12寸圆片操作规范

FOSB-AFOSB-BFOUPFOUP:FrontOpenningUnifiedPod。用于12圆片在车间的运输，以及在标准12设备上实现圆片上下料。目前，JCAP可以使用FOUP自动上下料的设备有12溅射机台、12涂胶机台、12曝光机台、12电镀机台、12自动检验机台。CassetteCassette:用于单片显影，单片腐蚀，SCRUB清洗机工序。WaferjardWaferjard:用于运输或长时间存放12圆片的盒子。一般是圆片厂用于将加工后的圆片运到下游生产厂家。步骤操作内容注意事项1.手动搬运:双手扶住FOSB，轻拿轻放。图示FOSB:FrontOpenningShippingBox。用于运输或长时间存放12圆片的盒子。一般是圆片厂用于将加工后的圆片运到下游生产厂家。12寸圆片操作规范开启FOSB-B1.将FOSB平稳地放置在工作台上，保持圆片呈竖直状态。2.双手大拇指分别放在片架上方两侧，四指握住侧面锁扣底部，四指用力向外打开.3.双手同时缓慢向上提，开启FOSB上盖。4.将FOSB上盖反过来，外表面朝下放在工作台上。圆片放入FOSB1.右手大拇指，食指，中指在圆片无效区域轻轻拿起圆片，同时左手托住圆片下端，圆片呈竖直状态，缓慢放入FOSB装置中。将FOSB正确放置在工作台面上，（如左图所示）将圆片背面正对着FOSB底部的白色塑料垫片。2.圆片放入FOSB过程中，右手拿住无效区域，左手托住圆片底面，在向下移动过程中，左手慢慢顺时针方向移动，待即将进入槽内，慢慢移去左手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。开启FOSB-A1.将FOSB平稳地放置在工作台上，保持圆片呈竖直状态。2.操作员双手对角打开FOSB的盖沿，两只手的大拇指分别摁下盖沿上的弹片，其余四指轻轻提起盖沿，先把此对角处的锁松开，接着再用同样的方法开启余下的两个对角处的盖沿。3.双手同时缓慢向上提，开启FOSB上盖。4.将FOSB上盖反过来，外表面朝下放在工作台上。FOSB搬运FOSB2.手推车搬运：将FOSB轻轻放到手推车上，确定轮子是否锁住，将手推车推到下个工序后，将FOSB拿出。从FOSB取圆片1.右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢向上竖直上提圆片。2.当圆片中心线高过FOSB的槽位时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的侧面边缘，同时右手继续上提圆片。3.圆片上提过程中，左手不断沿圆片侧面边缘向右移动，直至圆片完全高过FOSB，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。搬运FOUP1.保持圆片呈水平状态，顺着把手方向双手扶住FOUP把手，轻拿轻放。开启FOUP1.将FOUP平稳地放置在工作台上，保持圆片呈水平状态。2.左右手各拿一把FOUP钥匙，分别插入FOUP前盖的锁孔内。3.两只手同时顺时针旋转FOUP钥匙，当时到轻脆的“咔”的声音，双手同时向身体内侧平行移动FOUP前盖，开启FOUP前盖。4.将FOUP前盖的外表面朝下水平放在工作台上。3.在此过程中，注意放入正确槽位，确认没有插错，圆片隔槽放置。1.从工作台上拿起盖子，首先确认盖子方向，检查盖子上的槽位号和FOSB底部槽位号一致。2.双手抓住盖子边上的白色把手，大拇指用力向下压把手的片环，待其扣入FOSB的卡槽后，然后再用四指向下压，听到“啪”的声音后，表示已经关好上盖。1.将平放的FOUP竖直放置。2.右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢竖直向上移提起圆片。关闭FOSB-A上盖1.从工作台上拿起盖子，首先确认盖子方向，检查盖子上的TOP标记和FOSB上的TOP标记，要保证在同一方向（如左图中的在FOSB装置上的TOP标记）。2.先在对角方向上，轻轻用双手大拇指摁住白色的弹片，其余四指扶住盖沿边缘，待其卡入FOSB的卡槽内后，不要摁下只需要轻轻放到准确位置，再在余下的对角上摁下白色弹片，将其卡入卡槽。3.最后再把之前的两个对角弹片摁下。关闭FOSB-B上盖1.将FOUP水平放置，保证圆片水平.2.右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢水平向外移动拖出圆片。3.当圆片边缘超出其它圆片边缘时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的背面边缘，同时右手继续缓慢水平向外移动拖出圆片。4.圆片向外拖出过程中，左手不断沿圆片背面边缘向右移动，直至圆片完全离开FOUP，左右手的大拇指、食指和中指分别捏住圆片两边边缘的无效区域，圆片保持水平状态。PS:用于正胶涂胶工序关闭FOUP前盖1.从工作台上拿起盖子，双手分别拿住盖子上的左右两把钥匙，确认盖子方向后再放在FOUP前面（保证盖子上的UP标记和FOUP上的UP标记方向一致，如左图中的在FOUP装置上的UP标记），将盖子顶部先接触到FOUP内部的上方，然后再将盖子推入到FOUP中。2.逆时针方向旋转，当听到轻脆的“咔”的声音，表示已经关上前盖，拿出钥匙。开启Cassette1.将整个专用片架盒面对自己身体，保持圆片垂直，双手扶住专用片架盒的左右两侧边缘，大拇指向下压，食指中指用力往外拨，将外盖打开。2.将盖子反放到工作台上。从Cassette取专用片架1.左手在专用片架远端，右手在近端，将专用片架端出专用盒子，并将其竖直放在工作台上.圆片放入FOUP1.右手大拇指，食指，中指捏住其无效区域，轻轻拿起圆片，同时左手拖住圆片下端，圆片呈竖直状态。2.将FOUP放在工作台面上，顶部黑色塑料装置远离自己身体，将圆片正面正对着FOUP的顶部。3.圆片放入FOUP过程中，右手拿住圆片无效区域，左手拖住圆片底面，待即将进入槽内，慢慢移去左手，慢慢的放下右手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。4.注意放入正确槽位，确认没有插错，每隔一个槽位放置圆片。3.当圆片边缘超出其它圆片边缘时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的背面边缘，同时右手继续缓慢竖直向上移提起圆片。4.圆片上提过程中，左手不断沿圆片背面边缘向右移动，直至圆片完全离开FOUP，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。FOUP从FOUP取圆片专用片架放入Cassette1.将工作台上的专用片架抬起，放入到专用片架盒子内，保持左手在专用片架远端，右手在近端。关闭Cassette1.双手拿起在工作台面上的片架盒盖子。2.双手分别将左右两端的卡扣扣入盒子上突出的定位装置中。圆片放入1.右手大拇指，食指，中指在圆片无效区域轻轻拿起圆片，同时左手托住圆片下端，圆片呈竖直状态，缓慢放入特氟隆片架中。2.圆片放入特氟隆片架过程中，右手拿住无效区域，左手托住圆片底面，在向下移动过程中，左手慢慢顺时针方向移动，待即将进入槽内，慢慢移去左手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。3.在此过程中，注意放入正确槽位，确认没有插错。取出圆片1.右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢向上竖直上提圆片。2.当圆片中心线高过特氟隆片架的槽位时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托住圆片的侧面边缘，同时右手继续上提圆片。3.圆片上提过程中，左手不断沿圆片侧面边缘向右移动，直至圆片完全高过特氟隆片架，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。圆片从单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架中取出1.右手（以右手习惯的人为例）的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，缓慢向上竖直上提圆片。2.当圆片中心线高过专用片架的槽位时，左手的食指、中指和无名指轻轻地托位圆片的侧面边缘，同时右手继续上提圆片。3.圆片上提过程中，左手不断沿圆片侧面边缘向右移动，直至圆片完全高过专用片架，左手的食指、中指和无名指完全托住圆片底部，右手的大拇指、食指和中指捏住圆片边缘的无效区域，圆片呈竖直状态。圆片放入单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架1.右手大拇指，食指，中指捏住其无效区域，轻轻拿起圆片，同时左手拖住圆片下端，圆片呈竖直状态。2.圆片放入专用片架过程中，右手拿住圆片无效区域，左手拖住圆片底面，待即将进入槽内，慢慢移去左手，慢慢的放下右手，待圆片全部进入内槽后方可移开右手。3.注意放入正确槽位，确认没有插错。Cassette显微镜准备1.把显微镜的台面拉到最左下角，等待圆片进入。注：12圆片不可使用带自动手臂的6/8显微镜，只可以使用手动的显微镜。放入SRD1.打开甩干机的门，正确选择特氟隆片架的方向，将特氟隆片架底部的白色凸起对准甩干机内部甩干桶上的凸起装置。2.双手捧起特氟隆片架，拿住特氟隆片架两边底座，慢慢放入甩干桶内。3.关闭甩干机的门，选择正确生产程序开始。1.将入料装置上的锁紧装置解锁，用食指往上拨动卡扣。2.双手将专用片架取下上料装置。3.双手将专用片架装入到专用片架盒装置内。1.将专用片架双手端起放到机台的上料装置上。2.用大拇指向下摁下压紧卡扣，将专用片架锁住。单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架下机台单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架特氟隆片架单片显影机、单片腐蚀机、Scrubber专用片架上机台显微镜恢复1.待圆片取出后，显微镜工作台在最左下角。2.将工作台面移动到设备初始位置。圆片放到显微镜平台上1.双手大拇指、食指、中指分别捏住圆片两边边缘无效区域，保持圆片左右水平。2.双手缓慢靠近显微镜平台，让圆片靠身体外侧的边缘先接触平台。3.双手从左到右缓慢顺着平台高度轻推圆片。4.圆片超过1/4直径区域接触平台后，右手从圆片右侧边缘移动圆片后侧边缘，大拇指、食指、中指捏住圆片边缘；右手离开，左手轻推圆片，使圆片全部放到平台上。从显微镜平台上取圆片1.首先将检查好的圆片移开检查区域，往人身体的左下角方向移动，一直移动到设备的左下角位置。2.然后双手大拇指，食指，中指轻轻扶住圆片，将圆片缓缓移动直到离开测量平台。烘烤显微镜溅射烘烤1.将圆片顺着石英舟底部凹槽正确插入，片子隔槽放置，注意不要插斜。2.将烘箱打开后，双手扶住石英舟后缓缓放入。（见左图的125度烘箱和200度烘箱）3.关上烘箱门，启动计时器，开始计时。固化1.将固化前的片子放到石英舟上，仔细检查，不能插错槽位。2.双手端起石英舟，缓缓放入烘箱。1.打开Descum机台门，双手将阳极板（或者浮动板）拿起。2.取出后放在工作台面上的顶针板上，待四周顶针将其顶起，然后双手拿起圆片边缘无效区域，再将片子放入专用盒子内。注：1.圆片在任一片架中均不可用手拔动圆片使其旋转。2.看片号时，须取出圆片查片，不可在片架中看片号。涂胶烘烤1.打开烘箱门，先把Teflon片架放入烘箱内。2.双手拿住涂好胶的片子并保持水平。3.将其放入烘箱内的片架上。4.关闭烘箱门，开启程序进行烘烤过程。5.等到烘烤完毕后，先在工作台上放上一个Teflon片架，再从烘箱内将片子取出，放到片架盒上，开始冷却。上料1.打开Descum机台门,将顶针板放到工作台面上，阳极板（或者浮动板）放到顶针板上。2.双手从片架盒中取出圆片，轻轻放到阳极板（或者浮动板），注意下方顶针，要将圆片放到顶针上，保证最外侧四个顶针在圆片外。3.双手将阳极板（或者浮动板）拿起，将其插入正确位置.然后用万用表检查其导通性能，使电阻最小，关闭Descum机台门。下料等离子刻蚀