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AUDIT审核APPROVE批准ORIGINATOR编制REVNO.(版本):A1CUSTOMER(客户):品质部ICWORKSTATION(工序名称):铸锭车间巡检PAGE(页):1OF6铸锭车间IPQC巡检版权声明:本文件为受控文件,只限公司铸锭质量部使用,严禁复制翻录铸锭车间IPQC巡检作业指导书作业指导书版权所有:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司DOCNO.(文件编号):SO-P-G-0007一、目的:1.1为多晶铸锭车间的每道工序正确操作提供保障,确保铸锭车间的正常运转,从而保证硅锭的质量。二、范围:2.1本程序适用于江西旭阳雷迪多晶铸锭车间IPQC巡检工作。三、职责:3.1此文件检查内容主要由铸锭车间QC实施;3.2当发现异常或不良现象时,QC应立即按异常处理程序作业,并仔细记录异常情况、参数等相关数据;3.3当不能判定(处理)异常或不良现象时,需及时通知领班或技术员作处理;四、产品规格:4.1材料特性4.1.1生产方式:DSS4.1.2掺杂剂及型号:Boron/P4.1.3氧含量:≤10×1018atoms/cm3碳含量:≤5×1017atoms/cm34.2电学特性4.2.1电阻率:0.5-3ohm/cm4.2.2少子寿命:≥2us4.3几何尺寸DSS450:(845±5mm)×(845±5mm)×(265±30mm)4.4产品外观4.4.1表面裂纹:不允许4.4.2侧面损伤:深度≤2/cm4.4.3缺角:不允许4.4.4表面质量:长晶完整,表面清洁五、工作流程:喷前检查→喷涂检查→烧结检查→装料检查→铸锭检查→晶锭检查六、工作内容6.1喷前检查6.1.1巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次目测隔离次/个电筒隔离次/个强光手电筒隔离/吸层器吸净次/个卷尺、卡尺,做好实际检测数据记录隔离次/2小时测温仪立即改进次/个铸锭车间IPQC巡检作业指导书ORIGINATOR编制AUDIT审核APPROVE批准与原出厂单一致REVNO.(版本):A1CUSTOMER(客户):品质部ICWORKSTATION(工序名称):铸锭车间巡检DOCNO.(文件编号):SO-P-G-0007PAGE(页):2OF6在坩埚喷涂前对坩埚的编号,外包装,尺寸,质量以及室内环境的检验。防震贴显示正常(未发红)无发黄、裂纹、凹坑、沙眼、损坏、气泡与粉尘等23±2℃坩埚外包装防震标志室内温度与原出厂单一致坩埚质量版权所有:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司规格要求设定版权声明:本文件为受控文件,只限公司铸锭质量部使用,严禁复制翻录DOCNO.(文件编号):SO-P-G-0007铸锭车间IPQC巡检作业指导书主要巡检项目坩埚尺寸坩埚编号6.2喷涂检查6.2.1巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次立即改进次/个修理或更换次/个次/个次/个钟表次/个测温仪次/个压力器次/个钟表次/个次/个返工次/个6.2.2逐项检查完后,同时做好数据记录于报《品管部多晶工序检验记录表》上。喷涂完成后涂层检查喷涂过程要求坩埚抬放要求搅拌时间室内环境图片喷涂人员穿戴坩埚加热器喷枪喷射压力喷涂时内壁温度喷涂起止时间主要巡检项目ORIGINATOR编制1:4(三洋粉与纯水配比为1:3.6)硅粉与纯水配比喷枪垂直于喷涂面30-40cm。PAGE(页):3OF6检查喷涂过程中作业员是否按照喷涂作业指导书在操作;立即改进穿好防护服、鞋套、戴好纱布及乳胶手套和防护口罩强光手电筒WORKSTATION(工序名称):铸锭车间巡检REVNO.(版本):A1AUDIT审核APPROVE批准CUSTOMER(客户):品质部IC20~40PSI如实记录于相关记录表上铸锭车间IPQC巡检作业指导书规格要求设定拿放坩埚要小心翼翼,禁止扔、撞等剧烈操作设备完好、运行正常目测以每分钟15勺的速度加入氮化硅粉,加完5分钟后方可喷涂祥见《坩埚喷涂作业指导书》氮化硅涂层是否有裂纹、凸起、剥落等UBE粉:35℃~50℃STARK粉:55℃~100℃三洋粉:40℃~55℃配料搅拌图片版权所有:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司版权声明:本文件为受控文件,只限公司铸锭质量部使用,严禁复制翻录DOCNO.(文件编号):SO-P-G-0007铸锭车间IPQC巡检作业指导书应的不同的温度(左图注意不同粉体是否对否在20~40PSI注意喷枪喷射压力是是否加完所有氮化硅.注意搅拌是否匀速,落的粉末吹掉(左图)注意有无用气枪将脱否用纯水洗掉重新喷涂注意有质量问题是6.3烧结检验6.3.1巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次目测次/个目测次/个温度仪/湿度仪次/2小时钟表次/个目测返工/隔离次/个6.3.3若无任何不良现象,可直接进入下一道工序,逐项检查完后,同时做好数据记录于《品管部多晶工序检验记录表》上6.4装料检验6.4.1检查硅料厂商名称、种类、重量及掺杂剂要求,作业员过程操作以及室内环境.巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次温度仪/湿度仪次/埚目测次/埚目测次/埚天平称/目测次/埚目测次/埚钢直尺次/埚目测次/埚烧结起止时间石墨板装配坩埚抬放及穿戴要求主要巡检项目立即改进规格要求设定由2~4人抬起,侧放在与烘箱配套的推车上。抬放人员戴好乳胶手套,穿好工作服排成2列,坩埚口与口相对空气湿度≤60%)保存时间为≤6小时;实际使用时间如实填写REVNO.(版本):A1APPROVE批准CUSTOMER(客户):品质部ICWORKSTATION(工序名称):铸锭车间巡检PAGE(页):4OF6化硅涂层是否有裂纹、凸起、剥落、或损坏、变形等规格要求设定温度20-30℃湿度≤50%物料厂商名称、种类重量标识清楚母合金称重正确并投入使用戴好手套、口罩、帽子、穿好防尘服装料过程注意防尘、不可接触金属、需轻拿轻放,确保不碰坏涂层坩埚存放要求AUDIT审核标识母合金操作员作业要求版权声明:本文件为受控文件,只限公司铸锭质量部使用,严禁复制翻录版权所有:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司坩埚底部边沿与石墨四边的位置大约在4.5cm~5.0cm位置上。保证护板和坩埚外侧面的距离在1.1mm-1.8mm之间.地上的洒料用袋子封存标识清楚,每次装完料后,及时清理干净装料室洒料处理ORIGINATOR编制主要巡检项目室内环境烧结后质量铸锭车间IPQC巡检作业指导书检查烧结时间、温度、坩埚颜色、表面质量,作业人员操作;坩埚排列作业员穿戴立即改进注意:粉尘,小杂质等是否用吸尘器吸净.(左图)注意:先把粒子状、粉末状或片状的硅料轻轻铺好底部,不要扔、投,避免刮破氮化硅涂层。(左图)6.4.2逐项检查完后,同时做好数据记录于《品管部多晶工序检验记录表》上。6.5铸锭过程巡检6.5.1清炉检查巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次目测立即改进次/埚目测次/埚万用表次/埚目测立即改进次/埚6.5.2装炉检查巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次上岗证立即改进次/埚立即改进次/埚立即改进次/埚修理或更换DOCNO.(文件编号):SO-P-G-0007对炉腔、上下炉体接触面进行吸尘、擦洗干净及油脂涂抹均匀培训合格人员方可操作CUSTOMER(客户):品质部ICWORKSTATION(工序名称):铸锭车间巡检PAGE(页):5OF6主要巡检项目规格要求设定规格要求设定戴好防护眼睛、口罩、纱布手套石墨电极、DS块不可损坏;硅溢流报警熔丝完好大于1000欧姆DOCNO.(文件编号):SO-P-G-0007REVNO.(版本):A1作业员穿戴目测石墨支撑底板四周外边缘相对DSS-Block外边缘凸出102±2mm版权所有:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司硅料的定位叉车操作铸锭车间IPQC巡检作业指导书ORIGINATOR编制AUDIT审核APPROVE批准配件加热电极与隔热笼电阻值铸锭车间IPQC巡检作业指导书版权声明:本文件为受控文件,只限公司铸锭质量部使用,严禁复制翻录主要巡检项目炉腔、炉体清理炉腔内部,DS块洁净无杂物炉腔注意:放入较大块和较小块(如有可能)的混合料以清除空气和气泡;大块料摆放在底层,不要平铺叠在一起,不要直接贴在坩埚壁,边部空出5cm,避免膨胀使坩埚破裂。注意:装料直到距坩埚顶部1-2英寸处时将料从四周向中间堆叠,成土丘状,应特别注意上部避免装粉料或细小块料,尽量放块状料,避免在化料时发生溢流。6.5.3DSS运行检查巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次立即改进次/埚立即改进次/埚目测立即改进次/埚核对参数修理或更换次/埚6.5.4出锭检查巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次上岗证次/炉核对参数次/炉目测次/炉测温仪立即改进次/炉6.5.5晶锭检测巡检仪器/方法异常时之处理巡检频次目测NG次/块目测NG次/块目测NG次/块目测NG次/块SX1934B型数字式四探针测试仪NG次/块6.5.6注意事项:1.进入坩埚喷涂房和装料间一定要戴好一切防护用具,确保员工健康不受伤害2.密切监视现场作业人员操作是否符合作业要求。3.取放晶锭需轻拿轻放,晶锭不能和其他硬质物体相碰,以防损坏晶锭。4.SX1934B型数字式四探针测试仪定期保养.七、相关文件及表单品管:《SX1934B型数字式四探针测试仪作业指导书》《多晶硅锭判定标准》《品管部多晶工序检验记录表》《多晶硅锭检测记录》版权声明:本文件为受控文件,只限公司铸锭质量部使用,严禁复制翻录版权所有:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司标识机器运作主要巡检项目ORIGINATOR编制程序配方记录表单记录表单准确、清楚、完整CUSTOMER(客户):品质部IC规格要求设定按工艺要求使用对应的程序配方DSS运行状态标识及看板及时更新表面质量:长晶完整,表面清洁AUDIT审核APPROVE批准规格要求设定培训合格人员方可操作铸锭车间IPQC巡检作业指导书REVNO.(版本):A1WORKSTATION(工序名称):铸锭车间巡检PAGE(页):6OF6≤300℃目测运行过程设备完好,没有异常报警检测完毕后的仪器必须归回原位,逐项检查完后,同时做好数据记录于《多晶硅锭检测记录》表上。炉内温度晶锭摆放表面损伤:≤30×30×(深)20mm贯穿底部的裂纹≤10cm距离边缘≤2cm型号/电阻率:P/0.5-3.0Ω•cm主要巡检项目外观立即改进电性能缺角:不允许技术:《坩埚喷涂作业指导书》《坩埚烧结作业指导书》《装料作业指导书》《多晶铸锭作业指导书》《坩埚脱模作业指导书》脱模温度≤200℃规格要求设定表面裂纹:不允许摆放在规定区域,晶锭区域划分标识清楚、规范主要巡检项目叉车操作若无任何不良现象,可直接进入下一道工序,逐项检查完后,同时做好数据记录于《品管部多晶工序检验记录表》上
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