FOG制程工艺论述

FOG制程工艺简述师少恒深圳柏朗光电有限公司QQ：785302948电话：[phone]摘要：根据ACF材料的组成和连接原理介绍了FOG邦定工艺（包括ACF预贴、预邦定、主邦定和检验）；阐述了FOG邦定工艺的关键控制点：压力控制、温度控制及高温状态下压头的平行度要求；通过图表和数据分析相应的参数控制解决方案。FOG邦定工艺及其关键控制点的研究有利于提高相关工艺制程的合格率。1.0、定义和缩写ACFAnisotropicConductiveFilm异向性导电膜FPCFlexiblePrintedCircuit柔性印刷线路TABTapeAutomatedBonding载带自动邦定ITOIndium-TinOxide氧化铟锡FOGFlexOnGlassFPC热压到玻璃上热压HeatSeal通过加热加压的方式，将柔性印刷线路(FPC)与LCD连接在一起邦定Bonding通过加热加压的方式，将大规模集成电路(LSI)与LCD连接在一起2.0、设备/仪器热压机、拉力测试仪、热电偶测温仪、压力测试仪、金相显微镜3.0、工作程序3.1FPC热压工艺品质标准对位的偏位比例不得大于25%,计算方法按照较小的线路偏出较宽线路的百分比。例如:ITO线宽120um,FPC金手批线宽100um,当FPC金手指超出ITO的偏位量为20um时，偏位比例为:20um/100um=20%3.2ACF的导电金球的爆裂程度1~3个开口为有效导电粒子，每条线路上的有效导电粒子数应达到8个以上，金手指之间不可以出现有压开的粒子连成线的现象。ITO行线上需要尽可能少的ACF粒子压裂现象。压力效果图示如下:3.3FPC热压长度要求:原则上需要达到1mm以上的有效热压宽度。但因为有些产品ITO设计达不到此要求，这种情况在设计FPC时尽量加长热压长度，但需要确保FPC金手指顶端与ITO拐角处保留0.15mm的距离。3.4使用ACF热压的产品拉力测试需达到600gf/cm以上3.5每条线路上的气泡面积不得超过整条线路面积的30%.3.6气泡的直径不得超过0.5mm。3.7ACF长度右左和顶端超出FPC的距离应控制在0.5mm以内。3.8ACF不能有明显的偏斜。4.0、首检及抽检4.1热压首检与抽检定义4.1.1在热压首检、抽检前，必须清楚热压参数:压力，时间a.每班上班时(每台机器)b.每次转机型时c.机器出现故障，调试维修好时4.1.2首检和抽检内容a.检查时间的设定是否与要求的热压参数规格范围内b.测试实际压力.c.使用热电偶测温仪测试热压温度是否符合ACF的温度规格.d.使用水平测试纸测试热压头与压台之间的水平度测试.(首检需要，抽检不需要)e.功能测试，在测架上测试产品功能，对照出字图或标准样板，检查产品显示是否正常f.对位检查，在金相显微镜下观察FPC细手指与ITO线路的对位情况，测量偏位的尺寸.g.在金相显微镜下检查ACF粒子的热压效果.记录线路上的最少有效ACF粒子数.5.0热压参数规格(参考)如下图示：5.1热压参数规格如下表:5.2热压头宽度选用规则a.热压宽度=1.3mm时，选用1.0~1.2mm宽的热压头。b.热压宽度在1.3~1.6mm时，选用1.5mm宽热压头。c.热压宽度1.6mm~2.2mm时，选用1.8~2.0mm宽热压头.d.热压头离玻璃边应保留0.2mm左右的距离，不可以压到玻璃边上e.热压头离IC边至少保留0.5mm以上的距离。6.0生产操作步骤工序参数AC-7106AC-7206ACF选用规则产品类型CSTN/TFTCSTN/TFT实际温度（℃）80土1080土10时间(s)1～21～2ACF贴附压强(Mpa)0.080～0.1500.080～0.180实际温度（℃）185土5185土5时间(s)12～1512～15FOG主压压强(Mpa)0.080～0.1500.100～0.2001-1.开机前应了解上一班设备使用情况。1-2.检查设备进气源气压表，确认压力是否满足要求（4-6Kg/cm2），否则禁止开机，并通知设备人员处理。1-3.检查工作平台上是否有异物或其它物体（阻碍设备部件正常运行），避免发生撞机。1-4.检查平台高度与石英条高度是否水平，方式将LCD放置于平台上沿压头方向轻推感觉阻力，不水平通知设备人员调试。1-5.量产前作业员使用牙医镜对压头洁净度进行检查，确让无脏污表面洁净时才可生产，有脏污时使用棉签蘸取酒精或丙酮进行清洁，作业员禁止使用刀片清洁压头。未能清洁干净时通知设备技术员。2-1.待温度升到与设定温度正负偏差5℃方可进行作业。2-2.确认机器表头温度、压力、时间是否与工艺参数卡要求一致，否则通知工程设备调校。禁止作业员私自更改工艺参数每日对压头水平度进行测试，测试标准如附图生产操作流程FPC拉力测试：图1图2图3图4图5测试值除以FPC的宽度,拉力值需大于或等于0.750Kgf/cm.若拉力值大于0.75Kgf/cm，则可继续生产；若拉力值小于0.75Kgf/cm请通知工程、设备确认并分析处理。更多更新资料欢迎进入我空间了解:部分资料截选图：!app=2&via=QZ.HashRefresh&pos=1344750040下载论坛和方法：!app=2&via=QZ.HashRefresh&pos=1337904383指导书系列：!app=2&via=QZ.HashRefresh&pos=1346571490研发系列：!app=2&via=QZ.HashRefresh&pos=1346571105标准系列：!app=2&via=QZ.HashRefresh&pos=1346571372师少恒资料库部分TP资料图!app=2&via=QZ.HashRefresh&pos=1348888136