图像传感器量子效率测试

图像传感器量子效率测试系统介绍随着机器视觉的迅速发展，图像传感器的制造要求如灵敏度、结构设计等越来越高。图像传感器芯片(CCD或CMOS)的量子效率定义为在某一特定波长的光照下,在一定曝光时间内,单个像素光敏面的吸收与累积的平均电荷数与辐射的平均光子数的比值，换句话说，即芯片在曝光时间内将到达像素光敏面的光子转换为电子的百分比,与器件的几何结构、材料等有关,是衡量芯片性能的最主要因素之一。传统的测量装置，利用可调单色光源穿过积分球，并利用特殊算法取得量子效率，然而，积分球虽可提供均匀的单色光源，但经过漫反射后，光强大幅减弱，致使测试条件受到很大的限制，如无法在较高的动态范围下做测试；由于积分球构造原理的关系，样品与积分球出光口距离非常受限，亦导致使用上的各种不便与质疑。图像传感器量子效率测试仪使用独特均光系统，大大的增强量测的便利性与准确性，不但可以轻松的调整光强度，在专利的讯号撷取技术上，无论在弱光或强光，都可以顺利测得芯片或相机准确的量子效率、动探范围以及CRA等关键参数。EnliTechnologyCo.,Ltd.光焱科技股份有限公司◆CCD相机◆CMOS相机◆紫外光传感器◆红外光传感器◆摄像头◆其他类型光电器件系统应用◆独特的均匀光系统，可变超高光强的均匀单色光◆实现全阵列像素测量◆发散角度小于5度的准直单色光◆丰富的相机接口◆灵活的硬件扩展和升级能力系统特点系统可量测图像传感器之各项参数所需的光学平台：◆量子效率/光谱响应◆灵敏度◆动态范围◆暗电流/噪声◆线性误差LE◆暗电流响应不均匀性整合方案图4系统可产生高均匀度与高光强度的单色光光斑，具备绝佳的讯噪比，可精确测出感光组件的量子效率等相关光学特性(a)专利均光系统发散角示意图(b)传统积分球系统光发散角示意图(c)光斑投射在样品之实际样貌(d)系统可产生连续不同光波长之单色光源EnliTechnologyCo.,Ltd.光焱科技股份有限公司图2光焱均光系统与传统均光系统之照度比较图3光焱科技专利均光系统与传统均光系统之光通量比较图1一般工业级相机实测于300nm至1100nm图6光焱专利均光系统于不同单色光下，均可达到高于99%均匀度430nm均匀度99.04%530nm均匀度99.06%630nm均匀度99.05%EnliTechnologyCo.,Ltd.光焱科技股份有限公司图5市售工业级相机实测于470nm波长各项参数之测量结果測量参数量子效率61.84%系统增益0.04584DN/e-暗噪声0.230DN暗电流响应不均匀性0.256DN光电流响应不均匀性4.09%最大讯噪比35.11dB非线性误差0.093%最小可侦测照射光子数8.93photons饱和照射光子数5363.49photons动态范围55.57dB暗电流3.57DN/s1.单色光光源系统:不稳定度1%强制散热系统臭氧消除功能300nm~1100nm(可扩展)光栅式单色光产生辐射功率连续可调:0~100%波长分辨率可达0.1nm波长准确度±1nm波长重复性±0.5nm2.均光系统-A:MV-IS光学系统，光斑大小30mm×30mm，针对主流CCD，CMOS芯片大小设计光斑均匀度≥99%光均面位置：距离均光系统出口150mm光均面光强：5uw/cm2辐射功率连续可调单像素QE测量：可以（光强足够）发散角度（半角）：5度(可订制)2.均光系统-B:4寸积分球，均匀性99%。3.标准光强能量校正器:BNC接口感应波长范围190nm~1100nm标定证书面积10×10cm2,不均匀度为千分之五电流计最小解析能力:10fA主要技术指标