镀膜行业产品应用技术交流XXXX

DivisionA16%24%DivisionC37%英福康中国维修经理-于录英福康英福康产品应用---镀膜行业*膜厚仪*残余气体分析仪*真空测量及连接件*压强控制仪*检漏仪产品应用---膜厚仪*晶体膜厚控制仪*光学膜厚控制仪*晶体膜厚监测仪晶体测量原理石英晶体的频率飘移与附加上的质量的关系：附加上的质量增加，振荡频率降低质量=密度X面积X厚度晶体膜厚控制仪CYGNUS主要用于OLED及光学镀膜IC/6当前市场最高端的晶体膜厚控制仪晶体膜厚控制仪•XTC/3M、XTC/3S中端产品•SQC310C、SQC310低端高性价比产品RQCM:ResearchMicrobalance可三通道测量频率测量范围:3.8to6MHzor5.1-10MHz质量分辨率:0.4ng/cm2石英晶体微天平•电化学工作站–测量反应速度•生物、生命科学–DNAandRNA反应检测–病毒检测–蛋白质、细胞等粘附检测–表面生物–生物膜•表面科学•超净间污染检测石英晶体微天平应用1晶体膜厚监测仪SQM160监测膜厚与速度，可控制挡板Q-Pod通过软件监测膜厚与速度1晶体膜厚控制仪SQM242、IQM233插板式膜厚控制仪，需要软件及PC机EIES技术镀膜材料穿过探头测量–无晶振片-使用寿命长可同时测量控制8中材料工作压力:5x10-4Torr光学膜厚控制仪Guardian•蒸发材料流进入传感器•热灯丝发射电子与材料碰撞•碰撞提高了材料的电子的能量状态•电子恢复低能量状态发射一定波长的光谱•波长与蒸发材料有关•发射强度与镀膜速度成正比•仅工作于原子状态或部分分子状态电子束到光学检测系统蒸发气流EIES技术Guardian光学测量原理原子状态蒸镀的材料（如大多数金属）系统•MBE•连续镀膜线•卷绕镀膜机SolarPanelsMetallizationMBEsystemGuardian应用微型步进电机直接驱动160oz-in.扭矩20种速度选择可通过面板,PC,orI/O控制可控8位坩埚CI-100坩埚转位器产品应用---镀膜行业你是否有下面这样的问题：1）真空抽不上，又找不到漏点2）工作参数不变，出来的产品品质却变差了3）研究出一个工艺，实际应用却重复性不合格你是否有下面这样的问题：1）真空抽不上，又找不到漏点2）工作参数不变，出来的产品品质却变差了3）研究出一个工艺，实际应用却重复性不合格产品应用---镀膜行业你需要一台RGA你需要一台RGA什么是RGA？-*ResidualGasAnalyzer-*残余气体分析器-*一种用来确定残余气体成分和数量的仪器什么是RGA？RGA应用(主要用途)•*检漏•*真空设备本底状况鉴定•*在线工艺气体监测分析RGA应用(主要用途)•*检漏•-真空系统泄漏(内漏,外漏)•-可设置报警点,实现报警功能•-可用任何气体RGA应用(主要用途)•真空系统本底状态鉴定•在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值•真空系统污染监测和控制RGA应用(主要用途)•*真空工艺监控•-在线监控:实时反映工艺异常或偏差•*镀膜工艺研究开发•各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响RGA应用实例1–正常真空系统本底谱图RGA应用实例2–酒精和丙酮残余RGA应用实例3–真空系统泄漏RGA应用实例4–某客户新镀膜机调试•抽气一小时真空不能达标,怀疑有漏,用氦质谱检漏,无结果.•用RGA探测发现:水汽分量高,系统内水管内漏.•处理后继续抽气并烘烤.•抽气八小时后,真空达标,水汽亦下降.但发现有油蒸汽污染.RGA应用系统抽气一小时水蒸汽谱峰系统总压强2.0X10-5Torr三种单位可选各种气体分量趋势图质谱图任意选择多种被测气体0~100AMU全量程扫描(在0~100之间可选任意范围)RGA应用系统抽气八小时水蒸汽谱峰系统总压强5.86X10-6Torr三种单位可选各种气体分量趋势图质谱图任意选择多种被测气体当前运行的工艺菜单水蒸汽分压强下降至7.2X10-10Torr重的碳氢化合物污染推荐型号---MPH产品应用---镀膜行业*真空计*连接件*压强控制仪镀膜机原理图前级规管：皮拉尼规(PSG500)•测量范围：5x10-2Pa----1x10+5Pa•精度：1x10-1pa---1x10+4Pa±15%•信号输出：对数0-10VP=101.286(U-C)前级规管：皮拉尼规(PSG500)高真空规：冷电离-皮拉尼复合规复合规型号：MPG400（潘宁规+皮拉尼）3•复合规(MPG400）•测量范围：5x10-7Pa----1x10+5Pa•精度：1x10-6pa---1x10+5Pa±30%读值•信号输出：对数0-10V真空规管真空规管真空规在镀膜机上的其它应用•真空锁：复合规PCG550)•真空开关：压力开关（VSA150）VCC500压强控制仪VCC500压强控制仪•两种工作方式•1压强控制方式•----控制真空系统压力稳定在设定的压强附近•----控制精度5%•----两种工作及连接方式（控制气体注入量，控制泵有效抽速）•----需连接测量规管•2流量调节方式•----通过控制膜片开关位置间接控制流量，不能直接测量流量•----出厂设定是：压差1个标准气压，室温，空气。控制阀VDM005-X控制阀VDE016-X真空连接件检漏仪检漏仪应用检漏仪应用粗抽泵检漏仪校准的测试漏孔21检漏仪