真空设备操作维护保养规程

Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第1页共19页1．目的：按规定进行设备的管理，指导正确操作、使用、维护和保养设备，保证生产，提高产品质量，改进环境绩效，预防和减少事故发生。2．范围：本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养3．操作规程3.1旋片泵操作规程3.1.1性能规范型号：2X－70几何抽速：70L/S；极限压力：1帕；泵转速：450转/分；电机：Y132L-4功率：5.5KW；电机转速：1440转/分；配用三角带；B/1600：4根；冷却水消耗量：480L/H；润滑油：1#真空机械泵油（KK-1）储存量8Kg；口径：进气90mm排气60mm。3.1.2操作规范3.1.2.1起动前的准备（1）检查皮带的松紧程度，起动前可以松一些，起动后调节底座上的螺栓，慢慢拉紧，以减少起动力矩。（2）检查各部分有无松动现象，电机转向是否同泵的要求符合。（3）检查油箱内的油位是否在视镜的两条油标线之间。（4）对于长期未工作的泵，起动前应间断起动电机，检查是否灵活。（5）检查冷却水是否正常（管路上水压表水压≤0.2－0.3MPa）、润滑油是否正常。Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第2页共19页3.1.2.2起动（1）打开冷却水阀。（2）合上电源的开关，起动电机。（3）泵启动后，再缓慢打开进气阀，以免泵的负荷急剧增加。3.1.2.3停车停泵时应先关断进气口阀门，打开放弃阀法对泵放气。3.1.3注意事项3.1.3.1应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降，可以缩短换油时间。3.1.3.2应经常保持泵及泵房的干燥清洁。3.1.3.3注意泵温及冷却水和油的温度，水温在20-40℃之间，不应超过40℃，即泵温不超过环境温度加上40℃。3.1.3.4润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。3.1.3.5入停车后泵温要下降至5℃以下时，泵内冷却水必须除净。3.2罗茨真空泵操作规程3.2.1性能规范型号：RTO,300S;抽气速率：300L/S；极限压力：0.6帕；进排气口径：160mm/100mm配用电机：3KW3.2.2操作规范3.2.2.1起动前准备Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第3页共19页（1）检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2MPa）。（2）检查两端盖内的润滑是否足够，齿轮箱侧油位应以寖没3～4个齿高度为宜。电机侧油位应以寖没1/3～1/2油窗高度为宜。润滑油封的油杯油位应在油杯高度的1/3～1/2之间。（3）如果吸入气体中有粉尘或其它金属粉末，应在进气口前加装防尘或过滤装置，如果吸入气体有腐蚀性，必须采取中和措施。（4）检查各部分有无松动现象，较长时间不用后，应拆下旁通溢流阀，检查有无锈死。（5）检查电机转向是否同泵体上的箭头一致。3.2.2.2起动（1）起动前级泵。（2）打开本泵的进气阀门。（3）打开冷却水阀门，当容器压力达到工艺规定压力时，起动本泵。（4）泵运转时应平稳，转子不得有冲击声。（5）泵的轴封处不得有漏油现象。（6）泵在运转过程中如局部升温过大，电流计读数突然发生变化，产生不规则的噪声或其它异常现象，应立即停泵检查。3.2.2.3停泵（1）停泵时，应先停罗茨泵，再停前及泵，否则会导致罗茨泵出口压力升高，负荷增大而可能烧坏罗茨泵电机或损坏罗茨泵。或会导致前级泵倒转，前级泵泵油倒灌入管道或罗茨泵，导致前级泵缺油，并有可能污染被抽环境。（2）停止本泵并关闭排气阀门。（3）停止前级泵。Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第4页共19页（4）关闭冷却水进水阀。3.2.3注意事项3.2.3.1应经常保持使用环境清洁干净。3.2.3.2应经常注意各部件的润滑情况，如发现润滑油不足时，应及时补充，如发现润滑油不清洁时，应及时更换。3.2.3.3润滑油应符合要求，否则达不到所要求的真空度。3.3扩散泵操作规程3.3.1性能规范型号：KT600600表示吸气口径；抽气速率：≥16000L/S；极限真空：6.5X10-5Pa；加热功率：9KW；装油量：6-7L(ks-3)；耗水量：≤1000L/H；进口/出口：600/150。3.3.2操作规范3.3.2.1起动前准备(1)检查冷却水管是否畅通无阻（管路上水压表水压≤0.2～0.3MPa）；(2)起动前，高真空阀门应处于关闭位置。3.3.2.2起动（1）起动前级泵，抽出扩散泵内的气体。（2）接通冷却水（注意：急冷水套在扩散泵停机时才能通水）。（3）接通扩散泵加热电源，对扩散泵加热60min后，当容器压力达到工艺规定压力时，Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第5页共19页打开高真空阀门，扩散泵可以进入正常工作状态。3.3.2.3停机（1）关闭高真空阀门；（2）切断扩散泵加热其电源，停止加热。（3）当泵底温度≤60℃关闭管道阀门。（4）关闭前级泵，并向前级泵充气，以防返油。（5）停止对扩散泵供水。3.3.3注意事项3.3.3.1扩散泵出水温度应≤40℃，否则应立即检查处理。3.3.3.2如果扩散泵在正常运行中突然停电停水，应按照以下步骤处理：（1）立即关闭高真空阀和前级阀；（2）迅速抽出加热器；（3）马上接通急冷水路，并向扩散泵底部淋水；3.3.3.3泵正常工作时，如性能突然变坏，应检查加热器是否损坏。3.3.3.4泵在长期工作后，性能如果下降，应拆泵检查油量及泵油氧化情况，酌情加油或换油（扩散泵专用油），在换油时泵体及泵芯要使用无水酒精或丙酮清洗，然后在80~100℃温度范围内烘干。并每次在装配时注意检察泵的出口管道内挡油板的紧固螺栓，确保其无松动安全可靠。3.3.3.5一般情况下，泵体应保持真空状态，以免大气进入泵内造成扩散泵油的氧化。3.4分子泵操作规程3.4.1性能规范Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第6页共19页型号：TYFB-1600抽气速率：1600（L/S）极限真空：＜8×10-8/＜5×10-7电机转数：24000（rpm）冷却水流量：1(L/min)Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第7页共19页Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第8页共19页3.5真空镀膜机操作规程3.5.1开停机顺序：3.5.1.1开机前，检查水，电，气是否符合要求，（水压表水压≤0.2－0.3MPa），（气压表气压≤0.4－0.6MPa）。3.5.1.2开机：打开真空机和流量控制器电源开关，依次按下“维持泵”、“维持阀”、“扩散泵”、按钮。大约30分钟后，扩散泵正常工作。（当分子泵电源频率达到225Hz时分子泵方能正常工作）。Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第9页共19页3.5.1.3在扩散加热同时打开炉门检查炉内绝缘情况，清理炉内卫生。装工件检查炉门密封圈，关炉门。3.5.1.4开主抽泵、开粗抽阀门。3.5.1.5至真空度到400Pa时（此时罗茨泵转子为静止状态）。3.5.1.6开前级阀。3.5.1.7启动罗茨泵，3.5.1.8至真空度到6.7Pa时，关预抽阀、开前级阀、关罗茨泵，开精抽阀。3.5.1.9至真空度到7.5×10-3Pa时开始镀膜。Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第10页共19页3.5.1.10运行工艺流程3.5.1.11镀膜：开流量计按工艺要求充入气体、对工件进行离子清洗（清洗时间有不同工艺而定）。3.5.1.12关闭离子清洗真空度恢复至本底真空（7.5×10-3Pa）。3.5.1.13调整气体开始镀膜，（按工艺要求镀膜）。3.5.1.14关机3.5.1.15关闭真空计、关闭精抽阀。3.5.1.16打开放气阀。3.5.1.17放气结束。Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第11页共19页3.5.1.18打开箱体大门。3.5.1.19取出工件3.5.1.20装入工件。3.5.1.21关闭放气阀。3.5.1.22重复上述过程。3.5.2设备维护3.5.2.1日常保养（1）开机前，检查水、电、气是否符合要求。（开启磁控靶前，检查靶水开关，每次开炉门后，用酒精摖拭门胶条，并用吸尘器清理真空室内部。）（2）检查循环水路各接口，保证无渗漏。(3)检查循环水路进水温度是否在5－250C。回水温度是否低于350C。进水压力为2.5kg/cm3－3.0kg/cm3(4)检查水流量开关是否正常工作。（5）检查压缩机管路各接口，保证无压缩空气外漏。（6）检查气泵和储气罐、放掉内部的冷凝水。（7）设备运转时检查机械泵、罗茨泵、扩散泵有无过热和异响。（8）在设备升温、镀膜过程中：检查设备阀门，侧壁，后壁，高阀等有无局部发热现象。（9）检查门密封条有无伤痕。（10）用吸尘器仔细清洁炉体内部。（11）视污染情况更换观察窗保护片。Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第12页共19页（12）检查机械泵油位是否正常。（13）检查罗茨泵油杯油量，保证油杯量在1/2－1/3油杯高度即可。（14）检查分子泵油池油量，保证油池油量处于油标上下限之间。（15）检查溅射靶与罐体之间的绝缘度，绝缘电阻大于200MΩ为合格。（16）检查转架绝缘度；绝缘电阻大于200MΩ为合格。（17）注意记录隔日真空，养成良好的习惯，便于及时发现设备的问题。3.5.2.2定期维护下面的工作应每周进行一次：（1）检查水路系统内各水表，阀门等出接口有无渗漏。（2）检查压缩空气管路及气三联件，查看油杯中油量是否合适。及时放掉杯中残余水分。（3）使用压缩空气清洁机械泵外部，防止灰尘过厚影响散热。（4）以压缩空气和吸尘器清洁炉体内部。（5）清洁观察窗玻璃。（6）检察各电源线是否有松动、发热现象。（7）检查循环水各阀门接口有无渗漏。3.5.2.3下面的工作应每月一次：（1）以压缩空气和吸尘器较为彻底的清洁炉体内部，内衬。（2）检查罗茨泵泵油状况，如发现油质变色，変烯，乳化等情况，应立即换油。（3）清理机械泵口过滤网。（4）检查各靶材消耗状况。每更换一次靶材，用特斯拉计测量靶磁场强度。（当心强磁场、手机、手表等精密仪器及电气请远离！！带有心脏起搏器的人员请远离！！）。3.5.2.4下面工作应三个月进行一次Lgt作业指导书文件编号：发布日期：2015年2月1日版本：A—0题目：真空泵及真空系统操作维护保养规程第13页共19页（1）以压缩空气清洁循环水路、设备冷却水套。（2）更换机械泵油（或者考虑使用1000小时）。（3）更换机械泵油过滤器。（4）请打开各电源柜及控制柜外罩，以压缩空气清洁内部，检查紧固螺钉是否松动，机壳接地是否良好，各元器件有无异常。3.5.2.5下面的工作应六月一次：（1）将全部屏蔽板拆出清洗，彻底清洗炉体内部，个别膜层较厚部分，可用抛光布轮或砂轮抛光清理。（2）将高阀打开，检查清洗阀板下面。（3）清洗抽气主管道。（4）清洗充气阀过滤器。（5）更换转动轴封。（6）更换前门密封圈。（7）更换炉体加热器密封圈。（8）检查机械泵皮带松紧是否适当，每半年调整一次。3.5.2.6下面的工作应一年进行一次：（1）更换机械泵排气过滤网。（2）检查PLC电池电量。（3）更换分子泵润滑油（或者每4000小时）。（4）检查设备动力线是否有老