真空系统的管道压力降计算

（一）真空区域的划分气体温度T293.15K管道始端压力P16.666Pa低真空105～102Pa气体绝热指数k1.4管道末端压力P26.66Pa中真空102～10-1Pa气体相对分子量M29气体常数R8.314KJ/(Kmol.K)L/d高真空10-1～10-5Pa气体粘度μ1.81E-02mPa.s气体密度ρ7.93E-05kg/m30超高真空10-5Pa管道内径d0.08m管道长度L3m0.05圆孔直径d11cm真空设备容积V100.00L0.1气体流量Wv112.5M3/h气体质量流量WG8.92E-03kg/h0.2(二）流型判断0.4管道中平均压力Pm6.663Pa0.6Pm.d53.304Pa.cm0.8判断FlowTransitionalCLP1（四）抽气速度2(三）流导计算泵名义抽速up31.25L/s4a粘性流动泵抽速效率η0.861圆直长管（L20d）泵有效抽速u25L/s8粘性流动长管流导Cvl1.93E+03cm3/s管道的流导C125L/s102圆孔流导判断直径初选值正确20气体压力比X0.99909991粘性流动圆孔的流导Cvl1071989.268cm3/s（按圆孔面积）（五）抽气时间粘性流动圆孔的流导Cvl68607313.18cm3/s（按管面积）泵名义抽速up31.25L/s3短管流导（L20d）设备开始抽气的压力P1100kPaWG/D粘性流动短管流导Cvl1.93E+03cm3/s经时间t后的抽气压力P260kPa≥360b分子流动修正系数K1＜3601圆直长管（L20d）抽气时间t1.63s分子流动长管流导Cml15810.69933cm3/s（六）压力降计算2圆孔流导气体质量流量WG8.92E-03kg/h分子流动圆孔流导Cml10242.19522cm3/sWG/D1.11E-013短管流导（L20d）摩擦系数f1（查图）修正系数a0.0625管道摩擦系数λ4分子流动短管流导Cml36307.63673cm3/s流体流速u16.22m/sc过渡流动真空管每米管道压力降△p0.077Pa过渡流动流导CT1.40E+05cm3/s管道末端压力P26.44Pa△p/P23.57%判断所选直径正确最终得到的流导C1.40E+05cm3/s查表数据FlowMoleculeFlowTransitionalFlowViscous基准摩擦系数F10.0155管径校正系数CD13.5温度校正系数CT11.5CircleHole10242.195221.40E+051071989.268基准摩擦系数F20.071管径校正系数CD23.2温度校正系数CT21.67CLP15810.699331.40E+051.93E+03CSP36307.636731.40E+051.93E+03CLP15810.69933140046.96431927.5注：1蓝色为需要输入的数据2红色为得到的结果3有批注的地方需特别注意a10.9650.9310.870.7690.690.6250.5720.40.250.1820.1430.1170.0625真空管压力降△p1907.2073827.66E-02SC1Sc2Sc2122AC1AsAs122.0St3Asd3