ESD_S20_20

QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA1ESDS20.20控制计划讲解与管理重点控制计划讲解与管理重点控制计划讲解与管理重点控制计划讲解与管理重点Oct.2010QualitySystemPlanningJimJiangQuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA2Content一一一一、、、、ESD前言前言前言前言(1)什么是什么是什么是什么是ESD(2)电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生(3)静电放电静电放电静电放电静电放电(4)静电敏感度静电敏感度静电敏感度静电敏感度(5)ESD损坏损坏损坏损坏(6)小结小结小结小结二二二二、、、、ESD标准标准标准标准(1)ESD认证的出现认证的出现认证的出现认证的出现(2)ESD给企业带来的收益给企业带来的收益给企业带来的收益给企业带来的收益(3)ESDS20.20条文纲要条文纲要条文纲要条文纲要3.0参考出版物参考出版物参考出版物参考出版物4.0定义定义定义定义6.1静电放电控制方案的要求静电放电控制方案的要求静电放电控制方案的要求静电放电控制方案的要求6.2专案经理任命书专案经理任命书专案经理任命书专案经理任命书7.1ESD静电控制方案静电控制方案静电控制方案静电控制方案（（（（a））））ESD静电控制方案计划静电控制方案计划静电控制方案计划静电控制方案计划（（（（b））））ExamplesofControlElements（（（（c））））ExamplesofProtectedAreas7.2培训计划培训计划培训计划培训计划7.3验证计划验证计划验证计划验证计划8.1接地及等电位相连系统接地及等电位相连系统接地及等电位相连系统接地及等电位相连系统8.2人员接地人员接地人员接地人员接地8.3静电放电保护区静电放电保护区静电放电保护区静电放电保护区（（（（EPA））））之要求之要求之要求之要求8.4包装系统包装系统包装系统包装系统8.5标记标记标记标记QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA3一一一一、、、、ESD前言前言前言前言QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA4一一一一、、、、ESD前言前言前言前言QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA51-1ESD---ElectroStaticDischarge即：“静电放电”的意思1-2ESD相关名词相关名词相关名词相关名词1-2-1ESDS（ElectroStaticDischargeSensitivity）1-2-2ESDA（ElectroStaticDischargeSensitiveAssociation）1-2-3ANSI/ESDS20.20:2007电子行业所引用的作为静电防护的标准。(1)什么是什么是什么是什么是ESDQuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA6（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生2-1静电静电静电静电定义：由于材料表面电子不平衡而产生电荷。这些不平衡电子产生的电场可以被检测出来，并且会影响到附近物体。2-2摩擦起电摩擦起电摩擦起电摩擦起电产生的电荷受下列因素影响：材料摩擦面积分离速度相对湿度其他因素QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA7（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生2-2-1两种材料通过接触和分离就能产生静电荷两种材料通过接触和分离就能产生静电荷两种材料通过接触和分离就能产生静电荷两种材料通过接触和分离就能产生静电荷。。。。举例举例举例举例：：：：人在地板上行走时，鞋底与地板表面接触，然后分离，于是产生了静电。剥离带电：如撕LCD保护膜、撕胶带等电子器件在包装袋，包装盒或包装条管中滑动时，由于器件外壳和金属引线多次与容器接触和分离，因而产生静电荷。QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA8（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生2-2-2材料分类材料分类材料分类材料分类：：：：QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA9（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生2-2-3静电电压举例静电电压举例静电电压举例静电电压举例：：：：QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA10（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA11（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生2-3感应起电感应起电感应起电感应起电导体进入电场会被极化。非导体不会被感应带电。QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA12（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生2-4离子轰炸离子轰炸离子轰炸离子轰炸QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA13（（（（2））））电荷的产生电荷的产生电荷的产生电荷的产生2-5接触带电接触带电接触带电接触带电电荷可以通过接触从带电体传给不带电体。QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA14（（（（3））））静电放电静电放电静电放电静电放电QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA15（（（（3））））静电放电静电放电静电放电静电放电（（（（3））））静电放电静电放电静电放电静电放电静电放电-电荷在不同电势的物体间移动。QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA16静电放电模式静电放电模式静电放电模式静电放电模式••（（（（3））））静电放电静电放电静电放电静电放电QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA17（（（（4））））静电敏感度静电敏感度静电敏感度静电敏感度-ESDS（ElectroStaticDischargeSensitivity）一个器件耗散静电能量或承受静电电压的能力。HBM人体模式MM模式CDM模式••（（（（4））））静电敏感度静电敏感度静电敏感度静电敏感度QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA18（（（（4））））静电敏感度静电敏感度静电敏感度静电敏感度敏感度敏感度敏感度敏感度0-3999伏伏伏伏（（（（人体模式人体模式人体模式人体模式））））的器件或零件的器件或零件的器件或零件的器件或零件。。。。••NO.敏感度范围敏感度范围敏感度范围敏感度范围代表性器件或零件代表性器件或零件代表性器件或零件代表性器件或零件微波器件（肖特基栅隔二极管和其他大于1GHz的检波二极管）分立MOS场效应管表面声波器件结场型效应管电荷耦合器件精密稳压二极管运算放大器薄膜电阻集成电路AMR和GMR磁盘记录磁头激光二极管厚膜电路高速集成电路可控硅整流器分立MOS场效应管结场型效应管运算放大器集成电路高速集成电路精密电阻网络（RZ型）厚膜电路低功率双极晶体管0-1999伏12000-3999伏2QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA19（（（（5））））ESD损坏损坏损坏损坏（（（（5））））ESD损坏损坏损坏损坏从制造现场到现场服务任何时候都可能发生电子器件的静电损坏。（无处不在，无时不有）举例：1、可能改变半导体器件的电性能，使之降级或毁坏。2、静电可吸附微小尘埃附着在硅片表面或器件电路表面，引起硅片缺陷，降低产量.(洁净室）3、可能干扰电子系统正常工作，导致设备故障或失效。（静电放电）4、在洁净室内，带电表面会吸附尘埃，给环境清洁带来困难。虽然做了大量的努力，ESD仍然影响到生产产量，制造成本，产品品质，产品可靠性和利润。工业界专家估计静电造成的产品损失平均为8-33%。QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA20（（（（5））））ESD损坏损坏损坏损坏5、、、、破坏性失效破坏性失效破坏性失效破坏性失效：：：：由于器件失效导致电路永久损坏。这类失效通常在货物运输前可被检测出来。如果ESD事件发生在检测后，损坏要等到器件在运行失效后才会发现。6、、、、潜在缺陷潜在缺陷潜在缺陷潜在缺陷较难发现；遭受ESD事件的器件可能部分性能受损，但还能继续工作；器件的运行寿命可能明显下降。QuantaConfidentialQUANTANBDCQuantaConfidentialQUANTA21（（（（6））））小结小结小结小结（（（（6））））小结小结小结小结1、、、、所有材料所有材料所有材料所有材料，，，，甚至于导体材料甚至于导体材料甚至于导体材料甚至于导体材料，，，，均可磨擦带电均可磨擦带电均可磨擦带电均可磨擦带电。。。。2、、、、带电量受下列因素影响带电量受下列因素影响带电量受下列因素影响带电量受下列因素影响：：：：材料种类材料种类材料种类材料种类、、、、接触和分离速度接触和分离速度接触和分离速度接触和分离速度，，，，湿度以及其他因素湿度以及其他因素湿度以及其他因素湿度以及其他因素。。。。3、、、、带电体周围伴随着静电场带电体周围伴随着静电场带电体周围伴随着静电场带电体周围伴随着静电场。。。。4、、、、静电放电会损坏器件静电放电会损坏器件静电放电会损坏器件静电放电会损坏器件，，，，导致立即失效导致立即失效导致立即失效导致立即失效，，，，或者导致潜在损坏而不被立即发现以或者导致潜在损坏而不被立即发现以或者导致潜在损坏而不被立即发现以或者导致潜在损坏而不被立即发现以至于引起使用中的早期失效至于引起使用中的早期失效至于引起使用中的早期失效至于引起使用中的早期失效。。。。5、、、、在制造在制造在制造在制造、、、、测试测试测试测试、、、、运输运输运输运输、、、、储存储存储存储存、、、、或操作过程中都会产生或操作过程中都会产生或操作过程中都会产生或操作过程中都会产生ESD。。。。6、、、、对元器件的放电对元器件的放电对元器件的放电对元器件的放电，，，，元器件对外放电元器件对外放电元器件对外放电元器件对外放电，，，，或从静电场感应产生的电荷转移都会导或从静电场感应产生的电荷转移都会导或从静电场感应产生的电荷转移都会导或从静电场感应产生的电荷转移都会导致元器件损坏致元器件损坏致元器件损坏致元器件损坏，，，，ESD敏感度因元器件种类的不同而有很大差异敏感度因元器件种类的不同而有很大差异敏感度因元器件种类的不同而有很大差异敏感度因元器件种类的不同而有很大差异。。。。7、、、、防备静电损坏产品应从理解防备静电损坏产品应从理解防备静电损坏产品应从理解防备静电损坏产品应从理解ESD基本概念开始基本概念开始基本概念开始基本概念开始。。。。8、、、、掌握了基本知识掌握了基本知识掌握了基本知识掌握了基本知识，，，，就可以开始建立就可以开始建立就可以开始建立就可以开始建立ESD控制程序控制程序控制程序控制程序。。。。QuantaConfidentialQU