputteringChamberBufferChamberUnloadingChamberBufferChamberLoadingChamberOutInLoULHiBuSpSpHiBuPlaInOut一.PVD原理介紹GROUPD.In-LineSputtering介紹一.PVD原理介紹連續式機台GROUPE.蒸鍍與濺鍍比較EvaporationSputteringThicknessUniform△○側邊均勻性○X靶材限制多少In-Line設計XOK每模時間長短設備成本低高單價低中素材接著力一般優一.PVD原理介紹GROUPG.Sputtering應用1.外觀膜：金屬、非金屬、多層膜2.光學膜：抗反射、全反射、光柵3.功能膜：IRorUV隔絕、光學開關、EMI4.透明導電膜：ITO5.顯示器：OLED6.其他一.PVD原理介紹GROUPA.WhatisNCVMNCVM(Non-ConductiveVacuumMetalize)顧名思義，為一種非導電的真空金屬化鍍膜製程，或稱為非導電PVD製程，由於一般PVD製程所用的金屬為優良導體，因此PVD金屬化都是導電的，NCVM採用特殊金屬，因此可做出具有金屬光澤同時具備非導電性質的薄膜。GROUPB.WhyneedNCVM手機訊號(RF)收發時，若訊號碰到導體，則會受干擾造成訊號變差，甚至訊號無法穿透而無法作用，因此PVD製程會使訊號穿過按鍵時產生干擾。由於PVD製程能使塑膠表面變成金屬外觀，因此受客戶青睞，為了此外觀需求，於是我們開發NCVM製程，讓按鍵具有PVD金屬外觀，同時又不導電，一舉兩得。GROUPC.NCVM與PVD的差別a.製程流程—相同PVD製程PrimerPVDL/EUV(color)UVH/CNCVM製程PrimerPVDL/EUV(color)UVH/CGROUPC.NCVM與PVD的差別b.Primer需求PVD使用的靶材為鋁(Al)，NCVM使用的靶材為錫(Sn)或銦(In)，因此Primer材料必須思考與不同金屬靶材的接著性，避免因接著不足而產生百格脫落問題。就靶材來說，鋁靶的接著效果是最穩定的。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.種類差異：PVD常使用鋁(Al)、鎳(Ni)、鉻(Cr)、不鏽鋼(SUS)。NCVM使用靶材錫(Sn)、銦(In)、矽鋁(SiAl)。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.膜厚差異：PVD從很透光到不透光都可以。NCVM從很透光到半透光，現況無法做到不透光。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.顏色差異：PVD鋁顏色為銀白色PVD鎳顏色為銀色帶淡黃色PVD鉻顏色為銀色帶一點點黑(與電鍍顏色相似)PVD不鏽鋼顏色為銀色帶咖啡色NCVM錫顏色為銀色帶黑(比PVD鉻深一點)NCVM銦顏色為銀色帶一點點黑(與PVD鉻相似)NCVM矽鋁顏色為銀黑色(比NCVM錫更深)GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.正面噴塗配色差異：PVD顏色比較淺，偏銀白色，因此外觀可以做淺色有色金屬的外觀，例如：淺紅金屬色、亮橘金屬色，要做深色比較困難，會產生色差顏色分布不均勻，例如：黑色金屬色、深藍黑金屬色等。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.正面噴塗配色差異：NCVM顏色比較深，因此外觀可以做深色有色金屬的外觀，例如：黑色金屬色、深藍黑金屬色等。做淺色有色金屬色會做不出來，例如：淺紅金屬色、亮橘金屬色，因為淺色塗料在深色金屬上，其顏色也會透底色而變深。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異(UV1調色)GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.背面印刷配色差異：背面印刷製程的顏色取決於PVD或NCVM的靶材本身顏色，因此顏色的選擇性較少，若無字體，則可將PC素材注塑成有顏色，在背面PVD之後，就會有有色金屬的質感。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.透光差異：NCVM由於鍍膜層會透光，因此做正面噴塗時會有表面透光的問題，造成L/E字體在背光源打開時的對比變差。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.NC與透光關係：PVD打光效果佳NCVM打光效果差GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.NC與透光關係：NCVM隨著厚度增加，其導電性也會慢慢變好，厚度到達一定程度之後，就會變成不是NCVM，膜厚的變化也會使顏色產生差異，因此在設定NCVM製程時，我們也必須知道外觀顏色、透光性與NCVM需求的對應性。GROUPC.NCVM與PVD的差別c.PVD靶材差異★.簡易圖示：薄厚NCVM區半透光區不透光區顏色相同PVDNCVMNCVM區非NCVM區GROUPA.百格NGB.正面&側面透光NGC.色差(變黑,變黃)NGD.亮霧不均(白霧)NGE.針孔NGF.顆粒雜質G.積墨、橘皮GROUP1.素材禁止使用離模劑2.素材要烘烤消除應力3.烘烤過程膠圈要去除4.嚴禁觸摸Key面，需有保護蓋5.噴塗過程須嚴格控制配方、條件與膜厚6.首件確認要落實(外觀、百格)7.鍍膜層表面不可擦拭或清洗8.Primer—PVD—UV1過程要盡量縮短時間GROUP四.PVD注意事項