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ZDF-5227ZDF-5210ZDF-5201复合真空计使用说明书V03成都睿宝电子科技有限公司PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089尊敬的客户:首先感谢您的信赖并选择了我公司的真空计产品,我公司是从事研发、生产和销售真空测量仪器的专业制造厂家。是通过并运行ISO9001质量体系的企业。我们希望通过我们的产品能为您带来更大的效益,通过我们的服务能更好地满足您的需求。请在使用我公司产品前仔细先阅读本用户手册。请关注您所使用的那一款真空计的各种文字条款和图片解释,以帮助您更好地使用我公司产品。如果您在使用本公司产品时,还有什么问题或疑虑,请及时和我们联系。再次感谢您的使用!本用户手册为复合真空计ZDF-5227;ZDF-5210;ZDF-520。如实际产品的外观、与本说明书不一致,请以实物为准!售后电话:028-85535103PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089一、综述该系列复合真空计是由一路皮拉尼电阻真空计和一路热阴极电离真空计组合而成采用皮拉尼电阻规管ZJ-52T系列和热阴极电离规管ZJ-27、ZJ-10、ZJ-12系列。热阴极电离规管不同,从而衍生成ZDF-5227、ZDF-5210、ZDF-5201三种型号。该系列复合真空计采用了单片机系统来对测量数据进行非线性处理及误差修正此具有更高的精确度和重复性,响应快,测量稳定可靠,抗干扰能力强等优点,是宽量程真空测量较理想的仪器之一。二、技术指标型号ZDF-5227ZDF-5210ZDF-5201测量范围1×105-1×10-51×105-1×10-41×105-1×10配接规管ZJ-52T①ZJ-27①ZJ-52TZJ-10ZJ-52TZJ-12电气参数阳极极电压:225V阴极电压:25V发射电流:1mA/100μA阳极极电压:165V阴极电压:50V发射电流:500μA/50μA阳极极电压:200V阴极电压:50V发射电流:4mA/400显示方式LED数字显示:科学计数法(1.0E5帕表示1×105帕)零点漂移±5%控制方式4路、6路点控或区域控制控制范围全量程控制测量路数两路测量显示路数两窗口显示模拟输出0-5V和4-20mA(用户选配)通讯输出RS232和RS485(用户选配)输入电源AC/50HZ220V±10%额定功耗50WPDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089三、特点豪华喷塑机箱,欧姆龙轻触开关,绿色或红色高亮LED显示,机箱结构合理,抗振能力强,外型美观大方。采用数字滤波和光电隔离技术,具有较高的测量精度和抗干扰能力。四组或六组控制信号输出,并有指示灯指示。一个独立的控制系统,可以同时测量、控制和显示两路测量信号。采用单片机系统进行非线性补偿和误差修正,并对被测压强进行全程数字显示动换挡,具有多种控制功能输出。前面板电阻测量部分设有“零点”和“满度”电位器能保证仪器在低真空段测量的准确度和调节方便。前面板“查询”可实时查询控制点信息。四、机箱结构及接线方式机箱尺寸我公司该系列真空计设计为标准B型机箱尺寸:前面板图示PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089前面板图示说明序号名称功能显示窗口显示真空计实时测量的真空度功能按键a电离部分设置功能的选位按键,b电离规管工作状态(手动/自动转换)置数按键a电离部分设置功能的数值加减按键(从0到b真空计手动状态时,开关电离规管除气按键对电离规管除气查询按键查询电离部分所设置的控制点手动指示灯当真空计处于手动工作状态时,灯亮电离指示灯电离规管工作时,灯亮除气指示灯电离规管除气时,灯亮控制点指示灯对应控制点动作时,对应指示灯亮电阻指示灯电阻规管工作时,灯亮功能按键电阻部分设置功能的选位按键,置数按键电阻部分设置功能的数值加减按键(从0到9)查询按键查询电阻部分所设置的控制点电源开关开关真空计后面板图示该系列后面板接线请按照图示连接。为能保证仪器的正常工作,请务必正确插接各种电缆,仪器所配线材都为防错设计,错误接法将不能插入,请勿强力插接,避免损接插件。PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089后面板接线说明名称特征说明接线说明电阻规五芯电缆插座与规管的对应关系:{1-1,2-2,3-3,4-4}通讯接口三芯电缆RS232/RS485模拟输出&外控输出三芯电缆1:(0-5V输出)2:接地3:4-20mA输出或外控输出电离规四芯电缆插座与规管的对应关系:{1-7,2-2,3-5,4-4}为ZJ-27规管接线;{1-4,2-5,3-2}为ZJ-10规管接线;{红色插针接加速极,黑色插针接灯丝}为ZJ-12管接线。(详见规管说明书)收集极高频头(玻璃规管)夹子接电离玻璃规的管帽;ZJ-27金属规接第1脚(规管接头引出的金属圈ZJ-10金属规接第7脚(规管接头引出的金属圈ZJ-12金属规接直径的中间脚。(详见规管说明书控制点输出接口两组六位接线端真空计配4组控制点时:(第一组接线端)J1:1常开2中心头3常闭J2:4常开5中心头6常闭(第二组接线端)J3:1常开2中心头3常闭J4:4常开5中心头6常闭真空计配6组控制点时:(第一组接线端)J1:1常开2中心头J2:3常开4中心头J3:5常开6中心头(第二组接线端)J4:1常开2中心头J5:3常开4中心头J6:5常开6中心头电源插座三芯插座标准外控功能由用户自行选配,具体功能见p8(5.6外控功能)。PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089五、操作指南接线:按照“4.5后面板接线说明”把后面板上的所有线连接完整,再把规管安装连接到测试端,经检查无误后,即可开机,强烈建议请将高低真空两只规管装在同一个测量管路或真空室上。开机启动:经检查无误后,即可开机,打开电源按键后,真空计会在显示窗口显示如“A”、一系列的字母,经过10秒延时便可进入测量状态,其显示如:“1.2E3”等测量值无测量信号输入时,对应的窗口将显示“P”。在显示不同字母的同时按下对应窗口下板上的功能(自动/手动)将进入相对应的功能设置菜单:)当仪器显示“A”时:按下对应窗口下的(自动/手动)进入真通讯设置菜单,设置通讯地址,按功能(自动/手动)进行选位,选中位的数码管会闪烁提示,按置数()改变数字,数字将--9”中循环改变(一般初始值为“00”)此系列的真空计需要设置两路通道以便与PC通讯,如“01”、“02”,请不要把两路通道地址设置成一样,否则影响。设置完后再按功能(自动/手动)保存设置并进入下一个菜单。以后不需要再设置)当仪器显示“P”:按下功能(自动/手进入真空计控制点输设置菜单,设置控制输出的阀值,按功能(自动/手动)时,真空计显示“1-”;表示设置第一路控制点的下限功能(自动/手动)PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089;设置完后按功能自动/手动)进入第一路控制点的上限设置,真空计显示“1-”,按照设置“1-”的方法设置好“1-”;再按同样的方法设置完“1、2、3……”路控制点,(具体看“1、2…”控制点的数字出现在哪个窗口则由哪个窗口显示的真空度控制继电器),所有的控制点都设置好后,再按功能(自动/手动)则保存设置并进入正常的测量状态。以后不需要再设置★控制方式分为点控和区域控制两种。点控:设置控制点时,将上下限两组控制值设定相等(如1-的值为1.0E2Pa的值为1.0E2Pa)。当测试真空度高于设定值(真空度的值小于1.0E2Pa)继电器动作,对应的面板上的灯亮;当测试真空度低于设定值(真空度的值大1.0E2Pa)时,继电器还原,对应的面板上的灯灭。区域控制:设置控制点时,将1-和1-,2-和2-,3-和3-,4-和4-……分别设置在一个区域段内,使两组值不相等(注:下限的值小于上限的值,如1-的值为1.0E1Pa1-的值为1.5E1Pa),当测试真空度高于下限设定值时(真空度的值小于1.0E1Pa),继电器动作,对应的面板上的灯亮;当测试真空度低于上限设定值时(度的值大于1.5E1Pa),继电器还原,对应的面板上的灯灭。以上左右两个窗口的功能(自动/手动)、置数(电离开关)两个按键在设置通讯地址和控制点时与功能、置数两个按键作用相同。启动方式:该系列真空计采用全自动工作方式,在真空计正常工作时不需要操作,两个真空规管将自己判断启动与关闭。当真空计为ZDF-5227时,电阻单元测量的真空度高于“1.0E0”Pa时,系统自动启动电离规管工作,电离单元测量的真空度低于“2.0E0”Pa时,系统自动关闭电离PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089当真空计为ZDF-5201时,电阻单元测量的真空度高于“1.0E-1”Pa时,系统自动启动电离规管工作,当电离单元测量的真空度低于“1.1E-1”Pa时,系统自动关闭电离规管,电阻部分一直显示电阻规测量的真空度。★以上几个系列真空计的自动工作方式只是我公司标准仪器配置,如您有特殊要请在订货时说明以便我们更改设计。★一般请不要工作在手动状态下,在手动状态时,电离规的工作,只受置数(电离开的控制,有可能实际真空度没有达到电离规管的测量范围而人为的开启电离规管工短时间多次开关电离规管可能损坏灯丝或减少其使用寿命。除气方式:灯丝加热除气只针对电离规测量部分。当27与10规管测量的真空度高于1.0E-规管测量的真空度高于1.0E-3Pa时,为了使真空测量值更接近真实值,可按下键对电离灯丝除气,当按下除气键时,灯丝加热除气,真空计显示180秒倒计时,三分钟后自动回到测量状态。如果想提前完成除气,可再按下除气键,便可提前回到测量状态电阻规校准:校准方法为:将电阻规暴露在大气,调节仪器前面板对应的“满度”电位器,刚好显示为:“1.0E5”或者“9.9E4”,当高于电阻规的测量范围时,系统显示“1.E;当确定真空度高于1.0E-1时(或当电离部分测量的真空度显示1.0E-1时),节仪器前面板板对应的“零点”电位器,使其刚好显示为:“1.0E-1”或者“1.1E-当低于电阻规的测量范围时,系统显示“1.E-1”;再将电阻规暴露在大气,调节仪器前面板“满度”电位器,使其刚好显示为:“1.0E5”或者“9.9E4”,通常情况下仪器在出厂时已经和对应规管调节好,不需要校准,除非更换新的电阻规管或因为电阻规管使用时间较长、工作环境恶劣等原因引起测量误差过大则需要重新校准。外控功能:外控有以下2种方式,请您根据订货时的要求查阅。★当外控线短接时,关闭电离单元显示和输出,直到外控线断开,重新开始工作正常工作时,外控线不能短接。(标准外控方式)★当外控线短接时,开启电离单元工作,断开外控线则关闭电离单元。正常工作时当确定真空度到达真空规管的测量范围时),外控线需要短接。PDF文件使用pdfFactoryPro试用版本创建使用说明书028-85535089六、故障处理下面列出几种常见的故障及其决定方法:故障1:数码管不亮。解决方法:检查电源线是否连接和数码
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