Zygo干涉仪及其应用的研究

Zygo干涉仪及其应用的研究作者：于毅学位授予单位：天津大学参考文献(33条)1.IOB考洛米佐夫.李承业干涉仪的理论基础及应用19822.GPIGrowthPotentialInterferometer3.GPIXPInterferometer,Zygo(AsiaPacific)PteLtd4.ZygoInterferometerSystem5.蔡怀宇.于毅.黄战华.张以谟基于EPP接口的CMOS图像采集系统设计[期刊论文]-仪器仪表学报2003(z2)6.OVTCameraChipOV9620/91207.GS74108ATP/J/XDataSheet8.ispMACH4000V/B/C/ZFamilyDataSheet9.InterferogramInterpretationandEvaluationHandbook,ZygoCorporation10.AH格恩瑟.DH利本伯.曹天宇光学干涉图的处理和判读198611.鄢静舟干涉图特征信息自动采集方法[期刊论文]-光学技术2000(1)12.何玉明.谭玉山光学干涉条纹图像处理及应用1990(05)13.周恕义.关承祥.金国藩干涉条纹细化的曲线拟合方法[期刊论文]-电子测量与仪器学报1998(3)14.何斌.马天予.王运坚VisualC++数字图像处理200315.殷纯永现代干涉测量技术199916.郁道银.谈恒英工程光学199917.周长发科学与工程数值算法200218.贺安之.阎大鹏激光瞬态干涉度量学199319.RafaelCGonzalez.RichardEWoods.阮秋琦数字图像处理200320.叶宗泽.蔡高厅.邱忠文.梁立华高等数学199421.D马拉卡拉光学车间检验198322.杨国光近代光学测量技术199723.王文生干涉测量技术199224.成玉骏关于表面温度测试中的几个问题[期刊论文]-航空计测技术1995(4)25.秦永烈表面温度测量198926.崔志尚温度计量与测试199827.施德恒.黄国庆.刘玉芳光源对测温系统测温精度及测温范围的影响[期刊论文]-光电子·激光2003(5)28.戴锅生传热学199929.王补宣工程传热传质学199830.ERG埃克特.RM德雷克.航青传热与传质分析198331.朱正安应用大气光学基础199032.黄战华.蔡怀宇.李贺桥.张以谟光线弯曲对激光测量热钢板厚度的影响[期刊论文]-光电工程2001(6)33.乔亚天梯度折射率光学1991相似文献(7条)1.学位论文于杰激光波长扫描干涉测试方法用于非球面测试的研究2007随着非球面元件设计和加工技术的发展，在光学仪器的设计和制造中，非球面元件的特殊作用越来越显著，而对非球面光学元件的面形及其参数的检测也就提出了越来越高的要求。本文主要是研究一种新的非球面检测方法一激光波长扫描干涉测试方法。研究的目的主要是针对大型高精度非球面面形检测中干涉仪的参考光路和测量光路较长，干涉系统对工作台振动和空气抖动等外界干扰因素的影响敏感，干涉图不稳定等问题，提出了激光波长扫描干涉测试方法，该方法通过对瞬间读取的、与连续变化波长对应的干涉图的处理和分析，克服了上述缺点，为大型高精度非球面的检测提供了一种适用的方法。本文首先提出了课题研究的背景和意义，对国内外相关技术的发展作了简要的概述，详细介绍了非球面检测的基本理论，在此基础上，提出了波长扫描干涉测试方法的原理，构建了激光波长扫描干涉仪实验系统。实验系统的硬件部分主要包括：波长可调谐的激光光源系统、实验用光学系统、图像采集系统，本文着重对波长可调谐的激光光源进行了分析，对实验用光学系统进行了优化设计。软件部分主要包括干涉图处理系统和测量结果的输出，本文着重介绍了干涉条纹图处理的方法和原理，以及相关的算法，并完成了软件的编写。最后，在实验的基础上，给出了实际检测的样例和结果，并对结果的合理性给出了验证。2.期刊论文杨甬英.刘东.王道档.卓永模.YANGYong-ying.LIUDong.WANGDao-dang.ZHUOYong-mo动态变化场的高速高精度实时干涉检测-红外与激光工程2008,37(5)利用数字化的干涉技术对受温度、压力、湍流等具有大畸变的动态变化场波前实现高速高精度实时化的检测是非常需要的.介绍了一种基于空间位相调制的径向剪切干涉系统,配以具有连续与脉冲光于一体的半导体泵浦固体激光器,结合一种新颖的高速图像采集同步控制系统,可以对各种连续及动态变化场波前实现共路干涉、无需参考面的瞬态、高精度的检测,波前图像采集频率在像素512x512时可达到1000帧/s以上.系统的波前重构理论都经过了计算机仿真验证,仿真精度达1/1000λ以上.与ZYGO数字波面干涉仪相比,检测结果RMS优于1/15λ,并有很好的重复性;目前该系统已用于惯性约束聚变(ICF)等系统的脉冲波前检测,并且在航空航天、流体、流场的各类物理量的检测领域具有广泛的应用前景.3.期刊论文王小鹏.朱日宏.苏俊宏.陈磊.WANGXiao-peng.ZHURi-hong.SUJun-hong.CHENLei空间载频干涉法全场测量长度技术-光子学报2010,39(11)在研究二维快速傅里叶变换法进行干涉测试基本原理的基础上,提出一种基于二维快速傅里叶变换的长度测量法.以量块长度的测量为对象,被测量块置于泰曼-格林干涉仪测试光路中,参考光波分别与待测长度的量块表面和辅助平面反射的测试光波形成干涉条纹,条纹由图像采集系统采集.利用编制的算法处理软件,通过处理干涉条纹图中量块边缘识别、区域延拓、滤波、波面统一,获得了量块全场表面的空间长度分布,实现了对量块长度的自动化测量.结果表明:该测量法不仅具有较高的测量准确度,而且具有全场测试和非接触测量等优点.4.学位论文孔益基于全场光学相干层析术的生物样品高分辨光学断层成像研究2010全场光学相干层析术(Full-FieldOpticalCoherenceTomography,FFOCT)是在传统OCT技术的基础上改进而来。此技术应用钨卤灯照明，基于Linnik结构干涉，采取面阵CCD探测器采集图像。FFOCT克服了传统OCT需要横向扫描的弱点，具有在视场内所有点的图像被探测器同时采集而保持一致性、且易于实现高分辨率、系统控制比较简单、机械稳定性高和等特点。本文主要对全场光学相干层析术(FFOCT)的原理与性能参数及实验系统的搭建进行的研究。首先，简单介绍了下近几十年来的生物医学成像技术，并与OCT技术进行比较；其次，对于在传统OCT基础上改进得来的FFOCT在原理上进行分析，对FFOCT系统的各个性能指标进行了深入的分析：轴向分辨率、横向分辨率、探测灵敏度、成像时间、成像深度，比较了传统OCT和FFOCT的性能参数。再次，建立在实验的基础上，对FFOCT系统的各个组成部分进行介绍：照明系统、干涉系统、图像采集系统，以及在各个组成部分中应用的方法，对在实验中应注意的事项进行了指明。最后，对FFOCT系统的信号提取以及处理方法给出了比较合适的方法。关键词：全场光学相干层析术分辨率钨卤灯Linnik干涉仪5.学位论文李路基于条纹相位解调的三维面形动静态测量技术的研究2008现代光学干涉测量法已经在表面三维形貌的检测中得到广泛的应用，它具有测量精度高和非接触无损检测等特点。通过引入相位调制来实现被测信息的提取，可以提高测量精度，并且能实现自动检测。相位调制方法可以分为时间相位调制和和空间相位调制。时间相位调制法即相移法，至少需要3幅相移干涉图，在动态环境中很难实现；空间相位调制法通过引入光载频条纹，这可以通过倾斜被测面或投影光栅实现。与相移技术相比，它只需要一帧干涉条纹图就能恢复出物体的三维形貌，使得物体动态过程的三维形貌测量变得可能。本文研究了一种基于显微干涉的三维物体静测试系统，对光纤连接器端面进行了测量。干涉仪由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成，CCD相机采集干涉图样，经处理后得到相位分布图。文中采用Carre相位提取算法，无需进行特定步长的相移。对光纤连接器端面的表面形貌、曲率半径、顶点偏移进行测量，测量系统的横向分辨率可达到0.9μm，重复性测量精度为9.5nm。另外，本文还提出一种基于高速图像采集和处理的三维动态测量系统，将希尔伯特变换法和高速图像采集系统相结合，采用迈克尔逊干涉原理实现对被测表面的动态测量，利用高速CMOS相机获得振动过程中的序列干涉图像，对经过加入空间载频的序列干涉图依次进行希尔伯特变换、高通滤波等操作，得到序列包裹相位，利用三维相位解包裹再现物体表面各点的振动过程，并恢复连续振动物体的瞬时表面形貌。6.期刊论文戴建明.王法远.谢宇.从守民.刘建军.李光源.DAIJian-ming.WANGFa-yuan.XIEYu.CONGShou-min.LIUJian-jun.LIGuang-yuan一个研究型实验项目的探讨--利用迈克耳逊干涉仪测气体折射率-淮北煤炭师范学院学报（自然科学版）2006,27(2)研究型物理实验的开设对激发学生的求知欲、拓宽其知识面、培养其创新思维能力等方面具有重要意义.文章以迈克耳逊干涉仪实验为例,通过在实验装置中增设可调压强的气室和CCD图像采集系统,实现对干涉图样的实时观察和气体折射率的较精确测量.实验设计还考虑到了实验内容及其难度的可深入与拓展空间,具有很强的研究型实验特点,并且可以根据适当的教学设计将此实验开设成综合性或设计性实验.7.学位论文周权擒纵轮半自动视觉检测仪数控系统的研制2009擒纵轮半自动视觉检测仪是我课题组为“天津海鸥表业集团有限公司”研制开发的一款针对手表擒纵轮零件的检测设备，主要用于对机械手表机芯中擒纵轮零件的几何尺寸进行视觉检测，判定被测零件的合格性。项目中，“海鸥表业”提出了高检测精度和高检测效率的要求。br　　要实现擒纵轮的半自动检测，需要数控系统驱动承载着图像采集系统的二维移动工作台做精确定位运动。这对数控系统的设计和机械结构的设计加工提出了较高要求。本课题针对这一需求进行了如下工作：br　　1.设计了擒纵轮半自动视觉检测仪总体方案。通过现场观摩检测人员对擒纵轮进行检测，最大限度的使检测仪适应操作者的操作习惯。尽可能降低检测人员的劳动强度。br　　2.研究数控系统的组成，对比了几种控制系统的优缺点，进行了硬件选型。选取了合适的控制器件，驱动器件和反馈器件，并对机械进给装置进行了设计和载荷校验。br　　3.搭建了完整的数控系统，设计编写了PLC控制程序并设计了功能模块。实现了对工作台的控制功能和与上位机的通讯功能。br　　4.使用双频激光干涉仪对二维移动工作台的定位精度和重复定位精度等指标进行了检验，分析了误差产生的原因。通过修改PLC程序不断校正工作台的定位精度，最终实现了较高的定位精度和重复性精度。本文链接：授权使用：湖南大学(hunandx)，授权号：ebcebd50-a599-4eab-851f-9e9c00ba6bad下载时间：2011年3月4日