双阱工艺

集成电路双阱工艺P型衬底二氧化硅P型衬底二氧化硅N阱掩模板p型衬底n阱掩膜板n阱SiO2p型衬底p阱掩膜板n阱p阱p阱p型衬底有源区掩膜板n阱p阱p阱Si3N4p型衬底p-场注入掩膜板n阱p阱p阱硼p型场注入p型衬底耗尽型n管掩膜板n阱p阱p阱SiO2SiO2SiO2p型衬底多晶硅栅掩膜板n阱p阱p阱SiO2SiO2SiO2多晶硅p型衬底n+源漏注入掩膜板n阱p阱p阱n+n+n+SiO2SiO2SiO2p型衬底p+源漏注入掩膜板n阱p阱p阱p+n+p+n+p+n+SiO2SiO2SiO2p型衬底接触孔掩膜板n阱p阱p阱p+n+p+n+p+n+SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2p型衬底金属铝1掩膜板n阱p阱p阱p+n+p+n+p+n+SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2铝1p型衬底过孔掩膜板n阱p阱p阱p+n+p+n+p+n+SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2SiO2p型衬底金属铝2掩膜板n阱p阱p阱p+n+p+n+p+n+SiO2SiO2SiO2铝2p型衬底压焊块掩膜板n阱p阱p阱p+n+p+n+p+n+SiO2SiO2SiO2