精细线路研究第一阶段之附着力解析度

  致：由：审核一、        Sh：研发组/王：研发组/陈核：前言： 众所周会成为一句合效果。解附着力理方式可分有少数使用综合而利用覆铜板数沟壑，再流动，在此膜相互交错    但是，佳。 解析度（可称为光聚合后无法导线的部分数要求不逊    不过附干膜聚合时henzhe总工强主周知精细线路句空谈！附着解析度主要呈力形成主要受分为两种，物用化学方式处而言我个人更板铜面、铜的再加干膜其本此同时压辘对错的现象，使          超粗化对同度好坏主要会光引发剂的感法分辨俗称为分区域可能出逊色于附着力        附着力与解析时我们出于光深圳市nXunj主题：精细路制作附着力着力主要决定呈现出干膜在聚受覆铜板铜面粗料处理方式与处理，如微蚀更倾向于化学晶格间隙进行身具有在一定干膜施加压力使干膜与铜面           面的咬蚀量控会受聚合时能量感光度）和干膜曝光不良（如出现侧蚀过多。       （图析度两者是紧光源慢反射考虑市迅捷jiexin抄送日期审批细线路研与解析度极为了，覆铜板铜聚合显影后导粗化效果所限与化学处理方、超粗化等。处理方式后者行咬蚀，使铜定条件下流动力，赋予给干的附着力大大        （控制不容忽视量强度的影响膜中环氧树脂如图一）。环氧，干膜导线浮一）       密相连的！看虑将聚合的能兴电路ngCir送：萧副总期：2013-10批：研究第一阶为关键，如果铜面与干膜导线成型质量限制，不同前方式，最为普。 者，就超粗化铜表面的晶格动的性特点，干膜扩散与渗大提升。 （  晶格结构视，通常我们响，其次就是脂的含量与膜氧树脂的含量浮起又称为甩               看起来截然不能量减弱，那路技术有cuitT、张厂、杨0-06阶段之附果没有可靠的（干膜Dryf量。 前处理方式所普遍的为物理化来说，它是格间隙增大，贴膜时干膜渗入铜面晶格构图  ） 们使用称重法是干膜本身性膜层的厚度。量会影响干膜甩膜（如图二           不同两种制程那么聚合后的有限公TechC杨特助着力解析的附着力与解film又称为所产生的粗化理处理方式，是利用金属本原本在显微膜借助于压辘格间隙的能力法来测试，一性能，干膜性光敏感系数膜的显影时间二）。由此可  （图二） 程能力，在很的物质就不够司Co.,Lt析度 解析度支撑，为感光抗蚀层化程度不同，如磨刷、喷本身结构的特微镜下看来平辘的温，完成力，从而形成一般控制在0性能指的是干数与膜层的厚间，一旦出现可见解析度对很多情况下是够充分，进行d.精细线路制层或抗镀层）目前行业内喷砂、火山灰特点（如下图平整的铜面出成了由固态转成覆铜板铜面.4um‐0.8um干膜中光敏感厚度会造成导现显影时间过对设备、物料 是相互影响的行显影时抗碱1 制作只的结前处灰，也图），现无转液态面与干为较感系数导线在过久，料、参的。如碱的能  二、三、    四、五、        超粗设备01234Sh力下降干膜目的： 通过对结论：     精细线50un线宽、③曝光尺更汇报人： 研发组试验过程：1、前处理后超粗化与磨（ 超粗化试验小结：处理后铜面2、SEM只的形式体现粗糙度是指的波谷距离Rz=1.5-3.0下粗化上备面别测1234测试结果Ra(henzhe膜就会出现甩对附着力与解线路制作已现线距制作时更换为41格以组：陈强  后覆铜板铜面磨刷、微蚀的 化 ）      经过前处理面呈现出分布提供了覆铜板现出来这才最指所有取样点离的平均值。R0um、Rt=2.0Ra(u10.220.230.240.250.260.270.280.290.210.220.230.240.250.260.270.280.290.2测试点56789um)测试深圳市nXunj甩膜现象！这解析对研究，现有的超粗化时干膜的厚度以便曝光时能面的粗化效果效果图（如         （ 后的覆铜板铜布均匀凸点与板铜面粗化的最为准确。测试点偏离中心线Rt:在一定长0-4.0um。下um)Rz(2371.2852.22921.42272.2221.92021.92481.721822011.3241.2492.2532.2222.12341.72481.2251.92511.62841.测试910111213试结果Rz(um)市迅捷jiexin是个典型的解掌握精细线路处理方式附着度由40um改能量更加稳定果SEM图（放下）。 磨刷 ）  铜面效果可明凹坑，而且密的视觉效果，试时使用（T的距离的算术长度内，Ra与列是不同前处um)Rt(982.62592.84192.2182.79192.29532.47592.922.23992.9882.522.2242.1192.97792.92.49532.36592.2742.结果141516171测试结果R兴电路ngCir解析度影响了路制作时必备着力可满足生改为15um、②定。 放大3000倍）           明显的看出，密度较大非常还需要使用TR200）型号术平均。Rz与Rt的差值。处理的粗糙度(um)65681226573426545696826596857826589968.542134326489设备磨刷00.511.522.51819Rt(um)路技术有cuitT了附着力。备条件，为精生产基本需求②平行曝光机，由于公司未   （ 喷砂粗化效果最常符合精细线用粗糙度测试号粗糙度仪测：在一定长。）数值，这三度测试结果，123456789123456789面别测试上下12345测试结果Ra(um有限公TechC精细线路制作求，解析度还机的均匀性需未有火山灰前 砂 ）       最好的为化学线路的制作条试仪对铜面粗试，测试后读长度内，选取三组值的范围数据中红色Ra(um10.17420.14430.3140.2250.1660.2470.1880.2590.1710.1820.1930.2540.1950.2360.1570.2580.2190.20试点56789m)测试结司Co.,Lt作铺下坚实的还需要做出以需要提升至标前处理，所以         （学处理方式的条件。 粗化的效果进读取Ra、Rz取五个最高的要求分别为色的为不合格m)Rz(um41.6441.9251.2951.2961.1181.2581.3511.7111.3931.2351.3811.7912.0352.1871.921.9581.2511.42测试结910111213结果Rz(um)d.的基础。 以下改善：①标准要求的9以我只做了喷（ 微蚀 ）的超粗化处理进行测试，以、Rt（Ra：的峰值与五个Ra=0.2-0.4格数据。m)Rt(um41.9021.9592.0062.2242.2651.6691.9581.8792.1082.2582.1861.7112.1172.181.9732.0112.2912.03结果314151617测试结果Rt(2 ①内层90%、喷砂、 理，其数字平均个最低4um、m)133455359178256961718um)  设备喷砂00.511.522.533.5Sh试验小结：3、上述对四但这不能说像工序ME工3.1、超粗化用在内层、1、内层无机备面别测砂上下1234测试结果Ra(henzhe四种处理方四种前处理方说明超粗化处工程师每月都化前处理方式有机酸使用机酸超粗化附Ra(u10.120.230.240.250.260.170.180.290.210.220.330.240.250.160.270.280.290.2测试点5678(um)测试深圳市nXunj方式中超粗化前方式的粗化效处理后，干膜与都需要检测的式附着力测试在外层，故附着力测试：um)Rz(1831.72131.52221.2921.92422.11952.11541.02651.52471.12551.3011.42781.72652.11821.52621.2341.72651.92531.5测试9101112试结果Rz(um)市迅捷jiexin前处理测试的效果与粗糙度与铜面结合效的项目之一‘试，由于超粗我们对超粗化um)Rt(7812.5622.4642.9532.1092.1132.0461.5622.1562.252.4842.7962.1872.5462.82.7242.9452.5662.结果13141516测试结果R兴电路ngCir的粗糙度结果进行了描述效果就会非常‘附着力测试粗化药水有两化的附着力测(um)81242126596857896895351126501918989266658577734343515设备微蚀1718Rt(um)00.511.522.533.5路技术有cuitT果最佳！，结果来看超常完美，这还试’，只有在两种体系，一测试必须分线123456789123456789面别测试上下1234测试结果Ra(um有限公TechC超粗化处理效还需要进行一在此项目测试一种为有机酸线进行：Ra(um10.2720.1330.2440.2550.1660.2670.2080.2390.2410.2320.2430.2040.1950.2760.2570.280.2190.29试点56789m)测试结司Co.,Lt效果与粗化程一次系统性测中突出者才能酸另一种为无m)Rz(um72.2641.56491.6471.9551.9911.8182.0391.87471.5131.59491.3971.9311.7111.6551.791.5971.7021.5测试结91011121结果Rz(um)d.程度均更胜一测试，也就是能称之为完美无机酸，无机m)Rt(um652.5622.1142.78532.96911.8572.70312.79752.952.88932.9592.56372.6582.81562.26962.71932.2032.0353.1结果314151617测试结果Rt(u3 一筹，是光成美。机酸使m)51485685701961845362561264181311718um)  Sh2、外层有机3.2、喷砂前1、喷砂前处henzhe机酸超粗化附前处理方式附处理方式内层深圳市nXunj附着力测试：附着力测试：层附着力测试市迅捷jiexin试兴电路ngCir路技术有cuitT有限公TechC司Co.,Ltd.4   Sh2、喷砂前处3.3、磨刷前1、磨刷前处henzhe处理方式外层前处理方式附处理方式内层深圳市nXunj层附着力测试附着力测试：层附着力测试市迅捷jiexin试试：兴电路ngCir路技术有cuitT有限公TechC司Co.,Ltd.5   Sh2、磨刷前处3.4、微蚀前1、微蚀前处henzhe处理方式外层前处理方式附处理方式内层深圳市nXunj层附着力测试附着力测试：层附着力测试市迅捷jiexin试：试：兴电路ngCir路技术有cuitT有限公TechC司Co.,Ltd.6   Sh2、微蚀前试验小结：前处理可以时最小线路提升。2、附着量的增长变能量增长的4、解析曝光方式主henzhe前处理方式外1、从整个附以制作60un线路附着力可以着力的效果图变化而变化，的幅度较大故析质量、解析主要分为两种深圳市nXunj外层附着力测试附着力测试结线宽线距附着达到40um宽图片来看，超原因为我们所故出现聚合不析度很大程度种散射曝光与平市迅捷jiexin试：结果来看，超着力合格，无宽度（如下图超粗化处理方所使用的21充分、聚合度上取决于曝平行曝光，两兴电路ngCir超粗化前处理无机酸前处理图），以此看方式下覆铜板格曝光能量OK、聚合过曝光能量是否两种的区别主路技术有cuitT理方式可以满理可以制作50看来超粗化的板铜面与干膜量测试尺每隔度三种现象否均匀分布、主要体现于曝有限公TechC满足精细线路0um线宽线距的处理后覆铜膜附着力虽然间的mj差距！曝光的方式曝光时光束与司Co.,Lt路附着力要求距附着力合格铜板铜面与干OK，但线路距较大，所导式是否能满足与板面形成的d.求，