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CT培训杨坤2013-9-20设备内部培训资料目录一•设备组成二•基本操作三•工艺原理四•常见故障五•安全事项一.设备组成设备组成（控制图）设备组成（LoadingBox）1•LMandSLS2•ComponentsandMotors3•LM/SLSMotorControlunit4•TubeClosure5•TGASensor6•MotorControler设备组成（LoadingBox）LM：LoadingMachine指设备的进舟系统SLS：SoftLandingSystem指软着陆系统，即Paddle的up/down系统设备组成（LoadingBox）2.ComponentsandMotors主要的Components有:LMLimitSwitchLMMotorSLSMotorLMLimitSwitch是BOAT的限位开关。LMMotor控制BOAT前进与后退的私服电机SLSMotor控制boat的UP与DOWN直流电机LMLimitSwitchLMMotorSLSMotor设备组成（LoadingBox）3.LM/SLSMotorControlunitLM/SLSMotorControlunit与CESAR相连接且由PLC提供给它24V电压，各个信号指示灯的解释：IN1paddlefree/occupiedIN2TGAfreeyes/noIN3SLSUPIN4SLSDOWNIN5BOAT后退的限位开关指示灯IN6BOAT前进的限位开关指示灯如下图：设备组成（LoadingBox）IN1到IN5的指示灯设备组成（LoadingBox）4.TubeClosure炉门落下的感应器炉门抬起的感应器炉门movedout限位开关炉门movedin限位开关设备组成（LoadingBox）Door电磁阀两根线，信号控制马达炉门开、关、进、退信号4根，1根互锁Dooron/offRDC2复位此PLC位于loadingbox下，共有4个，控制炉门电磁阀、boatsensor、paddlesensor。+T-w101和+B-W11多芯线到PLC设备组成（LoadingBox）5.TGASensorTGASENSORREFLECTOR设备组成（LoadingBox）6.LiftMotorControllerLiftMotorController是控制LIFT电机的，LIFT一共有4种显示状态：1.BBhandingstop状态2.potLIFT高位3.runRUNok状态4.botLIFT低位LIFT的4种显示状态设备组成（LoadingBox）Lift的各个控制线电机电源线编码线连轴器，一般在lift一边倾斜时调节+L-W511.1&W512—Encoderw1051.1-lift限速sensorW561&w562—motordriverw1011.1-armsensor线接入PLC颜色为绿色W333w331电机驱动w33&w32lift正反转W332设备组成（Furnace）1•Set-upofFurnace2•HeatingCassette3•WaterLeakageSensor4•PowerDistributionCabinet设备组成（Furnace）MainstackcoolingStack3coolingStack2coolingStack1coolingStack4cooling1.Set-up设备组成（Furnace）TransformerCircuitbreakerCurrentDetectorSSR’sPULGPOWRREG97CESARTMM6设备组成（Furnace）2.HeatingCassetteWater-cooledHeatingCassetteTMM6SpikeThermocouple设备组成（Furnace）24V电源信号指示灯下面的棕色的线接到TMM6Spike最右端5点红灯表示5点的温度检测将PLC上棕色的线（右边单个绿灯亮的下面）拔掉，会出现excesstempalarm,在CMI界面上T-SPIKE五点的温度为3000℃，ICEPOINT温度显示问号。3000℃表示无通电，3001、3002℃表示TMM6内部故障，3003℃表示热偶无连接，3004℃表示热偶超出范围或型号不对（在TMM6里可以用一字起调节数值来改变其型号），3005℃为冰点故障，表示没有零点温度。左边的两个K-BUS，上面是输入，下面是输出，设备组成（Furnace）3.WaterLeakageSensorWaterLeakageSensorSolidStateRelayWaterLeakageSensor:若冷却水漏水，用以检测漏水并报警提示。SolidStateRelay：与RG97相连，控制加热速率。（SSR)设备组成（Furnace）PWMPWM上的各个信号指示灯代表SolidStateRelay的工作状态，闪烁代表了SolidStateRelay正处于加热的状态，并且保持恒温。4.PowerDistributionCabinet设备组成（OverviewGasCabinet)1•Controls-allstacks2•ControlsI3•GasPanelI4•GasPanelII设备组成（OverviewGasCabinet)stack4stack3stack2stack11.Controls-allstacks设备组成（OverviewGasCabinet)CESARGASPLCRG972.Controls-1设备组成（OverviewGasCabinet)SIH4压力表SIH4调压阀NH3调压阀N2调压阀N2压力表N2主阀NH3压力表3.GasPanelI设备组成（OverviewGasCabinet)MFC(N2,NH3，SIH4)单向阀4.GasPanelII二.基本操作1•CESAR界面2•Setatemperature3•Setapressure4•Mostcommonusedcommands5•Cesarprotocol6•Startandeditrecipes7•SetupofjobsCESAR界面一二.基本操作二.基本操作CESAR界面二二.基本操作触摸頻操作按钮二.基本操作（setatemperature）二.基本操作（setaPressure）二.基本操作（commonusedcommands）二.基本操作（Cesarprotocol）二.基本操作（startandeditrecipes）二.基本操作(Setupofjobs1)二.基本操作(Setupofjobs2)二.基本操作(Setupofjobs3)二.基本操作(Setupofjobs4)二.基本操作(Setupofjobs5)工艺原理(进气图）工艺原理（化学反应）工艺原理（工艺步骤）炉管参数工艺原理（工艺流程）工艺原理（工艺参数）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）工艺原理（工艺注释）四.常见故障（更换蝶阀）•1.更换碟阀准备工具:扳手一把,酒精,棉布,设备钥匙一把，碟阀一个，密封圈两个a.把要换的管道炉温降至１００℃以下；IntheCESARmenu：Manual-T_Spike-All-SetPoint-30℃b.关掉氮气及各类气体（Ｎ２）；IntheCESARmenu：Manual-Gas-N2-Valve-Minimumc.在工艺菜单中停掉真空泵；IntheCESARmenu：vacuum-Pump-switch-offd.选End后至状态画面，等待屏幕显示＂ＯＫ＂信息并按＂enter＂键确认；e.向管道充N2NO，使其内大气压至１个大气压,然后关闭N2NO；IntheCESARmenu：Manual-Gas-N2NO-Valve-OpenIntheCESARmenu：Manual-Gas-N2NO-Value-Closef.把炉门打开IntheCESARmenu：Manual-Boat-position-SetPoint-22g.关压力传感器：按5s＂Manual＂，再按下＂Close＂键；h.关压力传感器电源：打开后面板，松掉地线，把＂－／Ｏ＂打至＂Ｏ＂状态；Ｉ.关真空泵：按＂Close＂按钮；Ｊ.拆装碟阀；拆时：先把电缆卸下，然后循序渐进的拧松四颗紧固螺丝；装时：先粗定位，把电缆线先装上．然后循序渐进的拧紧四颗紧固螺丝；注：其间的平垫没有备品，需要特别小心不要丢失；需全程配带口罩及带好皮手套；Ｋ.开真空泵：按＂Open＂按钮；Ｌ.开压力传感器电源：把＂－／Ｏ＂打至＂－＂状态,插好地线后关闭后面板，；常见故障（更换蝶阀）Ｍ.开压力传感器；再＂Open＂后启动＂Auto＂Ｎ．把炉门关闭；IntheCESARmenu：Manual-Boat-position-SetPoint-0Ｏ．关掉氮气及各类气体（Ｎ２）；IntheCESARmenu：Manual-Gas-N2-volume-MinimumＰ．测密封性：把真空管压力值设为10000mToor，在１分钟内其值变化范围不超过+10；IntheCESARmenu：Manual-Vacuum-Tube-Pressure-Maximum//先把管内抽真空，需多等会IntheCESARmenu：Manual-Vacuum-Tube-Pressure-Minimum//等１分钟看其变化范围Ｑ．正常后通知操作人员设备可以使用；Ｒ．后期处理,把换下的碟阀和密封圈用酒精擦洗干净以作备用；常见故障（更换蝶阀）常见故障（更换TC管）2.更换TC管准备工具:一字螺丝刀,十字螺丝刀,内六角板手一套,石英管一根,扳手一把,酒精,无尘布,设备大钥匙一把a.把要换的管道炉温降至１００℃以下；IntheCESARmenu：Manual-T_Spike-All-SetPoint-30℃b.关掉氮气及各类气体（Ｎ２）；IntheCESARmenu：Manual-Gas-N2-Valve-Minimum常见故障（更换TC管）c.向管道充N2NO，使其内大气压至１个大气压,然后关闭N2NO；IntheCESARmenu：Manual-Gas-N2NO-Valve-OpenIntheCESARmenu：Manual-Gas-N2NO-Value-Closed.把炉门打开；IntheCESARmenu：Manual-Boat-position-SetPoint-22e.在CESAR中停掉当前运行状态；f.把BUS总线和24V电源线拆下,罩盒打开,把热电偶的BUS拆下；g.剪掉扎带,用五号内六角把T型托块卸下；h.松掉热电偶与后法兰盖的连接,小心取出热电偶和石英管；注:此时务必请戴皮手套或隔热手套,因为刚刚作降温处理不久,防烫伤也是必需的.Ｉ.小心套上石英管,然后把其装回炉管内；常见故障（更换TC管）Ｊ.把热电偶固定妥当,重新固定好T型托块；Ｋ.装上热电偶的BUS,装好屏闭地线,上好BUS总线和24V电源线；Ｌ.在CESAR中开启运行状态；Ｍ.把炉门关闭；IntheCESARmenu：Manual-Boat-position-SetPoint-0Ｎ．关掉氮气及各类气体（Ｎ２）；IntheCESARmenu：Manual-Gas-N2-volume-MinimumＯ．测密封性：把真空管压力值设为10000，在１分钟内其值变化范围不超过+10；IntheCESARmenu：Manual-Vacuum-Tube-Pressure-Maximum//先把管内抽真空，需多等会IntheCESARmenu：Manual-Vacuum-Tube-Pressure-Minimum//等１分钟看其变化范围Ｐ．正常后通知操作人员设备可以使用；Ｑ．把废弃的石