GBT66172009硅片电阻率测定扩展电阻探针法

书书书犐犆犛２９．０４５犎８０中华人民共和国国家标准犌犅／犜６６１７—２００９代替ＧＢ／Ｔ６６１７—１９９５硅片电阻率测定　扩展电阻探针法犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犿犲犪狊狌狉犻狀犵狉犲狊犻狊狋犻狏犻狋狔狅犳狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狌狊犻狀犵狊狆狉犲犪犱犻狀犵狉犲狊犻狊狋犪狀犮犲狆狉狅犫犲２００９１０３０发布２０１００６０１实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布