CDA系统及管材介

Hookup中CDA用不锈钢管材及管件介紹主讲:谢德华目录一不锈钢简介及分类二管件与阀门三加工工具及工法四澄清及规范五注意事项及常见缺失六过滤器CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA。CDASystem:空气压缩机缓衡储存槽冷却干燥机过滤器CDACDA大宗气体在半导体厂的用途CDA：CDA主要供给FAB内气动设备动力气源及吹净(purge)，LocalScrubber助燃。IA主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净。N2：主要供给部分气动设备气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压力来O2：供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用，供给O3Generator所需之氧气供应及其它制程所需。Ar：供给Sputter制程，离子溅镀热传导介质，Chamber稀释及惰性气体环境。H2：供给炉管设备燃烧造成湿氧环境，POLY制程中做H2BAKE之用，W-PLUG制程中作为WF6之还原反应气体及其它制程所需。He：供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。不锈钢管钢管是一种中空的长条钢材，大量用作输送流体的管道，如石油、天燃气、水、煤气、蒸气等，另外，在抗弯、抗扭强度相同时，重量较轻，所以也广泛用于制造机械零件和工程结构。也常用作生产各种常规武器、枪管、炮弹等。钢管的分类钢管分无缝钢管和焊接钢管（有缝管）两大类。按断面形状又可分为圆管和异形管，广泛应用的是圆形钢管，但也有一些方形、矩形、半圆形、六角形、等边三角形、八角形等异形钢管。不锈钢管材分类不锈钢管依管材等级区分可分为EP、BA&AP,MP管材等级:AP：酸洗管(Annealtreatment&Passivation)MP:機械研磨處理(MechanicalPolish)BA：光輝燒鈍處理(BrightAnnealtreatment)EP：電解研磨處理(ElectroPolish)影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP＞BA＞MPAP一般BULKGAS（GN2、CDA、Ar、H2、O2），其中GN2、CDA选用BA级其余之BULKGAS及APECIALTYGAS皆用EP级之管材，材质为SUS316L，有时，业主亦因成本之考量GN2、CDA如用在PUMP之动力源，会考虑使用SUS304。BA&MPEP&EP製程介紹冷間加工colddraw機械研磨Mechanicalpolish光輝燒炖Brightannealing電解研磨Electropolish高精密洗淨HighPrecisionCleaningBApipeMPEPpipe管件電解研磨ElectropolishEPpipe不锈钢的耐蚀性取决于钢中所含的合金元素。铬是使不锈钢获得耐蚀性的基本元素，当钢中含铬量达到12％左右时，铬与腐蚀介质中的氧作用，在钢表面形成一层很薄的氧化膜（自钝化膜），可阻止钢的基体进一步腐蚀。除铬外，常用的合金元素还有镍、钼、钛、铌、铜、氮等，以满足各种用途对不锈钢组织和性能的要求。不锈钢通常按基体组织分为：①铁素体不锈钢。含铬12％～30％。其耐蚀性、韧性和可焊性随含铬量的增加而提高，耐氯化物应力腐蚀性能优于其他种类不锈钢。②奥氏体不锈钢。含铬大于18％，还含有8％左右的镍及少量钼、钛、氮等元素。综合性能好，可耐多种介质腐蚀。③奥氏体-铁素体双相不锈钢。兼有奥氏体和铁素体不锈钢的优点，并具有超塑性。④马氏体不锈钢。强度高，但塑性和可焊性较差。不銹鋼材中各主要元素之作用說明：碳：在金屬中為硬化元素。錳：能增加金屬硬化能及強度。矽：在於改善鋼材的衝擊抵抗性及延展性，是金屬冶煉中的除氧劑。磷與硫：金屬冶煉中是屬於不純物，如果含量多時會使鋼材延展性降低。鉻：在合金鋼中形成安定、硬化，耐磨損之碳化物，鉻在高溫時亦很安定。鎳：增強鋼材的低溫韌性及延展性，填加鎳元素亦可大大的改善腐蝕抵抗。鉬：主要用途在於改善高溫時的抵抗強度及潛變抵抗和改善鋼材的硬化能。鋁：主要目的在於控制鋼材組織晶粒之大小。氧、氫：燃燒與助然性氣體是金屬冶鍊中不可缺少之燃劑。型号301—延展性好，用于成型产品。也可通过机械加工使其迅速硬化。焊接性好。抗磨性和疲劳强度优于304不锈钢。型号302—耐腐蚀性同304，由于含碳相对要高因而强度更好。型号303—通过添加少量的硫、磷使其较304更易切削加工。型号304—通用型号；即18/8不锈钢。GB牌号为0Cr18Ni9。SUS304L型号309—较之304有更好的耐温性。型号316—继304之后，第二个得到最广泛应用的钢种，主要用于食品工业和外科手术器材，添加钼元素使其获得一种抗腐蚀的特殊结构。由于较之304其具有更好的抗氯化物腐蚀能力因而也作“船用钢”来使用。SS316则通常用于核燃料回收装置。18/10级不锈钢通常也符合这个应用级别。SUS316L型号321—除了因为添加了钛元素降低了材料焊缝锈蚀的风险之外其他性能类似304。400系列—铁素体和马氏体不锈钢型号408—耐热性好，弱抗腐蚀性，11%的Cr，8%的Ni。型号409—最廉价的型号（英美），通常用作汽车排气管，属铁素体不锈钢（铬钢）。型号410—马氏体（高强度铬钢），耐磨性好，抗腐蚀性较差。型号416—添加了硫改善了材料的加工性能。型号420—“刃具级”马氏体钢，类似布氏高铬钢这种最早的不锈钢。也用于外科手术刀具，可以做的非常光亮。型号430—铁素体不锈钢，装饰用，例如用于汽车饰品。良好的成型性，但耐温性和抗腐蚀性要差。型号440—高强度刃具钢，含碳稍高，经过适当的热处理后可以获得较高屈服强度，硬度可以达到58HRC，属于最硬的不锈钢之列。最常见的应用例子就是“剃须刀片”。常用型号有三种：440A、440B、440C，另外还有440F（易加工型）。500系列—耐热铬合金钢。600系列—马氏体沉淀硬化不锈钢。型号630—最常用的沉淀硬化不锈钢型号，通常也叫17-4；17%Cr，4%Ni。SUS304（18Cr-8Ni）材料特性作为一种用途广泛的钢，具有良好的耐蚀性，耐热性，低温强度和机械特性。冲压、弯曲等热加工性好，无热处理硬化现象（无磁性，使用温度-196℃~800℃）SUS304L（18Cr-8Ni低碳）材料特性作为低C的304钢，在一般状态下，其耐蚀性与304钢相似，但在焊接后或者消除应力后，其抗晶界腐蚀能力优秀。在未进行热处理的情况下，亦能保持良好的耐蚀性，一般在400以下使用（无磁性，使用温度-196℃~800℃）不锈钢检测合金分析仪（专业）工作原理：采用X射线荧光（XRF）技术进行多元素分析分析元素：TiVCrMnFeCoNiCuZnZrNbMoAgPdSnHfTaWRePbBiSeSb应用范围：各种高低合金钢、不锈钢、工具钢、铬/钼钢、镍合金、钴合金、镍/钴耐热合金、钛合金、铜合金、青铜、锌合金、钨合金等；可通过对其它合金元素的测定，实现对铝、镁轻合金的牌号鉴定。不锈钢检测不锈钢化学成份检测药水（适用）不锈钢检测药水实际是检测不锈钢内的镍和钼的含量,通过药水中的化学物质跟不锈钢中的镍和钼反应生成特定颜色的络合物,从而得知不锈钢的内镍和钼的大概含量.比如304的药水,当被测的不锈钢内的镍大于8%时,就会显示颜色,但因为316,310等材质的不锈钢的镍含量也大于8%,所以如果用304的药水检测310,316的不锈钢也会显示颜色,所以如果想在304.310.316里分辨,还要再用相应的药水,另外,不锈钢现场检测药水只能检测不锈钢内的镍和钼的含量,而不能检测出不锈钢中其它的化学成分的含量,比如铬,所以如果想了解不锈钢中的各个化学成分的精确数据,还得送到专业的检测化验室检测!!!将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明该不锈钢中含镍量小于7%使用方法例：一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸铜等TUPE和PIPE的主要区别Tube管管壁较薄、一般采用管子外径称呼、以英寸（inch）作为计量单位，目前来说，常用的管径为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”等等，这是一种实际尺寸，可以直接由英寸和公制毫米换算，即1/4”=6.35mm；但是作为Pipe管管壁较厚，一般会采用日制的A系列作为管径表示方式，多少A只是一个系列的等级，不表示实际的内径或外径，如15A、50A和100A等等；外径就分别为21.3mm、60.3mm和114mm，所以不可以直接对应换算。不锈钢管件与阀门一：所有管件按长短分有长径和短径：1、长径一般用于自动焊。2、短径一般用于手动焊.（长径也可以用手动焊，但短径不可以用来自动焊）。二：所有管件按接口方式可分为卡套式、焊接式、丝口式：1、卡套式一般用于小管径，（1/8”~~1/2”)2、焊接式一般用于中大管径（1/2”~~12”)3、丝口式一般用于中管径（1/2”~~2”)卡套式管件阀门的分类不锈钢的施工二：主要连接的方式1：焊接式2：卡套式3：丝口式一:施工机具介绍施工机具焊接式先拆卸一端封套，并连接氩气。拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。焊接式连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。焊接式开始点焊及全接口式的焊接。焊接注意事项1.电源a.使用前确认电压b.使用220V的场合要确认结线。c.接地线要用熔接机单独使用者。2.氩气氩气纯度达99.999以上才予使用。原则上使用液化氩气。熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。3.钨Tungsten研磨时不能偏颇。产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研磨时使用研磨专用机。若使用SUS304时，如为卡套接管则厚度需为SCH10S以上CDA潔淨管路材料規範一.管材、管件、閥件規格：1.CDA管材、管件材質為SUS304LAPS管內焊道需經清潔、脫脂＆洗淨及包裝，5S無縫(自動焊)。1.1材質基準SUS304L，JISG3459/ASTMA312GR，規範要求較嚴格者以規範為主。1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。1.3PARTICLE測定：≦5PCS/FT3大於(等於)0.3μｍ(10MIN)。1.4油份測定：MAX0.1㎎/FT2(禁油處理)1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形)1.6標記(MARK)：請註明如何標記。1.7尺寸：JISASIZE。1.8環境：無塵室包裝環境。1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。2.CDA閥件材質為SUS304LPTFEGASKET，三片式球塞閥，200A以下(含200A)使用對焊2.1操作壓力：0~10㎏/㎝2。2.2PARTICLE測定：≦5PCS/FT3大於(等於)0.3μｍ(10MIN)。2.3油份測定：MAX0.1㎎/FT2(禁油處理)2.4包裝：請註明如何包裝(防止管材變形)2.5標記(MARK)：請註明如何標記。2.6環境：無塵室包裝環境。3.廠牌：KUTZ、OHNO、HABONIM、IHARA。使用BallValve(禁油處理、進口品)。二.管材、管件、閥件均必須提供產地證明文件。1.VALVEOUTLETPURGEPORT一律為SWAGELOK型式含PLUG及GASKET。2.管線焊接前需檢測管內的含氧及水分以確保焊接品質，設備由承攬商自備。3.有關材料之檢驗費用一律由承攬商負責，業主不再另行支付相關費用。4.焊工需有合格之的證照。5.CDA管材(Pipe+Fitting)規格管徑PIPE100A以下原素材KOBE、SUMIKINSeamless(無縫)ColdDraw外表加工霧面,酸洗管內加工酸洗+脫脂+鈍化+精密洗淨Ra0.4μm,Rmax5μm(cutoff=0.25mm,length=1.25mm)供應商:KUZE、大甲、強新6.檢驗方式：檢查項目檢查