ESD静电防护基础知识

【对策基准】静电胶皮（接地）静电手腕部品取出（在ＥＰＡ内实施）静电箱纸箱静电胶皮桌子铜线等基板的拿取、修理（在ＥＰＡ内实施）・从事基板单组组装的作业员→穿静电服。・直接用手接触基板单组,电气部品的作业者、管理者→佩带静电手腕。＊由于作业性原因，无法佩带静电手腕的情况下、地板要铺静电胶皮＋穿静电鞋・直接用手触摸基板单组,电气部品的作业场所→桌子、棚架要铺静电胶皮、然后在上面进行作业。＊(ＥＳＤＰｒｏｔｅｃｔｅｄＡｒｅａ）的简写。地板静电鞋●什么是EPA？静电服３．静电防护基础知识【对策例１】【接地】要导通到地下（GND）。走动产生静电地板与鞋放电破没有采取任何静电对策的作业员ＮＧ！接触基板【破坏要因１】●人体带电造成静电破坏地板与鞋子摩擦而使人体带电触摸基板产生放电、部品被破坏人体所携带的静电与基板接触而发生放电、使部品被破坏。人体的静电产生放电・穿静电服・穿静电鞋・穿静电服・佩带静电手腕ＯＫ！静电手腕静电胶皮静电服接地【对策－１】●拿取基板时は･･･静电服ＯＫ！接地静电鞋静电胶皮【对策①】【对策②】根据各工位的作业情况选择采取以下对策①或者②来实施。对策基本形佩带静电手腕作业较困难的情况下的对策桌子铺好静电胶皮接地地板铺好经典胶皮接地穿静电鞋接地接地静电服桌子铺静电胶皮接地接地佩带静电手腕静电服静电手腕固定用的铜线【对策－２】●部品开捆时･･･ＯＫ！ＯＫ！根据各工位的作业选择采取以下对策①或②来实施。【对策①】对策基本形【对策②】佩带静电手腕作业较困难的情况下的对《静电对策不充分事例》＊人体→向基板放电ＮＧ！静电服静电鞋静电胶皮＊虽然穿着静电鞋、静电服、但因为没有接地人体就会带电、接触基板后产生放电。＊基板→向人体放电ＮＧ！静电胶皮静电服静电鞋托盘与台车＊因为托盘与台车带电故向人体放电只有基板（部品）接地。只有人体接地只对人体或基板进行对策，也有破坏部品的可能性。【破坏要因2，3】不要触摸箱子内部●将箱子放置于静电胶皮上、穿好静电鞋站在静电胶皮上以后才可以开始接触基板。ＯＫ！●将箱子放置于静电胶皮上、佩带好静电手腕后可以开始触摸基板。ＯＫ！人体、部品都接地之后触摸部品可以。【对策－１】●直接触摸基板（部品）时、人体、基板（部品）双方接地之后再接触部品。如果没有接地不要直接触摸基板（部品）【破坏要因2，3】２、绝缘体（容易产生静电的材料）附近有部品带电。如果与人体及其它导体相接触会发生放电而破坏部品。由于静电诱导产生间接带电产生大量的静电放置在附近的塑料袋３、部品间的摩擦、或者部品与其它绝缘体的摩擦而造成带电。塑料袋或劣化的静电由于摩擦发生静电（搬运等）由于部品间的摩擦造成半导体直接带电由于放电造成部品被破坏放电造成如果与人体或其它导体接触会发生放电破坏部品。部品靠近绝缘体（易发生静电的材料）或部品间摩擦产生带电＊手插作业的情况下发泡材及塑料包装的部品作业员要专任化（半导体不能手插）发泡材料包装确保旁边的作业员接触不到的距离确保旁边的作业员接触不到的距离【对策】・捆包材使用发泡材或塑料的部品，手插作业员要专任化（集中化）。・以上作业员不能插半导体部品。・与旁边的半导体部品相距15㎝以上。半导体非手插【对策－１】附近有绝缘物的情况下、距离太近！×【对策－２】作业员专任化。　【对策－２】绝缘物在附近的情况下、【对策－３】●要除电。产生静电气用有密封（遮蔽）效果的物体将半导体覆盖。不受静电气影响ＯＫ！塑料袋有密封效果的袋子＊与塑料组装作业的情况①组装前要用静电吹风箱除电。②除电后、组装基板。③完成。＊不能边组装基板边除电。手持除电【其他对策１】●变更为非带电的材料。・部品放置在接地的场所。电木板・不使用塑料袋、劣化的静电袋。塑料袋或劣化的静电袋【其它对策２】＊修理基板的情况下不良内容贴纸胶带被直接贴到半导体上揭胶带时，发生静电不良内容贴纸不能直接贴到半导体贴在半导体以外ＯＫ！ＮＧ！【静电胶皮的接地方法】通过铆接固定点接地电线固定在金属板上的方插入通过夹子固定电线来接地ＯＫ！ＯＫ！ＮＧ！静电胶皮的直列接续导体铺好、上面铺好静电胶皮与其接触。（静电胶皮表面不能打蜡）铜线或钢线ＯＫ！ＮＧ！利用金属板与地板接地（电阻值较低放电）ＮＧ！中间加入高电阻也无效果【从纸箱中取出的拿取方法】纸箱本身可以导电。必须放置在接地的场所除电之后････接触部品。（作业员佩带静电手腕、或静电鞋＋静电地板）●拿取方法与静电箱拿取方法相同。【静电手腕的使用方法、接地方法】牢固地佩带在手腕上没有牢固地佩带（被拉长）与接地的金属连接铜线等桌子ＮＧ！与导电箱连接连接静电胶皮ＯＫ！ＮＧ！ＯＫ！ＮＧ！【台車接地方法】铺静电胶皮铺静电胶皮导电滚轮（组装2箇场所以上）将静电胶皮加工后接地『静电胶皮加工后接地方法』『接地方法①』『接地方法②』准备一个圆筒形的重物（金属棒等）用静电胶皮（绿侧）包裹长度100～150㎜左右固定（防止重物落下）使其能够在地板静电胶皮上滚动上部组装到台车上＊地板如果不铺静电胶皮、或者不是静电地板的话，就根本没意义请注意。＊因为用锁无效果，ＮＧ！静电胶皮与静电胶皮与【棚架、桌子的接地方法】＊手触摸不到的狭窄的地方(看不见的地注意不要过于拉扯避免脱落。接地【接続方法②】从静电胶皮直接接地【接続方法①】使用有固定夹子的电线来接续＊移动棚架、台车与手能触摸到的场所【接地点的管理方法】『接地接续点管理』・对工程进行静电对策时、基础接地点处贴上示标签、定期测试确认接地是否连接地点的入口处配电盘贴接地标签进行管理.【静電測定、導電胶皮測定】●導電胶皮电阻值测定漏洩电阻計或绝缘电阻计（５００V/１０００接地接地●测定导电胶皮所用电极（有的电阻计附带有、如果没有可作成）・（重）２.５±０.５㎏・（直径）φ６０～７５・（材質）鉄、钢、銅、真鍮等＊要进行电镀处理防止生锈导电胶皮『电阻值规格}１０００MΩ（１×１０９）～７５０KΩ『注意事項』测试电阻值１×１０８、或者１×１０８以上的情况下，要接地再确认、避【注意】由于绝缘电阻计在使用时会印加较高电压、所以使用时请确认导电胶皮上不要放置基板、部品等，在没有任何东西的状态下才能测●表面电位（静电）测定①●人体接地所使用●测定器接地使用＊使用时必须确保测定器、或者人体中的一方必须接地以后才能测●表面電位（静電気）測定②『注意事項』测定绝缘物表面电位时、不能放在接地场所进行测定。在接地场所测定表面电位的话会变低、已被除电･･･抬起来测定的话表面电位会变高。（可看出没被除电。）＊要注意绝缘体本身没被除电。磨损后的目视检查胶片（或者绝缘物）提起来测定的话･･･表面电位为0（可看出来･･･）带电（表面電位为４００V）基本来讲绝缘物禁止进入EPA区域内。【静电吹风器使用方法、管理方法】＊如果长期使用的话、电极部分会堆积很多灰尘，性能会低下。请参考仪器的使用说明书进行定期点检。因为性能低下、所以有必要定期点检『使用方法』・部品单品状态下（组装前手持）进行除电。・表面电位计效果确认。●是否变为0电位『管理方法』【棉手套、指套的评价方法】＊对将要使用的棉手套、或者指套戴好后、测定其漏洩电阻。【使用漏洩电阻计】印加電圧１００V以下。（因为对人体有影响、不要印加过高电压、不要使用绝缘电阻计）戴好棉手套、指套以后再触摸端子。戴好棉手套（或者指套）之后再触摸电极。『評価方法』ＯＫ！看不见的地由于绝缘电阻计在使用时会印加较高电压、所以使用时请确认导电胶皮上不要放置基板、部品等，在没有任何东西的状态下才能测