显影台技术方案

显影清洗台制作方案一、总述：序号名称及规格数量单位备注一整机部分1整机一、整机材料：10mm厚优质pp板，约2000（长）X1400mm（宽）X2000mm（高）。二、设备主体分4个工作区：（1）工艺槽工作区。（2）排风区。（3）水电气控制区。（4）阀箱区。三、排风系统：（1）设备后部多个条状孔排风孔，手动调节挡风板可调节排风量。（2）台面板开有多个ф8mm孔，用于底部排风与水清洗工作台面的排液。（3）设备主排风有一个ф200mm排风管。（4）排风量：1500m3/h=3000m3/h。四、设备采用上下无段式推拉门。五、照明系统：两个30W日光灯照明，装有防腐灯罩。六、化学槽液体单独排放，采用塑料电磁阀排液。1台整机功率：5KW，AC220V；排水口径φ60，上水口径φ25，2.5Kg/Cm2,气体接口3/8〞5Kg/Cm2。2控制系统1、操作面板位于设备前上部，人机界面、控制按钮及主要显示仪表设置其上。2、电气系统采用日本OMRON公司PLC实现控制功能。用户可根据需要，通过触摸屏对整机工艺实现设置和控制。设备的控制系统可随时提供设备的工作状态显示，并具备历史记1套二槽体部分1化学槽见详细描述2套适用4英寸1篮25片2QDR清洗槽见详细描述4套去离子水适用2英寸2篮，每篮25片或4英寸1篮25片三辅助系统1水枪美国进口，枪体材质为铁氟龙2只接去离子水2氮气枪美国进口，枪体材质为铁氟龙2只高纯氮气二、详细描述：台面由8个功能槽组成，1#~4#槽为不锈钢常温槽（后面带搅拌机构），5#~8#槽为QDR冲洗槽。1、1#-4#不锈钢常温槽（带搅拌机构）槽体描述：不锈钢常温槽的结构如下图所示，主要由不锈钢槽、托板、排放口、管路和管件等组成。不锈钢常温槽结构及示意图槽体材质：SUS316L。内槽有效尺寸：长×宽×高=250L（mm）×250W（mm）×250H（mm）。化学液：显影液。液体温控：常温。抖动装置：槽体后面带片盒搅拌机构，伸到槽体材质：PTFE材料。抖动装置均由调速电机驱动，抖动频率10-60次/min连续可调，振幅为30mm，搅动装置结构示意图见下图。抖动装置结构示意图人工加药。电磁阀排药。配槽盖（SUS316L）。2、5#-8#QDR槽QDR快排冲洗槽的结构如下图所示，主要由喷淋槽、溢流槽、匀流板、快排汽缸体、喷嘴喷管、管路和管件等组成。基本流程:放入工件→开始喷淋,同时快排阀打开→底部注水，同时快排阀关闭，氮气鼓泡打开→溢流漂洗＋氮气鼓泡→快排阀打开，快速排放，一次冲洗快排工艺结束。在QDR槽体溢流部设水阻计，时时监控水质。各功能的运行时间及次数可编程控制。槽体描述：槽体由进口NPP板材焊接加工而成。QDR槽由安装在槽体底部的快排汽缸、底部DI水注入孔及顶部左右两侧的DI水喷嘴实现槽体的快速注入与排放，有氮气鼓泡功能。QDR槽用来实现刻蚀后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗去除，具有喷淋、溢流、氮气鼓泡等功能，各功能的运行时间及次数可编程控制。槽体内口有效尺寸：长×宽×高=200（mm）×200（mm）×200（mm）。注入时间：≤60秒（DI水压力为2～3Kg）。排放时间：≤6秒。在溢流排放口安装有DIW电阻率检测仪，可队冲洗溢流的水质适时检控；电N2DIQDR快排冲洗槽结构及示意图氮气鼓泡控制喷淋、溢流控制快排汽缸DIW喷淋溢流快排两用结构电阻率检测溢流排放溢流槽喷淋槽匀流板阻率检测仪型号为：台湾SUNTEX生产的EC430。槽体内安装带网眼的匀流板一个，用来承载花篮以及均匀流场。槽盖：采用透明PVC槽盖，槽盖可以竖直悬挂在槽的旁边。