X射线荧光分析仪构造及原理

X射线荧光光谱仪CONTANTS1.X射线荧光光谱仪的分类2.波长色散型X射线荧光光谱仪3.能量色散型X射线荧光光谱仪用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。分类能量色散型波长色散型1.X射线荧光光谱仪的分类2.波长色散型X射线荧光光谱仪波长色散型X射线荧光光谱仪由X射线源、准直器、分光晶体和检测器、记录装置等部分组成，它们分别起到激发、色散、探测和显示的作用。下图是波长色散型X射线荧光光谱仪结构示意图。2.1X射线激发源由X射线管所发生的一次X射线的连续光谱和特征光谱是X射线荧光分析中常用的激发源。初级X射线的波长应稍短于受激元素的吸收限，使能量最有效地激发分析元素的特征谱线。2.2晶体分光器X射线的分光主要利用晶体的衍射作用，因为晶体质点之间的距离与X射线波长同属一个数量级，可使不同波长的X射线荧光散射，然后选择被测元素的特征X射线荧光进行测定。晶体分光器可分为平面晶体和弯曲晶体分光器。2.3检测器X射线检测器是用来接收X射线，并把它转化为可测量或可观察的量，如可见光、电子脉冲和径迹等，然后通过电子测量装置，对这些量进行测量。X射线荧光光谱仪中常用的检测器有正比计数器、闪烁计数器和半导体计数器。当X射线照射到闪烁晶体上时，闪烁体能瞬间发出可见光。利用光电倍增管可将这种闪烁光转换成电脉冲，再用电子测量装置把它放大和记录下来，即构成了闪烁计数器2.4检测器记录系统有放大器、脉冲高度分析器、记录和显示装置组成。其中脉冲高度分析器的作用是选取一定范围的脉冲幅度，将分析线脉冲从某些干扰线和散射线中分辨出来，以改善分析灵敏度和准确度。3.能量色散型X射线荧光光谱仪能量色散型X射线荧光光谱仪不采用晶体分光系统，而是利用半导体检测器的高分辨率，并配以多道脉冲分析器，直接测量样品试样X射线荧光的能量，使仪器的结构小型化，轻便化。波长色散型能量色散型来自试样的X射线荧光依次被半导体检测器检测，得到一系列幅度和光子能量呈正比的脉冲，经放大器放大后送到多道脉冲幅度分析器。按脉冲幅度的大小分别统计脉冲数，脉冲幅度可以用电子能量来标度，从而得到强度随能量分布的曲线，即能谱图。