全自动平行光曝光机说明书

东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.1全自动平行光曝光机使用说明书东莞市珏鼎自动化设备有限公司地址：广东省东莞市东城区光明新村69号电话:[phone]传真:[phone]E-mail:[e-mail]东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.2目录一、概要二、规格三、系统配置四、安装五、开机前检查六、点灯操作七、曝光机调试步骤八、自动运行九、手动画面说明和设置说明十、参数十一、维护与保养及日常点检十二、注意事项十三、常见故障及修理方法十四、电气元件资料附件东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.3一、概要前言该系统采用进口平行光源、进出料机械手、进出料传输段、平台接板整列机构、自动升降机构、自动图像定位系统，使该机实现全自动套刻曝光作业。全中文操作系统，友好的操作界面，I/O监控，报警查看，使设备的操作和管理维护简单化。主要应用于适用于LCD、CTP、CF、黑膜等多种产品之精密曝光作业。实际调试设备或发生故障时，除使用本说明书外，请参照配件说明书和软件说明书。无法完全涵盖非正常操作及临界点时的复杂信息变化等无法预计的状况。因此本书中未明确记载的内容，原则上可以理解为“不可以”。※本说明书力求准确无误，但错误之处在所难免，若您发现任何不当和错误，请联系本公司。二、规格东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.42-1.基本规格设备型号EX525-AU01EX825-AU01光源功率5KW8KW电压AC380VAC380V基板尺寸400mm×500mm400mm×500mm光照面积420mm×520mm420mm×520mm光照均匀性≥92%≥92%平行半角≤1°≤1°光强（mw/cm^2）≥28mw/cm^2≥45mw/cm^2发光波长（nm）320nm-450nm320nm-450nm管理波长（nm）365nm365nm光源品牌USHIOUSHIO灯管寿命≥1500h≥1500h基板进出方式滚筒+机械手滚筒+机械手基板整列精度±0.02mm±0.02mm恒温曝光功能有有影像定位精度±4um±4umT/T不含曝光时间18S不含曝光时间18S气压需求0.5Mpa0.5Mpa冰水需求30L/min压力2.5-3Mpa水温≤15°1英寸配管30L/min压力2.5-3Mpa水温≤15°1英寸配管无尘室无尘室等级10000以下无尘室等级10000以下使用环境温度22±1°C22±1°C重量2000KG2000KG长：2380mm长：2380mm宽：2100mm宽：2100mm设备尺寸高：2200mm高：2200mm2-2.机器各部分名称机功能2-2-1．控制系统及功能简要说明东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.5※机器的进出料方向可依据客户的需要而定。默认为左进料，右出料。1．进料口高效过滤器。2．进料传动。3．进料机械手。4．进料整列气缸。5、进料传动电机。6．光源机架。7．进料口静电枪。8．出料口静电枪。9．烙板放置平台。东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.610．玻璃整列气缸。11．对位平台。12．平台升降电动缸。13．CCD光源。14．出料口高效过滤器。15．三色灯。16．操作界面。17．FAST对位系统操作界面。18．出料口传动。19．出料机械手（YAMAHA单轴机器人+气缸）。2-2-2．光源系统。东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.72-2-3．外形尺寸东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.8机架尺寸光源尺寸东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.9三、系统配置曝光机系统配置图东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.103-1.平行光源系统1.光源系统电气硬件配置图：一般安全预防措施(请先详读)为了确保作业人员及保养人员的安全和防止机器以外受损，本机设计有许多安全防护设置,在使用中必须遵守以下安全防护措施:东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.11••在空气保护开关一次侧或二次侧接线、更换灯管、电器元件，做任何修理工作之前请确定已切断空气保护开关。若在维修中请设立“故障维修中”的标记和警示装置，以确保维修人员的安全。•当灯在操作状态,在灯源室内进行维修工作时，必须戴上耐UV防护面罩，耐热手套和耐UV工衣以保护维修人员。5KW的汞氙灯是一种高压灯，在握持搬运中必须特别小心，若掉落或破裂会产生外爆力，石英玻璃碎片若飞溅人体会引起人员伤害。•请绝对不要用手接触灯的玻璃部分，因为接触的指纹或斑点会产生热点“HOTSPOTS”引起玻璃老化，严重时会导致灯管爆裂。•在更换或接触任何灯源系统的元件时，请先洗净双手，戴上干净的细麻布手套、棉手套、PE手套或橡皮手套，若不慎接触到光学元件的表面，请用无尘布沾上清洁液(20%乙醇+80%DI水)清洁其表面。2.灯源系统和点灯系统：主要包括高精度5kw灯源供应器和自动点灯和三维调整台。3.365nm紫外光学系统：主要有精密光学平行5KW汞氙灯、集光器、冷光镜、光学积光器，平行光镜。4.冷却气压系统：此系统为独立系统为设备提供稳定的冷却和恒定的正压空气。5.曝光作业系统：此系统有无杆汽缸开合机构和由电气控制的能量和时间曝光系统。曝光作业系统包含触控式人机界面、PLC软体和电控设计。注意：机器所有光学元件，尽可能不要清洁，以免损坏光学系统。如有小面积污渍可以按照上述要求小心清洁。•在曝光室内曝光状态下工作时，请戴上耐UV的防护面罩和棉手套并穿长袖衣服。请勿用肉眼直视明亮的高强度UV光，否则会引起眼睛伤害，东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.12即使戴上防护面罩亦请勿直视UV积光器中的强光，因为其中明亮程度的可见光仍可引起眼睛的不适。请勿将皮肤直接在UV光下曝晒，以免引起皮肤晒伤。3-2.曝光室恒温系统该系统控制冰水温度,通过蒸发器,用风机把冷风送入曝光室中。3-3.玻璃进出料部分进出料机械手采用YAMAHA单轴机器人，比传统的气缸更快速，平东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.13滑的加减速，可实现快速平稳的搬运，速度曲线如下：搬运玻璃时速度300时间目标位置加速度减速度机械手空载运行。速度350时间目标位置加速度减速度注意：进出料机械手在运动的时候请不要碰触机械手！否则会造成伤害事故！3-4.全自动图像定位系统。3-4-1.对位系统构成显示器相机镜头东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.14FV-2300PLC对位平台进行定位时，根据相机读取的图像信息，自动计算出定位所需的XYθ移动量，然后通过控制一个3轴平台的移动，实现对工件进行XYθ校正，从而达到精确定位的目的。3-4-2.对位软件（FAST）东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.15相机角度不限,支持多种平台,强大的自动校正功能,Mark点搜索方式自动校正功能可以计算每台相机与平台的相对位置，包括相机、中心点、相机与平台的角度、相机解析度（mm/像素）、平台的旋转中心点等参数。定位时，FV-aligner利用校正参数作演算从而执行精密定位。四、安装4-1搬运要求:••搬运前小心拆装，避免机器损坏。东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.16•搬运途中避免碰撞。•到达定位后需重新调整机台的水平度。4-2零组件组立:机台定位后请检查所有光学元件是否正常，所有部件是否紧固。注意：请勿用手直接接触光学元件，安装时灯源室必须同曝光室一样用水准仪校正机台在长、宽、高等水准，必要时得调整螺丝脚至适当高度，机台定位后请依序安装下列元件：(1)冷光镜(2)5KW灯(3)折光镜(4)拆除光学积光器及平行光镜上的保护包装(5)气压三点组合等接头。4-3场地要求:•场地高度需比机台总高度搞出200mm以上。•墙壁与机台之间的距离需保持在600mm以上，利于散热及维修4-4电气需求:•电力电压源为AC380V,3ф，50HZ，10.0KVA，25A。•接线确认，接线为红、白、黑接三相电源线，接地为第三种接地100Ω以下。五、开机前检查•空气保护开关是否打开。•气压源阀内是否打开及气压源压力是否4.2kg/cm²以上，压缩空气是否干净，东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.17过滤器是否堵塞。•冰水阀是否打开。•确认排风机是否运转，排风管是否连接妥当，差压式微风开关(AirFlowSwitch)是否在机台排风口处且Teflon管必须完全插入机台的排风口内。注意:请勿与其他机台共用同一排风系统以免粉尘或化学物质吸入灯源系统而使其受污染无法使用。六、点灯操作1234点灯将机台电源总开关打开则停止开关红灯亮确定有电源进入按启动开关机器启动则停止按钮红灯灭，启动开关绿灯亮1.检查灯室过滤网马达是否有ON。2.检查抽风马达是否有抽风。3.检查灯源冷却马达是否有送风冷却灯。1.请按至灯源系统画面，准备点灯。东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.1851．切换到倍率画面调整倍率。2．切换到曝光操作画面设定所需的能量和曝光时间。3．如到休息时间可按红灯停止按钮，开始将会灯源关闭，等到灯头冷却6分钟后会自动将整个电源全部关闭，则系统停止。4．如只想将灯关闭，则切换到灯源系统画面内按住关灯按钮1秒钟关闭灯源，必须6分钟后才能再次点灯。请参考以下画面及说明：6-1主画面：(如下图)2.请按住点灯按钮2秒钟，灯源将点起。东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.191.灯源操作画面：按下此按钮将跳至灯源操作画面。2.曝光操作画面：按下此按钮将跳至能量曝光工作画面。3.手动操作画面：按下此按钮将跳至各组件手动操作画面。4.参数设定画面：按下此按钮将跳至参数设定画面。6-2灯源系统画面：(如下图)1.主画面：当按下此按钮，画面跳至主画面系统。2..框架曝光次数：将显示曝光次数，按下复归可将次数复归为零。3.灯管使用时数：时数：当装上新灯管时，可显示新灯管使用时数，按下复归按钮将时数归零。总时数：显示用，显示机台点灯使用总时数，时间不可归零。4.点灯、关灯按钮；当按下点灯按钮，必须持续按压此按钮2秒以上灯源才会点灯。当按下关灯按钮，必须持续按压此按钮2秒以上灯源才会关灯。注意：如果熄灯，必须等冷却时间十分钟后才可点灯，或在参数画面设定。5.电压V：显示用，显示灯源供应器的电压值。东莞市珏鼎自动化设备有限公司DONGGUANJUEDINGAUTOMATIONEQUIPMENTCO.,LTD.20电流A：显示用，显示灯源供应器的电流值。功率KW：显示用，显示灯源供应器的