探针卡的存放清理

探针卡的存放、清洁及管理指导第1页共1页探针卡的存放、清洁及管理指导1.目的建立探针卡存放使用管理的标准程序建立探针探针卡清洁，维护及保养程序2.范围适用于测试区探针卡存放使用管理3.负责单位ProbeCard办公室:负责探针卡的制作、进料检验、维修保养及管理工程部：负责新探针卡的确认及针对新产品提出要求维修部门：负责探针卡的安装，检查和启用生产线：负责探针卡的使用及状况监督4.作业安全卫生即环保须知4.1IPA及丙酮使用时人员操作应注意的安全事项4.1.1IPA为非常易燃的化学有机溶剂当吸入时：呼吸道会有刺激性的症状皮肤接触：其发生去油现象，可能造成二次灼伤眼睛接触：发生黏膜刺激食入：头昏，酒醉，失去意识，昏迷，大量食入则导致呼吸痉挛。4.1.2丙酮为非常易燃的化学有机溶剂当吸入时：经由吸入食入或皮肤接触会刺激口部和咽喉（疼痛，干燥，发氧和咳嗽），肠胃不适（恶心，呕吐，腹泻），刺激鼻咽喉与气道，抑制中枢神经（昏睡，疲倦，虚弱，恶心，头疼，失去意识，高血糖，昏迷）。皮肤接触：直接接触可能造成轻微的刺激，长期或频繁接触可能造成脱脂及皮肤炎（干燥，刺激，发红及龟裂）与灼伤。眼睛接触：发生黏膜刺激食入：头昏，酒醉，失去意识，昏迷，大量食入则导致呼吸道痉挛。4.2安全卫生及污染预防措施4.2.1IPA的安全卫生以及预防措施4.2.1.1卫生措施：工作后尽速脱掉污染的衣物，洗净后才可再穿戴或丢弃，并且须告知洗衣人员污染物的危害性。处理此物后，须彻底清洁。提供适当的预防设备及通风设备以避免吸入蒸汽，并确保室内空气流通。4.2.1.2IPA污染预防措施:IPA必须储存在整体换气装置或局部排气系统良好的空间，且系统必须是防暴。安全处于储存方法，处理时应避免静电放电。4.2.1.3丙酮污染预防措施:丙酮需要储存在整体换气装置或局部排气系统良好的空间，且系统须为防暴安全处与储存方法，处理时需避免静电放电。丙酮使用需有挤压瓶，沾有丙酮的废弃物需放在有机物垃圾桶里。4.2.2个人安全卫生应注意事项使用IPA时，确认手戴防有机手套使用丙酮时，确认手戴防有机手套探针卡的存放、清洁及管理指导第2页共2页5.事故处理清理方法当有IPA外泄情况发生时，应立即以无尘布擦拭。当有丙酮外泄情况发生时，应立即以无尘布擦拭。6.机台操作设备/材料/工具名称：毛刷，酒精，显微镜，镊子作业流程：6.1新进厂a.由负责单位制作或接收新探针卡b.新卡到厂后，由PROBECARDROOM人员填写PROBECARDLIST，并开始记录该PROBECARD的HISTORY，填入PROBECARDHISTORYTRACERECORD中c.检查新探针卡状态并填入PROBECARDCHECKLISTd.核对探针卡的产品型号6.2新进探针卡启用程序6.2.1设备部分a.将新探针卡安装在针测机上b.将Correlation芯片加载针测机c.检查针的位置，针迹d.打印及比对测试结果e.设备对比通过后RELEASE给工程部核对f.测试工程部分1)收集至少一百颗Die的测试资料作分析2)测试工程部核对测试资料通过后启用新探针卡3)新探针卡由测试工程单位启用g.探针卡管理与使用1)探针卡由测试工程单位启用后，应设定产品型号及编码2)探针卡应贴上产品型号和编码卷标3)存放柜空间规划，应按产品型号排放整齐4)建立探针卡测试记录表5)人员若须使用探针卡上机生产测试，则应在ProbeCardRoom领取探测卡测试记录表，才可以领出使用。6)探针卡在机台上使用后，人员在每一批LOT时须准确填写探针卡测试记录表。更换ProbeCard时，工程师要根据产品检查Prober上的CleanWafer设置，并填写CleanWaferChecklist7)当测试完毕后，人员归还ProbeCard时，需将探针卡记录表，连同ProbeCard一起归还到ProbeCardRoom，并填写探针卡取出/放入记录表8)ProbeCardRoom人员要根据ProbeCard取出/放入情况更新MES系统状态。9)当生产线更换测试产品型号时，须通知维修人员或ProbeCard负责人员探针卡管理已经连上MES系统，使用人员可从系统上检查探针卡的状况。h.探针卡的清洁与检查时机1)更换产品时探针卡请先进行清针的动作2)连续FAIL3个DIE时3)针痕偏移，经调整针痕仍打在焊点边上时4)发现针尖沾有异物时5)机台的清针板（芯片）处理后仍无效时6)如客户或相关技术人员有特殊要求时，应依客户或相关技术人员需求执行探针卡的存放、清洁及管理指导第3页共3页i.针卡保养，维修程序1)探测卡取出进行保养，维修时，须填写探测卡保养/维修申请表。2)ProbeCardRoom人员在ProbeCard维修，保养后应填写探针卡保养/维修记录表。3)客户提供的ProbeCard的保养/维修记录表应单独立档存放。j．请设备或ProbeCard负责人员检查判断是否将探针卡拆下清洁，维修或校正。k．探针卡的清洁方法1)将探针置于显微镜下，调整好倍率。2)用毛刷沾取100%IPA，从针痕向针尖轻刷。3)清洁完成后用风枪轻吹，使IPA完全挥发。l．IPA及丙酮清洁的方法1)正常探针卡清洁应使用100%IPA，当确认IPA清洁无效时才可以使用丙酮作进一步清洁。2)当因使用IPA或丙酮进行清洁，造成探针卡，工具，相关物品发生异常状况，应该报告相关人员及设备负责工程师。7.探针卡命名规则命名规则：XXXXX-XX-XX-XXVersionNumVendorCodeCardNum（01-99）DUTNum（01．02．04．08．16．32．64）SMICProductID解说：a．SMIC产品型号：依SMIC的产品型号规则订定，例如：FujistsuR001B，ISSIb．D001A（字符：A～Z，0～9）c．DUT数目：定义每块探针卡的DUT数目（数目：01，02，04，08，16，32，64）d．探针卡数目：定义探针卡数目（数目：00～99）e.厂商编码：定义探针卡制作厂商，例如：MMIC，PPTC（字符：A-Z）f.版本数目：定义探针卡的版本，0新卡，1维修……（数目0-9）例：Fujistu第一片16DUT探针卡：R001B-16-01-M0。