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VGC401单通道控制器第1页共68页1单通道控制器VGC401使用说明书VGC401单通道控制器第2页共68页2产品标识与INFICON联系时,请告知产品名牌上的信息。为便于参考,现将名牌上的信息表示如下:有效性本说明书用于件号为398-010的产品。件号(PN)可从产品名牌上看到。本说明书件基于固件版号302-519-A。如你的仪器工作与本文件的说明不符,请检查是否与上述固件版号(48)相符。我们保留本说明书不事先通知的技术修改权。全部尺寸均用毫米表示。VGC401单通道控制器第3页共68页3用途VGC401与INFICON生产的规管同时使用,用于真空系统的总压强测量。全部产品必须按产品说明书使用。供货范围1件单通道控制器1根电源电缆1根橡皮条2个橡皮脚4个凹槽螺丝4个塑料套管VGC401单通道控制器第4页共68页4产品标识有效性用途供货范围1安全1.1使用符号1.2人员要求1.3一般安全规则1.4责任与保修2技术参数3安装3.1人员3.2安装,设置3.2.1机架安装3.2.2安装在控制屏内3.2.3用作桌上式仪器3.3电源连接3.4传感器连接3.5控制器连接3.6RS232接口连接4运行4.1面板4.2VGC401的On和Off4.3工作模式4.4测量模式4.5参数模式4.5.1参数4.6测试模式4.6.1参数4.6.2测试程序5维护6故障查找7检修8附件9储存10废物处理VGC401单通道控制器第5页共68页5附录A.转换表提供的压强传感器B.缺省参数C.软件升级D.文献E.索引质量保证书参考在本说明书内的内容使用符号(XY)。参考“文献”中的内容使用符号([Z])。VGC401单通道控制器第6页共68页61.1使用符号其它符号灯亮灯闪灯黑按此键(例:’para’键)不要按任何键.VGC401单通道控制器第7页共68页71.2人员要求1.3一般安全规则对于全部要进行的工作,必须遵守规章制度和采取必要的预防措施和考虑本说明书中的安全规则。向所有其他用户通报安全信息。VGC401单通道控制器第8页共68页81.4责任与保修如最终用户或第三方发生以下情况,INFICON将不承担赔偿责任和保修将不再有效。●不顾本说明书中的信息。●不适当地使用产品。●对产品作任何干预(修改,变更等)●产品使用非产品说明中所列附件,选件和添加件。VGC401单通道控制器第9页共68页9电源要求电压90...250VAC频率50...60Hz功耗≤30VA过压类别II保护等级1连接欧洲仪表连接件IEC320C14环境温度储存–20…+60°C运行+5…+50°C相对湿度高至≤80%+31°C,低至50%+40°C污染级别II保护类型IP30兼容真空计数量1兼容型号皮拉尼PSG(PSG400,PSG400-S,PSG100-S,PSG101-S)皮拉尼/电容PCG(PCG400,PCG400-S)冷阴极PEG(PEG100)热阴极BAG(BAG100-S,BAG101-S)热阴极/皮拉尼BPG(BPG400)HPG(HPG400)电容CDG(CDG025,CDG045,CDG045-H,CDG100)VGC401单通道控制器第10页共68页10规管连接数量2(平行)不要同时连接一个以上的规管.传感器连接件15脚D-Sub,插座RJ45(FCC68),插座(接脚分配23)操作面板通过3个按键HOST(遥控)通过RS232C接口测量值测量范围取决于规管([2]…[12])测量误差增益误差≤0.005%FSr偏移误差≤0.01%FSr测量速率模拟100/s数字50/s(BPG)10/s(BAG)显示速率10/s过滤时间常数慢700ms(fg=0.2Hz)常规(nor)150ms(fg=1Hz)快20ms(fg=8Hz)压强单位毫巴,帕,乇,微米汞柱零点调节用于线性规管校正因素用于对数规管0.10...10.00A/D变换器分辨率0.001%FSr(BPG,HPG和BAG的测量值由数字传送)VGC401单通道控制器第11页共68页11真空计电源电压+24VDC±5%电流750mA功耗18W保险丝900mA,带PTC元件,在将VGC401电源off或与规管断开后自复位开关功能数量1反应延迟≤10ms如开关阈值接近于测量值(如差别大考虑筛选器时间常数)调节范围取决于规管([2]…[12])滞后≥1%FSr,线性真空计≥10%测量值,对数真空计开关功能继电器触点类型浮动换向触点最大负荷125VAC,60W(Ω型)110VDC,2A,60W(Ω型)桌上使用,最大可连接30VAC或60VDC.使用寿命机械108次电气105次(在最大负荷下)触点位置24CONTROL连接件9脚D-Sub,插头(接脚分配24)VGC401单通道控制器第12页共68页12误差讯号数量1反应时间≤20ms误差讯号继电器触点类型浮动常开触点最大负荷125VAC,60W(Ω型)110VDC,2A,60W(Ω型)桌上使用,最大可连接30VAC或60VDC.使用寿命机械108次电气105次(在最大负荷下)触点位置24CONTROL连接件9脚D-Sub,插头(接脚分配24)模拟输出数量1电压范围0...10V内阻660Ω测量讯号取决于规管与电压的关系([2]…[12])CONTROL连接件9脚D-Sub,插头(接脚分配24)接口标准RS232C协议ACK/NAK,ASCII带3-字符助记,双向数据流,8数据位,无奇偶位,1停止位RS232C仅使用TXD和RXD传输率9600,19200,38400波特RS232连接件9脚D-Sub,插座(接脚分配25)VGC401单通道控制器第13页共68页13尺寸[毫米]使用安装在机箱或控制屏中或用作为桌上仪器重量0.85kgVGC401单通道控制器第14页共68页143.1人员3.2安装,设置VGC401安装在19″机架或控制屏中或用作为桌上式仪器。3.2.1机架安装VGC401安装在19″机架(DIN41494)上。采用供应的4个开槽螺丝和塑料套管紧固。VGC401单通道控制器第15页共68页15导轨为减小VGC401面板上的机械应力,最好在机架上装有导轨。滑轨为安全与容易安装重的机架,最好在机架的框上装有滑轨。VGC401单通道控制器第16页共68页16装配高度高度2U机架配件将机架配件牢固地安装在框架上。务必不超过可允许的最高室温(9)和妨害空气流通。VGC401单通道控制器第17页共68页17将VGC401滑入配件中......用供应的螺丝将VGC401固定在机架配件上。高度3U机架配件为安装19″高度3U机架配件,提供一个配件板(包括4个开槽螺丝和塑料套管)(58)。将机架配件牢固地安装在框架上。务必不超过可允许的最高室温(9)和妨害空气流通。VGC401单通道控制器第18页共68页18作为上扩展板,用供应的螺丝将配件板安装在VGC401的面板上。将VGC401滑入配件中......用供应的螺丝将VGC401固定在机架配件上。VGC401单通道控制器第19页共68页193.2.2安装在控制屏上为将VGC401安装在控制屏上,需用下面的开口:务必不超过可允许的最高室温(9)和妨害空气流通。为降低面板上的机械应力,最好将仪器支撑一下。VGC401单通道控制器第20页共68页20将VGC401滑入控制屏的开口中......用4个M3或等效的螺丝紧固住。3.2.3用作桌上式仪器VGC401可作为桌上式仪器使用。为此,随仪器供应两个自粘着橡皮脚和滑入式橡皮条。将两个橡皮脚粘在底板的后部......将橡皮条滑入面板的底缘。VGC401单通道控制器第21页共68页21选一个不超过可允许的最高室温(9)(例如无阳光照射)的位置。3.3电源连接仪器带有长2.5米的电源电缆。如电源电缆与您的系统不适配,可使用您自己的带有保护接地的电缆。插座必须有10A保险丝保护.如仪器安装在开关箱中,应通过中央配电箱供应和接通电源。VGC401单通道控制器第22页共68页22接地在仪器后面有一个螺丝可用于将仪器接地,如使用泵组的接地。3.4传感器连接件VGC401装备有两种不同的规管连接件。注意:单通道测量仪器同时连接一个以上规管可导致规管规管的损坏。一次连接一个。确保不会将一个以上的规管同时连接至VGC401上。在仪器后面的传感器连接件上连接一个规管。采用屏蔽的1:1电缆(电磁兼容性)。确保规管的适用性(9)。VGC401单通道控制器第23页共68页23传感器接脚分配8-脚RJ45仪表连接件的接脚分配:接脚讯号41235678标识电源+24VDC电源公共点GND讯号输入(测量讯号+)讯号公共点(测量讯号-)状态HV_LHV_H15-脚D-Sub仪表连接件的接脚分配:接脚讯号10811521231741314156,9标识BPG和BAG电源CDG电源电源公共点GND讯号输入(测量讯号+)讯号公共点(测量讯号-)状态发射状态除气HV_HRXDTXD屏蔽=机壳无连接VGC401单通道控制器第24页共68页243.5CONTROL连接件这个连接件可阅读测量讯号,浮动开关功能和误差触点的状态,和启用/停用高真空测量电路(仅对PEG冷阴极规和BAG电离真空规)。将外围元件连接至仪器后面的CONTROL连接件上。采用屏蔽电缆(电磁兼容)。注意:保护性低电压按EN61010标准,电压超过30VAC或60VDC是危险的。如将VGC401用作桌上式仪器,您必须使用保护性低电压。控制触点位置的接脚分配9-脚D-Sub仪表连接件的接脚分配:接脚讯号1754329867模拟输出0…10VDC机壳=GNDHV_Hon+24Voff0V控制置于这个讯号以上优先于键操作压强低于阈值压强高于阈值或电源开关off误差讯号无误差误差或电源开关off继电器提供较高的开关功率用PTC元件300mA保险丝保护,+24VDC,200Ma在电源off或拔下CONTROL连接件后机壳=GND自-复位。符合接地的保护性超低电压(按EN61010SELV-E)VGC401单通道控制器第25页共68页253.6RS232接口RS232C接口允许通过HOST或端口操作VGC401。也用于更连接件新软件(62)。用您自己的屏蔽电缆(电磁兼容)将串列接口连接至RS232连接件。例如:PCVGC401机壳机壳RXD2TXDTXD3RXDGND5GND(最小配置)RS232接脚分配9-脚D-Sub仪表连接件的接脚分配:VGC401单通道控制器第26页共68页264.1面板浮点或指数方式的测量值或状态信息VGC401单通道控制器第27页共68页274.2VGC401的on和off确保正确安装VGC401,和达到“技术参数”中的要求。将VGC401置于on电源开关在仪器后面。用电源开关将VGC401置于on(如仪器安装在机架中,通过一个集中的电源分配器执行)。电源on后,VGC401...●自动执行本机测试●识别连接的规管●启用上次电源off前工作的参数●转换至测量模式●必要时适配参数(如先前连接过另一种规管)将VGC401置于off用电源开关将VGC401置于off(如仪器安装在机架中,通过一个集中的电源分配器执行)。将VGC401再次on前至少等待10秒钟,以便仪器本机的正确初始化。VGC401单通道控制器第28页共68页284.3工作模式VGC401工作于下列模式:●测量模式用于显示测量值或状态信息(29)●参数模式用于输入或显示参数(32)●测试模式用于运行内部测试程序(45)●程序传输模式用于更新软件(62)VGC401单通道控制器第29页共68页294.4测量模式测量模式是VGC401的标准工作模式。在这个模式中显示测量值和状态信息以及规管标识。VGC401单通道控制器第30页共68页30将规管on和off规管包括:皮拉尼规(PSG)皮拉尼/电容规(PCG)冷阴极规(PEG)热阴极规(BAG)热阴极/皮拉尼规(BPG,HPG)电容规(CDG)按此按键1秒:规管被关断。即显示而不是测量值。按此按键1秒
本文标题:VGC401 中文手册
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