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©2010SiargoLtd.矽翔微机电系统有限公司中国分公司上海市徐汇区虹漕路39号E座邮编:200233电话:(021)5187.7123电邮:Shanghai@Siargo.com北京市安立路101号名人广场32F邮编:100101电话:(010)5829.6058电邮:Beijing@Siargo.com成都市高朋东路2F邮编:610041电话:(028)8513.9315电邮:Sichuan@Siargo.comSiargoLtd.2041MissionCollegeBlvd,Ste250SantaClara,CA95054USATel:+1(408)969-0368Email:Info@Siargo.com室邮编:510623电话:(020)8523.6341电邮:Guangzhou@Siargo.com在使用本产品前,请仔细阅读说明书,并请妥善保存,以备将来需要使用说明书SIARGOMEMSFLOWSENSORPRODUCTS气体质量流量计MF-系列工业用MF系列气体质量流量计112矽翔MEMS流量产品系列附录:应用说明虽然流量计的应用简明直观,为了更好地选择使用流量计以满足应用要求,仍需注意以下事项。压力和温度流量计测量的是质量流量而与压力和温度无关,但在将质量流量换算成体积流量时,须进行压力和温度修正。在大多数情况下,本产品的零点漂移对测量的影响微小,因而不需要对压力和温度变化额外关注。但在某些极端超出本产品的技术参数温度和压力的情况下,需进行额外的校准。体积流量和质量流量绝大多数气体计量都采用的是容积式的机械流量计。但是,因为不能测量与环境温度和压力相关的气体容积的变化,体积流量在温度或压力变动的情况下往往不能满足测量的要求。MEMS质量流量o计直接计量质量流量,其计量数据总是对应于标准状态下(101.325kPa,20C)的体积,通常表达为3Nm/h(标准立方米/小时),质量流量实际是自动换算成体积流量。不同气体的导热性o流量计精确度取决于校准。校准通常用空气在101.325kPa,20C条件下进行。不同气体具有不同特性,对不同的气体,在空气中校准的流量计有可能达不到产品技术参数表所示的精确度。但是,流量计对大多数气体都具有相似特性,这样,对不同的气体,仅需使用气体转换参数而不需专门校准即可应用MEMS流量计。更多有关信息,请联系厂家获取。范围度量程比是在限定的精确度下流量计能计量的最大流量与最小流量之比。矽翔微机电系统有限公司的流量计采用集成工艺,在高精度下能达到相当大的量程比。而且,MEMS质量流量计的量程比与压力无关,而不像机械式流量计如涡轮流量计的量程比是一个与压力相关的变量。使用须知本产品仅适用于工业和商业环境范围内的气体测量、监测和控制。其他环境内的使用应严格禁止。本产品在清洁气体的环境中使用最佳;不适用于有大量粉尘、油污及多相流的环境中;对于有大量水汽的环境,请事先与厂商联系。在使用或应用本产品时,应严格遵循相应有关的电器安全使用注意事项和规程。在使用或应用本产品时,应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安全注意事项和规程。在使用本产品前请仔细阅读本说明书。如对本说明书有任何疑问,请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明书的客户服务部分。矽翔微机电系统有限公司及其分公司、子公司、办事处及其它附属机构将不为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。1.2.4.5.7.注意事项本产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。在具有爆炸性气体的环境中使用本产品时,产品应安装在具有上下游阀门的管道中,并严防因其它气体的渗入带来的安全隐患。本产品带显示的表头可单方向旋转180度。安装时,应按旋转方向旋转,避免强行旋转带来的产品损坏。管道的连接和检漏应按相应的操作规程进行。在产品使用过程中,或在在线情形下,清洗管道或其他可能引入大量杂质的操作将可能对产品带来损坏。在产品安装过程中,严禁实施在线电焊作业。本产品有一定的自重,安装和搬运应按操作规程进行,以免带来伤害。1.2.4.5.3.6.3.6.使用需知注意事项目录一、概述二、产品分类形式及选型说明三、产品结构与工作原理四、技术指标五、安装说明六、功能说明七、检定八、本安防爆九、维修和故障排除十、运输及储存十一、开箱及检查十二、客户服务及技术支持附录:应用说明目录1133456891010111111212十二、客户服务及技术支持矽翔微机电系统有限公司将竭力保障其产品的质量。若有任何质量问题或需产品的技术支持,请与本公司的客户服务联系。本公司将及时回答您的问题并将竭力保障您的权益。矽翔微机电系统有限公司四川省成都市高朋东路2号2F电话:+86(028)8513-9315传真:+86(028)8512-3382Email:Sichuan@siargo.com需要更多信息请访问以下网址:,十一、开箱及检查开箱时应检查外部包装的完整性,根据装箱单校对箱内物品数量、规格,并应检查其完好性。随机文件有:装箱单,合格证,检定证书,使用说明书,产品质量跟踪卡。十、运输及储存10.1运输流量计及其附件应该装入专门的包装箱中,有防止碰撞、防止振动等保护措施。采用一般交通工具运输,在运输过程中不得剧烈振动、碰撞,避免与腐蚀性物质混存混运,并注意防雨防潮。10.2储存oo应存放于阴凉、通风、干燥无腐蚀性物质的仓库内。存储温度-25C~+80C。若需进一步信息,请直接与厂商联系。故障现象可能原因排除方法1.接线错误1.按照说明书正确接线瞬时流量显示不为0流量计没有显示1.阀门未关严1.检查阀门是否关严2.管道漏气2.检查管道是否漏气2.显示屏故障2.检查显示屏接触是否良好1.传感器损坏2.管道内无气流1.检查传感器故障显示2.无气流无流量记录1.阻塞1.检查过滤器滤网是否阻塞流量记录减少2.传感器被污染2.清洁或更换传感器1.接线错误2.通讯波特率设置不正确3.RS485-RS232转换器工作不正常1.按照说明书正确接线2.正确设定仪表波特率3.确认RS485-RS232转换器正常工作通讯不正常无4~20mA输出1.接线错误1.按照说明书正确接线无脉冲输出1.接线错误1.按照说明书正确接线9.3故障排除MF系列气体质量流量计10一、概述选型方式按照如下规则确定:二、产品分类形式及选型说明MF气体介质(A-空气;N-氮气;O-氧气;R-氩气;C-二氧化碳;H-氢气;其它气体与厂商联系。)输出(A-4~20mA;B-RS485;D-脉冲可选B,AB,BD,ABD);最大工作压力(XXMPa;例:06-)0.6MPa33最大流量(Nm/h;例:450-450Nm/h)防爆(E-防爆型;e-非防爆型)连接方式(N-NPT;B-BSPT;F-GB法兰)规格代号(流量计内径,阿拉伯数字,单位为mm)产品系列代号33最小流量(Nm/h;例:05-0.5Nm/h)八、本安防爆安装使用要求本产品满足和的要求,并取得防爆合格证,其防爆标志为。可使用在爆炸危险场所区、区、区,、,,爆炸性气体环境。流量计使用在爆炸危险场所时,还必须符合下列要求:(1)现场安装、维护必须遵守“有爆炸性气体勿开盖”警告,在开盖前关掉外部电源。现场安装应符合“爆炸性气体环境用电气设备第部分:危险场所电气安装(煤矿除外)”和“爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范”的有关规定。(2)产品外壳设有接地端子,用户在使用产品时应可靠接地。(3)采用外部电源供电时,必须与防爆认证机构认定的关联设备(安全栅)配套,构成本安防爆系统后,方可应用在相应的爆炸危险场所。连接电缆采用屏蔽电缆,屏蔽线在安全区域接地,电缆分布参数控制在以内。(4)配套安全栅应安装在安全区域,必须可靠接地,其安装使用维护必须遵守安全栅使用说明书的有关规定。(5)用户不得自行开盖和随意更换产品内的电气元件。(6)当本产品用在“”区时,向安全栅供电的电源变压器应符合标准节的要求。GB/T3836.1-2000GB/T3836.4-2000ExiaIICT4012IIAIIBIICT1~T4GB/T3836.15-200015GB/T50058-920.01uF/0.5mH0GB/T3836.4-20008.1九、安全、维护及故障排除微机电气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年,开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表。主要技术性能处于国际领先水平,具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点;针对工业环境,融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计;且具有多种信号输出,能通过通讯接口实现网络管理功能;本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性,可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。本系列流量计执行标准为:Q/77453766-1·1-2009。参照执行标准:ISO14511;。本系列流量计生产许可证号:川制00000360号;沪制01150240号。防爆许可证:GYB06443。GB/T20727-2006采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术,传感器的尺寸缩小到了微米量级,使该流量计的灵敏度大大提高。在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比(范围度)大大提高。传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。结合二次仪表的微电脑智能技术,使流量计重复性好,实现了计量准确可靠。技术进步带来的结构简化,使流量计较之传统的机械式仪表,压力损失大幅度减小,极大地降低了能源消耗。采用LCD显示瞬时流量和累计流量,清晰直观,读数方便。产品融合了电磁兼容设计技术,具有更高抗干扰能力。本流量计带有RS485通讯模块,配合上位计算机网络可实现集中管理。可以选配4~20mA标准电流信号输出和脉冲输出。通过国家防爆认证,标志为ExiaIICT4,可用于易燃易爆气体。产品特点产品用于有害气体或爆炸性气体须严格按照产品使用说明的限制。有关产品应用的最新信息,请与厂家联系索取或访问公司网站。强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作,甚至对产品造成毁损。产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验,在高压下使用必须按照产品使用说明的限制,否则会导致泄漏及安全问题。注意:未经厂家许可任意改动或不当使用本产品可能导致不可预见的损坏、人员伤害及其它有害后果。矽翔微机电系统有限公司及其雇员、其附属机构及其雇员对因为不当使用产品造成的不良后果将不负任何责任。9.1安全使用9.2保修产品必须在使用说明书规定的正常工作条件下以正确的方法安装、使用并维护保养。对产品质量问题,从发货之日起计,对OEM产品提供180天免费保修;对非OEM产品提供365天免费保修。所有维修或更换的产品适用同样免费保修期限。矽翔微机电系统有限公司不对安装、分解及替换但不限于安装、分解及替换导致的任何直接及间接损害和损失负任何责任。为避免不必要的纠纷,用户应将其有疑问的产品送还矽翔微机电系统有限公司,由矽翔微机电系统有限公司对问题进行确认后,确定退款、维修或替换。用户承担产品送交矽翔微机电系统有限公司的费用及可能风险,矽翔微机电系统有限公司承担产品送还客户的费用及可能的风险。用户被认为接受此保修条件及其中矽翔微机电系统有限公司的有限责任。只有矽翔微机电系统有限公司才能更改、修订保修条件或决定不执行其条款。注意:下列情况不适用保修条款:1.产品被改变、改装、处于使用说明书规定的但不限于使用说明
本文标题:MF系列工业用气体质量流量计
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