PIPS-695离子减薄仪操作规程2020版

PIPS695离子减薄仪操作规程一、操作前准备◼确定Ar钢瓶内尚有Ar气体，输出压力25PSI；◼设备真空可达到5E-4Pa（关掉左右离子枪氩气，上升载台）；◼确定左右离子枪离子束是否对中。二、试片交换◼将试片以DuoPost试片座固定好,并将待减区域移至中心；◼按住stage绿色箭头上滑上升载台，按vent，取下预抽室上盖；◼将DuoPost放入预抽室样品座上,盖上预抽室上盖；◼按住stage绿色箭头往下滑下降载台，等到指示灯由黄灯变绿即可。三、减簿及观察◼设定所需的减薄时间；◼设定工作电压(一般设定为4或5Kev)；◼设定离子枪工作模式(一般设定为双离子束调变)；◼调整左右离子枪工作角度(一般正负4度)；◼氩气工作模式选成自动气体；◼设定载台转速(一般为3RPM)；◼点启动开始工作；◼工作期间可以点Viewing选项,使用CCD观察样品减薄情况；◼样品穿孔后可更换低电压继续减薄,直到有良好薄区。