GB507812012电子工厂化学品系统工程技术规范

中华人民共和国国家标准~EJUDCPGB50781-2012电子工厂化学品系统工程技术规范TechnicalcodeforChemicalSystemofElectronicFactory2012一06-28发布2012-12-01实施。只u­qo-斗一元,f-nu句f-AUlm­。一50。一-AF、ν-•.TA-AM川1··四Ajnv一H口-一一定统一中华人民共和国住房和城乡建设部联合发布中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中华人民共和国国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范TechnicalcodeforChemicalSystemofElectronicFactoryGB50781-2012主编部门:中华人民共和国工业和信息化部批准部门:中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期:2012年12月1日中国计划出版社2012北京中华人民共和国国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范GB50781-2012会中国计划出版社出版网址:地址·北京市西城区水樨地北里甲11号国宏大厦C座4层邮政编码:100038电话[phone](发行部〉新华书店北京发行所发行北京tlt知l印务有限公司印刷850mmX1168mm1/322.375印张59千字2012年11月第l版2012年II月第l次印刷会统一书号1580177•938定价:15.00元版权所有侵权必究侵权举报电话[phone]如有印装质量问题，请寄本社出版部调换中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1434号关于发布国家标准《电子工厂化学品系统工程技术规范》的公告现批准《电子工厂化学品系统工程技术规范》为国家标准，编号为GB50781一2012，自2012年12月1日起实施。其中，第3.2.8(1、2、3、4)、6.1.2、6.1.5、6.4.2(7)条(款)为强制性条文，必须严格执行。本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部2012年6月28日刚昌本规范是根据原建设部《关于印发(2007年工程建设标准规范制定、修订计划〉的通知(第二批)))建标(2007J126号文的要求，由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司会同有关单位共同编制完成。本规范在编制过程中，根据我国集成电路工厂、平板显示器件工厂和太阳能电池工厂的设计、建造和运行的实际情况，同时考虑工厂目前的现状，对国外工程公司也进行了调查研究，广泛征求了全国有关单位与个人意见，并反复修改，最后经审查定稿。本规范共分7章，主要内容有:总则，术语、缩略语，化学品供应系统，化学品回收系统，化学品监控及安全系统，相关专业设计，工程施工及验收。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，工业和信息化部负责日常管理，信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行过程中有意见和建议请寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司《电子工厂化学品系统工程技术规范》管理组(地址:四川成都市双林路251号，邮编:610021，传真:[phone]).以便今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、主要起草人和主要审查人:主编单位:信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司信息产业部电子工程标准定额站参编单位:巾国电子系统工程第二建设有限公司•1•上海华虹NEC电子有限公司成都爱德工程有限公司上海正帆科技有限公司冠礼控制科技(上海〉有限公司液化空气上海有限公司上海兄弟微电子技术有限公司上海至纯洁净系统科技有限公司主要起草人:李骥崔永祥刘序中王开源李东升王鹏亮张志辉杨春蓉朱海英张家红简建至杜宝强宋燕周礼誉陈盛云吴建华巨龙主要审查人:陈霖新薛长立路世昌周向荣刘俊超冯卫中顾爱军陈奕强毛煌林张悦•2•目次1总则…………………………………………………(1)2术语、缩略语………………………………………………(2)2.1术语……………………………………………………(2)2.2缩略语…………………………………………………(4)3化学品供应系统…………………………………………(5)3.1一般规定………………………………………………(5)3.2化学品供应设备…………………………………………(5)3.3化学品供应管道系统……………………………………(8)3.4设备与管道材质…………………………………………(9)3.5管道标识4化学品回收系统4.1一般规定(10)(11)(11)4.2化学品回收设备…………………………………………(11)4.3化学品回收管道…………………………………………(1幻5化学品监控及安全系统…………………………………(13)5.1一般规定………………………………………………(13)5.2监控与安全设备…………………………………………(13)5.3监控与安全系统…………………………………………(14)6相关专业设计……………………………………………U们6.1建筑结构………………………………………………(16)6.2电气与仪表控制…………………………………………(17)6.3给水排水及消防…………………………………………(18)6.4通风与空气调节…………………………………………uω7工程施工及验收…………………………………………(21)7.1一般规定………………………………………………(21)7.2设备、材料进场验收……………………………………(21)7.3设备安装……………………………·………………..(22)7.4化学品供应管道安装……………………………………(23)7.5双层管道的施工安装……………………………………(24)7.6酸碱类化学品管道内管焊接安装…………………………(2的7.7溶剂化学品管道安装……………………………………(26)7.8废液管道施工……………………………………………(28)7.9管道设备标识……………………………………………(28)7.四管路与系统检测………………………………………(29)7.11改建工程的施工………………………………………门0)7.12工程验收………………………………………………门的本规范用词说明………………………………………………(33)引用标准名录…………………………………………………(34)附:条文说明…………………………………………………(3日•2•Contents1Generalprovisions………………………………………(1)2Termsandabbreviation…………………………………(2)2.1Terms…………………………………………………(2)2.2Abbreviation……………………………………………(4)3Chemicaldistributionsystem……………·……………..(5)3.1Generalrequirement……………………………………(5)3.2Distributionequipmenl…………………………………(5)3.3Distributionpiping………………………………………(8)3.4Equipmentandpipingmaterials…………………………(9)3.5Pipingidentification……………………………………(10)4Chemicalreclaimingsystem……………………………(11)4.1Generalrequirement……………………………………(11)4.2Reclaimingequipment……………………………………(11)4.3Reclaimingpiping………………………………………(12)5Chemicalmoniterandsafetysystem……………………(13)5.1Generalrequirement……………………………………(13)5.2Equipmentrequirement…………………………………(13)5.3Systemrequirement………………………………..….(14)6Designofrelatingdisciplines……………………………(16)6.1Architectureandstructure………………………………(16)6.2ElectricalandinSLrUmenlcontrol…………………………(17)6.3Plumbingandfireprotection…………………·………..(18)6.4HVAC…………………………………………………(19)7Engineeringconstructionandacceptance………………(21)•3•7.1Generalrequirement……………………………………(21)7.2Siteinspectionandacceptanceofequipmentandmaterials……………………………………………(21)7.3Equipmentinstallation…………………………………(22)7.4Pipinginstallationofchemicaldistributionsystem………(23)7.5Constructionandinstallationofcontainingpiping…………(24)7.6Weldinginstallationofinnerpipingofacid/alkalinecontainingpiping………………………………………(26)7.7Installationofsolventpiping……………………………(26)7.8Constructionwasteliquidpiping…………………………(28)7.9Pipingequipmentidentification…………………………(28)7.10Systeminspectionandtesting…………………………(29)7.11Constructionofrenovationengineering…………………(30)7.12Engineeringinspectionandacceptance…………………(30)Explanationofwordinginthiscode………………………(33)Listofquotedstandards……………………………………(34)Addition:Explanationofprovisions………………………(35)•4•1总则1.0.1为使电子工厂化学品供应系统、化学品回收系统及其配套装置的工程设计、施工及验收，贯彻国家工程建设的政策方针，确保工程安全可靠、节约能游、、保护环境、技术先进、经济适用，制定本规范。1.O.2本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。1.O.3本规范不适用于电子工厂中的化学品库房、设备清洗、废水处理、纯水制备、废气处理等生产辅助和公用设施系统的化学品系统工程的设计、施工及验收。1.O.4电子工厂化学品系统工程的设计、施工及验收，除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。•1•2术语、缩略语2.1术语2.1.1化学品系统chemicalsystem电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品系统的统称。2.1.2化学品供应系统chemicalsupplysystem电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与设备的统称。2.1.3化学品回收系统chemicalreclaimingsystem电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与设备的统称。2.1.4化学品槽车chemicallorry电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。2.1.5化学品桶槽chemic