菘启技术资料001

菘啟工業有限公司THERMOWAYINDUSTRIALCO.,LTD.提升服務品質滿足客戶需求保障服務優勢確保客戶權益公司簡介公司簡介„菘啟主要從事熱電偶(Thermocouple)&熱電阻(ResistanceTemperatureDetector)之製造、組成與生產、校正以及進口溫度控制儀器和相關零件等之銷售販賣。„通過,„BSENISO9002:1994認證„ISO/IECGuide25溫度實驗室認證„BSENISO9002:2000認證„ISO/IEC17025溫度實驗室認證公司簡介-工廠組裝公司簡介-無塵室公司簡介-溫度實驗室公司簡介-機械加工公司簡介-耐壓測試公司簡介-合作夥伴產品介紹產品介紹-熱電偶樣品一產品介紹-熱電偶樣品二產品介紹-熱電偶樣品三產品介紹-熱電阻樣品產品介紹-金屬保護管樣品產品介紹-非金屬保護管樣品產品介紹-快速及活動接頭樣品產品介紹-導線及附件樣品產品介紹-儀器樣品產品介紹-傳送器樣品菘啟工業技術部熱電偶熱電偶„熱電偶適用於量測溫度,基準接点T1測温接点T2＋脚－脚導体A導体B熱電流温度T1T22個接點間,如果二端的溫度不同,則回路間會有電流(熱電流)流動。(Seebeck效應)熱電偶測溫原理:是因為測温接点和基準接点因溫差而產生信號所以又稱為“温度差計”。熱電偶的迴路一熱起電力(emf）的發生測温接点T2基準接点T1熱電偶產生熱起電力的大小,是由:(1)組合金屬的材質種類(2)兩接點間T1,T2的溫度來決定熱電偶的迴路二兩種不同材質的金屬導體構成熱電偶溫度感測元件接點金屬A金屬B熱電偶量測一熱電偶檢流計指示值0熱電偶量測二尖端加熱指示值+熱電偶量測三尖端接點稱為測溫接點或溫接點末端加熱指示值–末端接點又稱基準接點熱電偶量測四指示值不變中間加熱熱電偶量測五熱電偶之量測:(1)沒有溫差可是儀錶顯示26℃(溫度補償)(2)儀表之讀出值為:基準接點之溫度加上熱電偶輸出值熱電偶量測六溫度T0溫度梯度溫度T1沒有熱起電力發生ET1-To熱起電力=ET1-T0溫度熱電偶的感溫部:有溫度變化的部分才會有信號產生熱電偶的感溫部連接熱電偶和計測器間的信號之連接線稱為補償導線或延伸線。補償導線:在使用温度範圍,其熱起電力和熱電偶有同等的熱起電力特性。計測器熱電偶補償導線補償導線・延伸線ExtensionType・熱電偶相同材質・使用温度範圍廣精度高・價格較貴・補償導線CompensatingType・和熱電偶不同材質・價格便宜・使用温度範圍受限制・選擇其温度範囲、材質和Extensiontype同程度的精度補償導線的構成材料分類・PVC被覆使用温度範囲：-20～+90℃・玻璃纖維被覆使用温度範囲：室溫～+270℃(日規)-73℃～+482℃(美規)・Teflon被覆使用温度範囲：-25～+260℃・Kapton被覆使用温度範囲：-267～+316℃・CeramicFibber被覆使用温度範囲：-17～+1200℃補償導線的被覆定点法定点法熱電偶的溫度校正為:利用定點囊和熱電偶做温度定点比對的方法比較法係利用電氣爐或恆溫槽等設備、設定任一溫度點、用標準温度計和被校正熱電偶一起比對恆溫槽的正確温度係利用標準熱電偶求出、同時測定被校正熱電偶的熱電力誤差的方法熱電偶校正方法定點爐氷点式基準接点數位電圧計被校正熱電偶最高精度校正法熱電偶校正方法(定點法)１０６４．１８金凝固點９６１．７８銀凝固點６６０．３２３鋁凝固點２３１．９２８錫凝固點９９．９７４水的沸点０．０１水的三重點０氷点-１９５．７９８氮沸點温度値（℃）定點溫度定點(例)標準熱電偶補償導線恒温槽數位電圧計偏差法(標準及被校正熱電偶的種類需相同)熱電偶校正方法(比較法)基準接点（０℃）被校正熱電偶標準熱電偶補償導線基準接点（０℃）Digital電壓錶熱電偶校正方法(比較法)切替法SPECIALSTANDARD±0.5%±1.7℃or±0.5%±2.2℃or±0.75%±1.7℃or±0.5%±2.2℃or±0.75%±1℃or±0.75%±0.6℃or±0.1%±1.1℃or±0.4%±1℃or±0.4%±1.1℃or±0.4%±0.5℃or±0.4%870to17000to14500to12500to9000to7500to350BRSKEJTTOLERANCETemperatureRange℃TYPEISA-MC96.1-1982熱電偶的種類及容許誤差一熱電偶的種類及容許誤差二--_±2.2℃or±2%±1.7℃or±1%±1℃or±1.5%cryogenic‒200to0‒200to0‒200to0KET±0.375%(PremiumGrade)±0.75%(StandardGrade)±1%0to1300400to2300PLIIC±1.5℃or±0.4%±2.5℃or±0.75%‒40to1250NSPECIALSTANDARDTOLERANCETemperatureRange℃TYPEISA-MC96.1-1982(PLII&CType非上述標準)容許差之分類種類Class1Class2Class3溫度範圍容許差------600℃以上1700℃未滿±0.0025∣t∣0℃以上600℃未滿±1.5℃RS600℃以上1600℃未滿±0.0025∣t∣-40℃以上+333℃未滿±2.5℃B333℃以上1200℃未滿±0.0075∣t∣---600℃以上800℃未滿±4℃800℃以上1700℃未滿±0.0025∣t∣溫度範圍容許差溫度範圍容許差-167℃以上+40℃未滿±2.5℃0℃以上1100℃未滿±1℃-200℃以上-167℃未滿±0.015∣t∣溫度範圍容許差N溫度範圍容許差-40℃以上+375℃未滿±1.5℃375℃以上1000未滿±0.004∣t∣溫度範圍容許差JIS規格熱電偶的種類及容許誤差一JISC1602-1995Class1Class2Class3溫度範圍容許差-40℃以上+375℃未滿±1.5℃-40℃以上+333℃未滿±2.5℃-167℃以上+40℃未滿±2.5℃溫度範圍容許差375℃以上+1000℃未滿±0.004∣t∣333℃以上1200℃未滿±0.0075∣t∣-200℃以上-167℃未滿±0.015∣t∣溫度範圍容許差-40℃以上+375℃未滿±1.5℃-40℃以上+333℃未滿±2.5℃333℃以上900℃未滿±0.0075∣t∣-40℃以上+333℃未滿±2.5℃J333℃以上750℃未滿±0.0075∣t∣-40℃以上+133℃未滿±1℃E133℃以上350℃未滿±0.0075∣t∣375℃以上+800℃未滿±0.004∣t∣-167℃以上+40℃未滿±2.5℃-200℃以上-167℃未滿±0.015∣t∣---溫度範圍容許差---溫度範圍容許差-67℃以上+40℃未滿±1℃-40℃以上+375℃未滿±1.5℃375℃以上+750℃未滿±0.004∣t∣-200℃以上-67℃未滿±0.015∣t∣溫度範圍容許差T溫度範圍容許差-40℃以上+125℃未滿±0.5℃125℃以上350℃未滿±0.004∣t∣溫度範圍容許差KJIS規格熱電偶的種類及容許誤差二BRSNKEJT0.32---------------------6.170.501.751.471.43---------------0.65---------3.942.953.561.701.501.00---------1.661.251.500.720.631.60---------0.650.490.590.280.252.30---------0.310.240.280.14---3.20---------0.160.120.150.07---JISC1602-1995註:Ω/mpat0℃熱電偶電阻值16.859.484.213.412.702.061.520.670.17(–)15.708.833.933.182.511.921.410.630.16(+)S16.859.484.213.412.702.061.520.670.17(–)15.398.663.853.122.461.891.380.620.15(+)R16.149.084.043.272.581.981.450.650.16(–)13.827.783.462.802.211.691.240.550.14(+)B1.000.750.500.450.400.350.30.20.1TypeBRS白金線重量一欄表g/mJohnsonMatthey資料0.130.230.130.240.220.231.000.200.260.350.500.781.393.1212.48(–)0.360.470.640.921.432.555.7322.93(+)S0.200.260.350.500.781.393.2112.48(–)0.380.490.670.971.512.696.0524.20(+)R0.340.440.600.871.352.415.4121.66(–)0.360.470.640.921.432.555.7322.93(+)B0.80.70.60.50.40.30.20.1TypeBRS白金線電阻一欄表TanakaKikinokuCo.Ltd.Ω/m±0.5%±0.5%±0.5%±0.75%±0.75%±0.75%±0.75%±0.75%5050502502502502502502000200020001000010000100001000010000BRSNKEJT過熱使用限度常用限度各溫度的熱起電力變化%連續使用時間h記號熱電偶連續使用之熱起電力變化Sheathed熱電偶:金属Sheath和熱電偶對素線間、充填高純度氧化鎂粉末、並經擠壓使成気密状態且保有絶縁性和高耐圧性之熱電偶熱電對素線金屬SheathMgO粉末Sheathed熱電偶900℃900℃900℃800℃8.0800℃6.0,6.4800℃4.5,4.8SEB(耐熱材質)1050℃1000℃900℃A(一般材質)750℃3.0,3.2650℃1.0,1.5,1.6,2.0600℃0.5900℃8.0800℃6.0,6.4800℃4.5,4.8750℃3.0,3.2650℃1.0,1.5,1.6,2.0600℃0.5SNSK金屬Sheath耐用溫度金屬Sheath外徑mm記號Sheathed熱電偶常用溫度限度一Sheathed熱電偶常用溫度限度二金屬Sheath耐用溫度記號金屬Sheath外徑mmA(一般材質)B(耐熱材質)4.5,4.8350℃6.0,6.4350℃8.0350℃ST0.5400℃1.0,1.5,1.6,2.0450℃3.0,3.2650℃4.5,4.8750℃6.0,6.4750℃8.0750℃0.5300℃1.0,1.5,1.6,2.0300℃3.0,3.2350℃SJ控制箱Heater1Heater2Heater3Heater4Wafer四點式Profile熱電偶SPIKE熱電偶（4支）直立式擴散爐半導體業用熱電偶(一)溫接點(1)溫接點(2)溫接點(3)溫接點(4)溫接點(5)半導體業用熱電偶(二)半導體業用熱電偶(三)半導體業用熱電偶(四)半導體業用熱電偶(五)使用例:熱板計測器制御部熱板Heater控制用熱電偶WaferSensor熱電偶1/10DIN1/5DIN1/3DINClassAClassB±℃±Ω±℃±Ω±℃±Ω±℃±Ω±℃±Ω-2000.130.060.260.110.440.190.550.241.300.56-1000.080.030.160.060.270.110.350.140.800.3200.030.010.060.020.100.040.150.060.300.121000.080.030.160.050.270.100.350.130.800.302000.130.050.260.100.440.160.550.201.300.483000.180.060