激光聚焦光斑的大小

激光聚焦光斑的大小LINOS（德国利诺斯光电有限责任公司）的扫描镜资料说，当激光束质量1/E²=1，其焦斑直径（øspot）由下式计算：øspot=1.83xλxEFL/øbeamøspot:焦斑直径[μm]1.83:切趾的因子λ:波长[μm]EFL:焦距[mm]øbeam:入瞳直径[mm]注意公式单位不同，在公司规格表里取3个进行验算，结果用蓝字写在旁边，原表15/22/39都是取整值。